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61.
To measure the performance of high precision air-pressure sensors in below normal pressure,an automatic measurement instrument has been designed and implemented.It can simulate environment of low pressure from 300hPa to 1 000hPa with high accuracy by proportional-integral-derivative(PID)control quickly,and it can also generate various relative humidity by two-pressure control.The results show that this instrument can reach controlled pressure quickly.And it works well with the minimum average pressure difference,and the fluctuation is±0.02hPa at 500hPa.And it can keep in a stable status for a long time.It works well in performance testing of pressure sensors.The structure of the system is simple,takes small investment,and can be operated conveniently.  相似文献   
62.
探索了一种通过MEMS技术制备硅基微穿孔板共振降噪结构,并进一步将ZnO微米纳米材料加入其中以提高吸声性能的新方法.采用MEMS技术在硅片上得到了孔径为100μm、一致性良好的微孔阵列,将其与刚性底座组合在一起,构成硅基微穿孔板降噪器件.将通过水热合成法得到的ZnO微米纳米材料制备在后底板硅片上,并与硅基微穿孔板组装在一起,构成微米纳米复合降噪器件.对上述两种器件进行降噪实验,结果显示采用MEMS精密加工技术能够获得吸声系数较高的共振降噪器件,而经过ZnO微米纳米材料修饰后的复合器件,其在1500~6000Hz频段内的平均吸声系数提高了2.54%,达到85.87%.这一现象在1500~3000Hz频段尤为明显.因而,采用ZnO微米纳米材料修饰后的复合器件,吸声性能有所提升.  相似文献   
63.
设计采用了将PCR加热器芯片与微反应腔阵列相分离的思想,利用微电子机械系统(MEMS)技术制作微加热芯片,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料制作一次性使用的微反应腔阵列.这样既可实现PCR的微型化,提高反应速率、节省反应试剂,又可解决生物兼容性和PCR污染的问题.  相似文献   
64.
涡轮式气体流量传感器在用力肺功能测试中用于记录人体呼气信号,由于旋转惯性,对于相同用力呼气容量(FVC)值,测量结果因呼出气体流量而异,且差异值通常不可接受。针对该问题,该文通过在传统稳态涡轮流量计算模型的基础上引入速度惩罚项,构建一种FVC速度惩罚模型,与此同时,提出使用过幅降采样涡轮旋转周数算法,二者结合,提高了FVC测试结果的可接受性。利用国际通用的标准3 L定标桶,模拟真实用力肺功能测试过程,对算法的有效性进行验证。实验结果表明:所提方法能够有效降低前述差异,在一定程度上满足美国胸科协会(ATS)和欧洲呼吸学会(ERS)所提出的用力肺功能测试可接受标准和准确度要求。  相似文献   
65.
首先分析了田间育秧气吸振动盘式精密播种机的运动特点,论述了播种机调水平的必要性。其次,在构造的调水平并联机构的基础上,运用螺旋理论分析了该并联机构自由度以及动平台的运动特性,证明了该机构能够满足调水平的要求。采用矢量封闭形方法和齐次坐标变换法对并联机构进行了位置正反解分析,得出了机构输入与输出的位置关系表达式,为播种机水平调节提供了理论依据。最后,设计了先进实用的调水平机构驱动副。  相似文献   
66.
目前,在一二级市场外资品牌往往占据着主流地位,中小休闲食品企业在终端表现力.品牌影响力等各个方面与一线品牌有着巨大差距.其中.一二线休闲食品品牌大多都是外资品牌.虽然一部分优秀的国内企业也在一二级市场获得一定份额.但整体上市场份额相对较低.那么.大量存在的中小型食品企业的生存发展空间在哪里呢?对于他们之中的大部分来说,如果继续向一二级市场进军?与一线品牌硬碰硬无异于以卵击石,即使做得巧.也难以在短期内撼动已经形成的市场格局.因此,如果要做强成就自己的品牌.最明智的选择就是走向三四级市场,甚至是乡村市场.  相似文献   
67.
MnZnFeO体环形磁芯微电流传感器的研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
鲍丙豪  赵湛 《传感技术学报》2005,18(3):507-509,518
利用MnZnFeO体环形磁芯作为敏感材料,设计了一种采用单磁芯双绕组结构,高稳定性电压源供电,多谐振荡桥新型非接触型电流传感器及其信号处理电路.分析了传感器的工作原理,对传感器信号处理电路进行了参数设计计算,对测量结果进行了分析.通过对电路参数的优化设计,提高了传感器的分辨力、线性度及灵敏度.  相似文献   
68.
基于非晶带巨磁阻抗效应的新型弱磁场传感器   总被引:2,自引:1,他引:1  
利用短时矩形脉冲电流对近零磁致伸缩系数钴基非晶态合金带进行退火处理,得到约114%的巨磁阻抗变化率.同时利用CMOS多谐振荡电路产生窄脉冲电流序列对前面处理过的非晶带进行激励,制作成灵敏度高、稳定性好、功耗低的弱磁场传感器.对传感器的工作原理进行了分析,并设计了信号处理电路.该传感器可应用于对弱磁场的检测.  相似文献   
69.
针对压电式微传声器的两种测量方法,研究了提高微传声器灵敏度的方法。对于电荷测量法,前置放大电路应采用并联负反馈的方式;对于电压测量法,前置放大电路应采用串联负反馈的方式;并且选用高输入阻抗的放大器作为前置放大器。根据理论推导不同材料在不同测量方法下的灵敏度,发现在电荷测量法下用PZT制备的微传声器与在电压测量法下用ZnO制备的微传声器的灵敏度都比较高。用ANSYS软件对四边固支ZnO压电式微传声器进行静力分析,发现薄膜上最大电压为7.89mV,最小电压为-5.55mV。根据薄膜上的应力分布,针对两种测量方法,优化设计了两种不同的新型微传声器结构。  相似文献   
70.
研究了在MEMS气密性封装中基于Ag-Sn焊片的共晶键合技术。设计了共晶键合多层材料的结构和密封环图形,在221℃实现了良好的键合效果,充N2保护的键合环境下,平均剪切强度达到9.4 MPa.三个月前后气密性对比实验表明氦泄漏不超过5×10-4Pa.cm3/s,满足GJB548B—2005标准规定,验证了Ag-Sn共晶键合技术在MEMS气密封装中应用的可行性。  相似文献   
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