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To measure the performance of high precision air-pressure sensors in below normal pressure,an automatic measurement instrument has been designed and implemented.It can simulate environment of low pressure from 300hPa to 1 000hPa with high accuracy by proportional-integral-derivative(PID)control quickly,and it can also generate various relative humidity by two-pressure control.The results show that this instrument can reach controlled pressure quickly.And it works well with the minimum average pressure difference,and the fluctuation is±0.02hPa at 500hPa.And it can keep in a stable status for a long time.It works well in performance testing of pressure sensors.The structure of the system is simple,takes small investment,and can be operated conveniently. 相似文献
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探索了一种通过MEMS技术制备硅基微穿孔板共振降噪结构,并进一步将ZnO微米纳米材料加入其中以提高吸声性能的新方法.采用MEMS技术在硅片上得到了孔径为100μm、一致性良好的微孔阵列,将其与刚性底座组合在一起,构成硅基微穿孔板降噪器件.将通过水热合成法得到的ZnO微米纳米材料制备在后底板硅片上,并与硅基微穿孔板组装在一起,构成微米纳米复合降噪器件.对上述两种器件进行降噪实验,结果显示采用MEMS精密加工技术能够获得吸声系数较高的共振降噪器件,而经过ZnO微米纳米材料修饰后的复合器件,其在1500~6000Hz频段内的平均吸声系数提高了2.54%,达到85.87%.这一现象在1500~3000Hz频段尤为明显.因而,采用ZnO微米纳米材料修饰后的复合器件,吸声性能有所提升. 相似文献
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设计采用了将PCR加热器芯片与微反应腔阵列相分离的思想,利用微电子机械系统(MEMS)技术制作微加热芯片,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料制作一次性使用的微反应腔阵列.这样既可实现PCR的微型化,提高反应速率、节省反应试剂,又可解决生物兼容性和PCR污染的问题. 相似文献
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涡轮式气体流量传感器在用力肺功能测试中用于记录人体呼气信号,由于旋转惯性,对于相同用力呼气容量(FVC)值,测量结果因呼出气体流量而异,且差异值通常不可接受。针对该问题,该文通过在传统稳态涡轮流量计算模型的基础上引入速度惩罚项,构建一种FVC速度惩罚模型,与此同时,提出使用过幅降采样涡轮旋转周数算法,二者结合,提高了FVC测试结果的可接受性。利用国际通用的标准3 L定标桶,模拟真实用力肺功能测试过程,对算法的有效性进行验证。实验结果表明:所提方法能够有效降低前述差异,在一定程度上满足美国胸科协会(ATS)和欧洲呼吸学会(ERS)所提出的用力肺功能测试可接受标准和准确度要求。 相似文献
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目前,在一二级市场外资品牌往往占据着主流地位,中小休闲食品企业在终端表现力.品牌影响力等各个方面与一线品牌有着巨大差距.其中.一二线休闲食品品牌大多都是外资品牌.虽然一部分优秀的国内企业也在一二级市场获得一定份额.但整体上市场份额相对较低.那么.大量存在的中小型食品企业的生存发展空间在哪里呢?对于他们之中的大部分来说,如果继续向一二级市场进军?与一线品牌硬碰硬无异于以卵击石,即使做得巧.也难以在短期内撼动已经形成的市场格局.因此,如果要做强成就自己的品牌.最明智的选择就是走向三四级市场,甚至是乡村市场. 相似文献
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MnZnFeO体环形磁芯微电流传感器的研究 总被引:4,自引:0,他引:4
利用MnZnFeO体环形磁芯作为敏感材料,设计了一种采用单磁芯双绕组结构,高稳定性电压源供电,多谐振荡桥新型非接触型电流传感器及其信号处理电路.分析了传感器的工作原理,对传感器信号处理电路进行了参数设计计算,对测量结果进行了分析.通过对电路参数的优化设计,提高了传感器的分辨力、线性度及灵敏度. 相似文献
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针对压电式微传声器的两种测量方法,研究了提高微传声器灵敏度的方法。对于电荷测量法,前置放大电路应采用并联负反馈的方式;对于电压测量法,前置放大电路应采用串联负反馈的方式;并且选用高输入阻抗的放大器作为前置放大器。根据理论推导不同材料在不同测量方法下的灵敏度,发现在电荷测量法下用PZT制备的微传声器与在电压测量法下用ZnO制备的微传声器的灵敏度都比较高。用ANSYS软件对四边固支ZnO压电式微传声器进行静力分析,发现薄膜上最大电压为7.89mV,最小电压为-5.55mV。根据薄膜上的应力分布,针对两种测量方法,优化设计了两种不同的新型微传声器结构。 相似文献
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研究了在MEMS气密性封装中基于Ag-Sn焊片的共晶键合技术。设计了共晶键合多层材料的结构和密封环图形,在221℃实现了良好的键合效果,充N2保护的键合环境下,平均剪切强度达到9.4 MPa.三个月前后气密性对比实验表明氦泄漏不超过5×10-4Pa.cm3/s,满足GJB548B—2005标准规定,验证了Ag-Sn共晶键合技术在MEMS气密封装中应用的可行性。 相似文献