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本文研究了乳酸(HL)体系抛光液中金属锇的化学机械抛光(CMP)行为,采用电化学分析方法和X射线光电子能谱仪(XPS)分析氧化剂和腐蚀抑制剂的作用机理,利用原子力显微镜(AFM)观察抛光前后锇的表面形貌.结果表明,当抛光液仅含有H2O2时,金属锇表面腐蚀不明显;在一定浓度范围内H2O2浓度的增加可以提高金属锇表面的腐蚀速度,但是不利于金属锇表面钝化膜的形成.当抛光条件为:压力为6.895 kPa,转速为50 r/min,抛光液流量为50 mL/min,pH值为5.0;抛光液组成为:SiO2质量分数为1%,HL质量分数为1%,H2O2质量分数为3%时,得到最大去除速率为23.34 nm/min,表面粗糙度Ra为6.3 nm,而将缓蚀剂BTA加入到抛光液后,在同样的抛光条件下得到的锇表面粗糙度更低,表面粗糙度Ra达到2.1 nm. 相似文献
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文章通过对液压挖掘机发动机悬置系统分析,得出了计算模型和相应计算公式,同时对某型号挖掘机悬置系统出现的问题进行测试和分析,给出了有效的解决方法,为挖掘机悬置系统优化设计起到借鉴作用。 相似文献
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通过水热法制备石墨烯-SnO2复合材料,采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、红外光谱仪和拉曼光谱仪对石墨烯-SnO2复合材料进行表征。研究石墨烯掺杂比例和水热温度对石墨烯-SnO2复合材料敏感性能的影响;考察SnO2和质量分数0.1%石墨烯-SnO2(100℃,10 h)复合材料对应元件对甲醛、乙醇、丙酮、苯、乙酸和氨气6种气体的敏感性。结果表明:质量分数0.1%石墨烯-SnO2(100℃,10 h)复合材料对应元件对低浓度甲醛和低浓度乙醇有很好的敏感性,当工作温度为89℃时,质量分数0.1%石墨烯-SnO2(100℃,10 h)复合材料对应元件对φ(甲醛)=1′10^-3的灵敏度为13.6,响应恢复时间分别为44 s和170 s,对φ(甲醛)=1′10^-7的灵敏度可达1.2;当工作温度为165℃时,质量分数0.1%石墨烯-SnO2(100℃,10 h)复合材料对应元件对φ(乙醇)=1′10^-3的灵敏度为11,响应恢复时间分别为14 s和28 s,对φ(乙醇)=1′10^-7的灵敏度可达1.1。 相似文献
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文章对施工验槽工作方法作了简单介绍,并根据作者多年来在克拉玛依地区参加地基施工验槽的实践经验,对该地区常见的地基问题进行了分析讨论,并提出了相应可行的处理方法。 相似文献
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文章主要阐述了俨佧TC1500型全站仪的功能和在工程方面的应用以及作者的经验体会。 相似文献