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文章描述了氧等离子干法剥离光刻胶中MOS器件的性能退化问题,并且制备了不同天线比AR(Antenna Ratio),相同器件结构的NMOS器件来检测器件的退化.实验结果发现栅漏电流密度Jg和阈值电压Vt漂移会随着Al的天线面积的增加而非线性地增加,尤其表现在阈值电压漂移上.运用增加电流应力时间的测试来模拟器件在等离子反应腔中所受的实际应力,发现了与天线比增加时阈值电压变化趋势相同,表明在氧等离子气氛中器件受到了负电应力的影响.最后,基于此次实验的结果,在器件的设计,工艺参数的制定方面提出了一些减小干法剥离光刻胶工艺带来器件性能退化的建议. 相似文献
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国际辐射评价系统及其应用 总被引:1,自引:0,他引:1
国际辐射评价系统(InterRAS)是通过考虑对放射性事故后果起关键作用的工况来对事故后果进行评价的计算机软件系统,本文主要介绍了用于后果分析的辐射评价系统(RASCAL)和InterRAS开发的历史,InterRAS对于RASCAL 2.1所做的改进以及InterRAS的基本功能和有效模式,并阐述了我国应用InterRAS进行核事故后果评价应注意的问题。 相似文献
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采用实时电阻测量方法实现了金属镍诱导晶化制备多晶硅薄膜的实时监控,实验中使用了两种样品,一种采用电场增强侧向晶化;另一种采用金属诱导侧向晶化.结果表明薄膜电阻值在高温下随晶化时间呈指数衰减,且具有很强的温度依赖关系.采用晶粒边界势垒模型解释了阻值衰减行为,分析计算了两种样品的阻值衰减规律.电场增强方式的时间常数比非电场增强方式小,表明加电场有促进晶化的作用.实时电阻测量方法可以用于金属诱导晶化动力学的研究,是一种简单实用的实时监控手段. 相似文献
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一、本平和差距十一届三中全会以来,我国的建筑工业化取得了较快的发展。装配式大板、现浇大模板、滑模和升板、框架和砌块等建筑已基本形成了具有中国特色的建筑体系。施工技术和施工机械化水平有了很大提高,1983年全国建工系统国营建安企业共拥有机械设备37.6万台,总功率为653.6万马力,六个主要工种工程的综合机械化程度达到47.8%。 相似文献
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本文报道一种低阻高化学稳定的Al∶Ti合金的制备方法及其在a-SiTFT中的应用.所获Al∶Ti合金电极材料的电阻率可达6.6μΩ·cm,与纯铝的相近.Ti的加入使Al∶Ti合金惰性增强,有效地抑制了小丘(Hillock)的产生和阳极氧化时的被腐蚀现象.采用Al∶Ti合金栅和Al2O3/SiNx双层绝缘层的a-SiTFT有着与采用Ta栅和单层SiNx绝缘层的a-SiTFT相近的I-V参数,但前者稳定性明显提高.经+10V栅偏压处理1小时,未见VT漂移.这种双层冗余技术还能有效提高成品率. 相似文献
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近年来关于建筑工业化问题的讨论和研究已经不少,但对于建筑合理化问题至今尚未引起应有的重视。 关于建筑合理化的概念以及建筑合理化和建筑工业化之间的关系问题在各种文献中提法不尽一致,有的文献中把传统建筑方法的合理化和将建筑过程实现工业化归结为建筑技术改革的两条途径;而联合国经济社会 相似文献