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91.
多晶硅是太阳能光伏产业和电子工业的基础原料,其发展前景光明。随着国内集散控制系统(DCS)的不断成熟和完善,国产DCS逐步打破了国外DCS长期在多晶硅行业的垄断局面。本文在阐述了1500吨/年多晶硅生产装置中的生产工艺基础上,基于国产ECS-100DCS控制系统完成DCS总体设计和关键控制方案,针对工艺特点提出了多种模式自动控制方案、安全联锁保护、智能设备信息集成方案等,这些成果在1500吨/年多晶硅生产装置上得到成功应用。 相似文献
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通过实验发现,多晶硅片在不同温度下氧化后方块电阻的变化情况不同。温度较高时,氧化后方块电阻降低;温度较低时,氧化后方块电阻升高;单晶硅在任何温度下氧化后方块电阻都是降低的。通过分析认为是多晶硅的结构使其氧化后方块电阻的变化情况与单晶硅不同。 相似文献
98.
采用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面,利用正交实验法研究了不同腐蚀液配方中的HNO3、HF和缓和剂NaH2PO4·2H2O的含量对多晶硅太阳电池绒面的反射率和腐蚀速度的影响。结果表明:NaH2PO4.2 H2O溶液对腐蚀速度有着显著的影响,其次为HF溶液和HNO3溶液;对于反射率来说,其影响因素的重要性主次顺序为HF溶液、HNO3溶液、NaH2PO4·2 H2O缓和剂。在本实验条件下,最佳的酸腐蚀混合液配方为HF∶HNO3∶NaH2PO4.2 H2O=9∶1∶7,在该工艺条件下,制备的硅片绒面腐蚀坑较为均匀,反射率为17%左右。 相似文献
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多晶硅炉试生产一个月后,废气淋洗塔在一周内着火9次。经检查,还原炉炉壁、炉子基盘上散布有无定型硅粉,回收的氯硅烷颜色呈黑灰色,系统检测DCS含量达10%;MSA还原炉反应温度在900~1000℃之间,GT还原炉反应温度在1050℃~1100℃之间。分析研究后认为,MSA还原炉反应温度过低,处在生成DCS和无定型硅的温度区域,管道内富集了无定形硅,造成系统的堵塞,致废弃淋洗塔产生着火现象。采取了提高还原反应温度至1100~1150℃的措施,两周后,系统检测DCS含量降低到4%左右,淋洗塔不再着火,回收的氯硅烷颜色恢复。 相似文献
100.
铜杂质在太阳电池用多晶硅中的沉淀及吸杂行为(英文) 总被引:1,自引:0,他引:1
采用扫描红外显微镜、光学显微镜、电感耦合等离子质谱仪和微波光电导衰减仪对铜杂质在多晶硅中不同缺陷状态区域的沉淀和吸杂行为进行研究。发现铜杂质沉淀行为与缺陷密度密切相关,在低缺陷密度区域铜杂质大多易于均质形核形成沉淀,而在高缺陷密度区域铜杂质通常会聚集在缺陷处异质形核而沉淀下来。当铜沾污量较高时,由于在硅基体中的肖特基二极管效应,铜沉淀会令多晶硅中的载流子寿命明显缩短。在900℃下进行快速磷吸杂处理后,这两种区域中的铜杂质都不能得到有效去除。 相似文献