面向MEMS的微细加工技术

MEMS技术将是21世纪科技与产业的制高点之一，而微细加工技术又是MEMS发展的重要基础。微细加工技术在传统光刻工艺的基础上，又发展了灰调光刻、Lift-Off、LIGA及准LIGA、激光和分子装配等适应三维结构的新技术，本文综述了目前国内外各种微细加工及其关键技术的研究状况，并介绍了微细加工技术和MEMS的发展趋势。     

管外摩擦轮自爬升机构的研究

提出了一种适于φ80-φ200管径的管外摩擦轮自爬升机构,其垂直爬升负荷量为150Kg.试验表明对于聚乙烯管道表面,宜选用硬橡胶制作摩擦轮.     

气动蠕动式缆索爬升机器人的基本结构

提出用气动蠕动式爬升机器人自爬升缆索对其进行检测和维护的新思想。介绍基本结构和运动方式,讨论速度控制的工作原理和实现方法,并对机器人沿柔性缆索爬升和高空作业进行了实用化分析。     

产品设计质量灰色系统综合评价方法的研究

产品设计质量是集技术、经济、市场、环境等多方面为一体的综合系统。本文在层次分析法的基础上 ,应用灰色关联分析法对产品设计质量系统进行了综合评价 ,该方法能够处理复杂的、多层次的、且信息不够完全的问题 ,是一种比较好的评价方法。     

C8051F020的微型旋翼飞行器实验平台的控制系统

提出了一种与传统桨距角递推算法不同的基于高速摄影和图像处理的桨距角测定方法。根据实验要求,开发了一个以微型旋翼飞行器的非对称变距装置为测试主体的实验平台,并设计了一套基于C8051F020的微型旋翼飞行器实验平台的控制系统。该控制系统以C8051F020单片机为微控制器,用微型位置传感器来检测螺旋桨主轴的相位信息,并利用C8051F020单片机内部的PCA捕捉功能采集位置传感器的输出信号,得到螺旋桨主轴的四个相位;利用单片机输出的PWM方波信号控制电机的转速,以达到对螺旋桨电机进行加速的目的;利用单片机内部产生的PCA捕捉中断来触发高速摄像机的拍摄,以实现飞机加速与拍摄的同步。该控制系统结构紧凑,系统可靠性高。最后通过该控制系统来控制微型飞行器仿真飞机前飞的状态,得到该状态下桨叶的变距曲线,证明所提出的桨距角测定方法和由此开发的实验平台在测量桨距角中是有效的,达到了预期目标。     

STI埋层的高光电流和低暗计数率单光子雪崩二极管（英文）

研究和分析了一种0. 18μm CMOS工艺单光子雪崩二极管(SPAD),其结构能抑制过早的边缘击穿(PEB),同时获得较大的光电流和低的暗计数率(DCR).该SPAD由p-well/deep n-well的感光结,deep n-well向上扩散形成的区域和边缘Shallow Trench Isolation(STI)共同形成的保护环组成.通过测试确定了与光电流和暗率有关的STI层的大小.结果证明,在STI层与保护环之间的重叠区域为1μm时,SPAD的暗计数率和光电流最佳.此外,直径为10μm的圆形SPAD器件的暗计数率为208 Hz,且在波长为510 nm时峰值光子探测概率为20. 8%,此时具有低的暗计数率和高的探测效率以及宽的光谱响应特性.