MEMS固态风速风向传感器的设计与制作

风速风向参数的测量在气象测量中占有重要的地位。基于MEMS技术的固态风速风向传感器具有体积小、重量轻、成本低的优点。设计了两种基于MEMS工艺的固态测风传感器,即硅薄膜式测风传感器和硅悬梁式测风传感器,用流体力学原理对这两种风速风向传感器进行了理论分析及ANSYS CFD软件模拟仿真,得出了风速与挠度、剪切力的关系。用惠斯通电桥测量传感器输出信号,通过单个传感器的二次封装测量风向信号。制作出了硅悬梁式测风传感器,并进行了初步测试。     

MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制

基于MEMS的电容式压力传感器以其低成本高性能在气象测量中有着广阔的应用前景。利用ANSYS软件模拟接触式电容压力传感器的工作状态，得到硅膜的形变和应力分布状况。制作流程采用简单标准的工艺：利用KOH各向异性腐蚀进行硅片大面积、大深度腐蚀减薄，分析了其浓度配比对硅面平整度特性的影响，采用阳极键合形成真空腔，试验反应离子深刻蚀形成硅膜的效果。芯片测试结果表明方案可行。     

无线传感器网络节点能量供应系统设计

在影响无线传感器网络的生命周期的众多因素中,节点的能量是其中最为重要的.节点的功耗、布撒环境以及具体应用等因素,都对节点的能量供给有重大影响.本文分析了当前基于能量挖掘的节点能量供应系统,并提出了改进的无线网络传感器能量供应系统,实现了利用环境能量为无线网络传感器节点永久供电.     

多传感器集成火灾监测单元

介绍了利用多传感器集成技术设计的火灾监测单元,主要特点是选用气敏、烟雾、火焰、温度等传感器。文中给出了集成系统的硬件结构,讨论了数据融合处理的几种模型结构。     

集成多生理参数监测的终端设计

针对目前健康监测终端设备的弊端,设计了一种便携式多生理参数监测终端.终端设备以ARM微处理器STM32 F405为控制与信号处理核心,通过对多种传感器采集的信号进行实时处理和分析,获取脉率、呼吸、血氧饱和度(SPO2)、脉搏传输时间(PTT)、心电图(ECG)以及光电容积脉搏波(PPG)信息,可实时显示生理参数和波形信息,通过触控屏完成人机交互功能,可方便实现手持式和穿戴式测量方式的自由切换.测量数据可本地存储或者通过蓝牙、Zig Bee无线发送.通过实验测试,该设备测量的生理参数数据准确可靠.     

基于MEMS工艺的硅基四电极电导率与温度集成传感器芯片的研制

水参数的集成测量是水资源保护和海洋科学的基础,具有重要的意义.基于MEMS技术设计了流程简单、易于制备的铂电阻式温度传感器与圆环形四电极式电导率传感器集成芯片,采用专用的温度检定箱和双运放结构的测量电路分别对集成芯片的温度部分和电导率部分进行测试,得到了较好的测量结果.良好的线性曲线有利于后续的标定与应用.这款集成芯片...     

聚酰亚胺电容式湿度传感器的研制及改进

聚酰亚胺(PI)电容式湿度传感器的新型设计简化了工艺流程,避免引线台阶式引出时可能出现的脱落、断裂等问题;改进了温度补偿电极的位置及结构;分析了平板式电容式传感器的等效电路及简化条件,以及PI薄膜的厚度与亚胺化温度对吸湿性能的影响.研究了反应离子刻蚀(RIE)对完成电极腐蚀后的芯片进行高选择比的各向异性刻蚀及对湿度响应的影响,结果表明增大了PI与周围环境的接触面积,提高了响应速度.     

用于生物化学样品分离检测的基于阵列电极的芯片系统

提出一种集成了检测电极的基于线性阵列电极的微流体芯片,及以此芯片为基础所构建的控制检测系统.系统采用电化学检测手段,用基于单片机的测量模块实现阻抗检测功能,试图以此代替专用的阻抗分析仪,从而真正实现微流体分离检测的微型化.     

SU-8微针执行器的研究

设计和采用MEMS工艺技术制作了一种由电磁驱动的微量取样执行器.执行器的结构包括微针、通道、反应室、电极以及永磁微阵列等.通过外部磁场可以实现双向线性驱动.本文主要介绍了利用SU-8光刻胶材料,采用多级曝光实现3D结构的工艺技术,研制出了微针执行器的雏形器件.微针的尺寸为600μm×800μm×40μm,微针孔径截面为20μm×20μm,并给出了SEM分析的研究结果.     

水果产业的品牌化路径

目前,中国水果产业总体上处于"小生产、大市场"的市场现状,市场品牌集中度不高,品牌化程度低.近日,一则"大学生卖柑橘凑学费"的报道引起社会强烈讨论,当事大学生巫小彬更是被CCTV新闻频道采访.于是,卖桔难的问题就被凸显出来.再加上去年年底曝出的柑橘含蛆事件更是加重了这种情况.