湿式三效除尘机组在山西铝厂铝矾土破碎车间的应用

介绍了采用湿式三效除尘机组对山西分公司铝矾土破碎车间除尘系统进行技术改造的的生产实践。     

一种基于SOI材料的新型可调谐光衰减器的设计

设计了一种新型的、基于SOI材料的可调谐光衰减器，其调制区采用了独特的双脊型PIN结构。增强了注入电流场与光场的重叠，提高电注入效率．用BPM方法分析了波导结构的传输损耗，用有限元法分析了二维PIN结的电注入特性．结果表明该结构的光衰减器有良好的性能．     

微电子机械系统

本文对国外微电子机械系统的研究现况作了评述，介绍了ＭＥＭＳ的主要技术和它的应用情况，对国外的一些主要研究机构的情况进行了分析，最后就我国ＭＥＭＳ的发展提出了一些建议。     

充油型脱醇型硅酮密封胶性能研究

研究了甲基硅油、低分子量聚丁烯、氢化烷烃油作为增塑剂用于脱醇型RTV-1硅酮胶对其性能的影响。结果表明:甲基硅油增塑剂对降低模量、提高位移能力效果明显;聚丁烯与聚硅氧烷相容性差,影响与基材的界面粘接;少量添加烷烃油能起到与甲基硅油类似的效果,但热失重超过10%,添加量增加对基材的粘结性变差,其它性能也大幅降低。     

基于阶跃响应的加速度计Q值测试方法研究

随着电容式加速度传感器的广泛使用,对其品质因子、谐振频率等关键参数的器件级测试显得尤为重要.本文提出了一种简单有效的加速度计品质因子测试方法--阶跃响应测试法,详细分析了其测试原理及测试结果,并与传统的静电激励扫频测试法进行了对比.结果表明:两种测试方法中等效电刚度的不同,造成了测试结果的差异.     

振动式微机械陀螺驱动环路数字AGC研究

对微机械陀螺系统的自激驱动环路进行了分析,并对数字处理电路中自动增益控制（AGC）模块进行了深入研究,给出了一种高控制精度的定点数字AGC算法。通过理论分析和模型仿真,结果表明AGC控制精度得到很大的提高,对陀螺驱动输出信号的幅度具有很好的控制效果,从而可以大大减小陀螺温漂及其他一些因素引起的不稳定性。最后给出了算法的直线逼近近似实现方法,能在的定点DSP当中很方便的实现。     

基于静电力的微液滴驱动芯片

为了精确操控微流体,设计并制作了一种基于静电力的微液滴驱动芯片.介绍了驱动原理和工艺流程,搭建了驱动检测实验平台.芯片采用开放式的结构,只需单层共平面控制电极,以硅作衬底,氧化硅和多晶硅作绝缘层,重掺杂多晶硅为驱动电极阵列,高质量Si3N4作介质层,碳氟聚合物为疏水层.实验表明:微液滴可在芯片上按程序设定方式在二维平面...     

SOI基光学电流传感器的设计与仿真

将光纤与微电子机械系统(MEMS)技术相结合,设计了一种新颖的检测50Hz高压交流电的光学电流传感器(OCS)。用ANSYS软件分析了器件的模态、动态响应与热膨胀特性,并通过Matlab软件模拟了器件的工作性能。模拟计算表明:ANSYS与理论公式得到的结果基本一致;传感器的量程为100~3600A,对于大电流下的灵敏度可达到0.02dB/A,温度变化±50K时传感器相应的测试误差为0.2%。