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本文介绍制造回光栅所采用的一种新型接近式光刻系统的原理、结构和光刻性能。该系统可以在有间隙的情况下进行光刻,并通过实验给出了刻制不同宽度刻线时的间隙量大小。此装置已用于制造圆光栅。这种方法不仅可以制作圆光栅,而且还可以制作线光线。 相似文献
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由于CCD(电荷耦合器件)可作为光学系统的接受器,构成光电光学系统,既可实现光电能量转换,又可进行光电图象转换,所以得到广泛的应用,随之对光学系统提出新的要求.本文对CCD相机广角镜头的光学系统设计方法进行了研究,并给出视场角为100°,CCD靶面分别为1/2英寸和1/3英寸的光学系统设计方法和设计结果。 相似文献
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以卤钨灯作光源的光照治疗仪能治疗多种疾病,并在医学上得到广泛应用。本文重点是描述光照治疗仪光学系统的设计和各种光学参数的选择。 相似文献
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郝沛明 《长春理工大学学报(自然科学版)》1986,(4)
本文从物理光学的衍射理论出发,系统地研究了降低衍射效应的接近光刻原理,并解出降低衍射效应的光学系统的结构参数.刻线宽度2α;波长λ;分离量z及照明角θ之间的关系曲线已给出,并通过大量地工艺实验所证实.到目前为止,接近光刻技术已得到广泛地应用. 相似文献