浸没式光刻技术的研究进展

浸没式光刻技术是将某种液体充满投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片之间来增加系统的数值孔径，可以将193nm光刻延伸到45nm节点以下。阐述了浸没式光刻技术的原理，讨论了液体浸没带来的问题，最后介绍了浸没式光刻机的研发进展。     

提高引线键合机超声系统性能的若干因素的分析

概述了引线键合机超声系统的组成，分析了影响引线键合机超声系统的若干因素，在此基础上提出了一些优化超声系统性能的措施。     

一类规范的类正弦VMSK调制的功率谱分析

调制技术对数据传输效率有重要的意义。本文对类正弦VMSK调制方法进行了研究，提出了该类调制的规范型，推导了它的功率谱解析表达式，并对功率谱、带宽效率及其与抗干扰性能关系进行了分析，为有关该类VMSK后续研究和开发工作奠定了基础。     

时变信噪比信号的子波消噪

由于目前所研究的子波消噪方法都假设信噪比是非时变的，故针对时交信噪比的信号特点。提出了自适应门限的子波消噪法，很好地解决了此类信号的消噪问题．分析了新方法的特性。给出了消噪的算法。并应用于B超仪的信号处理．     

铸态Al63Cu25Fe12的热处理及相分析

按照原子比Al63 Cu2 5Fe12 配料 ,在真空感应炉中熔炼制备AlCuFe准晶材料样品。通过对铸态Al63 Cu2 5Fe12 的不同温度的热处理得出不同的处理温度对其内部相的转变情况 ,发现随着温度的升高 ,铸态Al63 Cu2 5Fe12 向准晶相的转变越来越充分 ,成分趋于单一化     

用小波包变换广义回归神经网络法处理硝基苯胺异构体重叠紫外吸收光谱

开发了一种小波包变换广义回归神经网络(WPTGRNN)法,用于处理对硝基苯胺、邻硝基苯胺和间硝基苯胺重叠的紫外吸收光谱,达到不经预先化学分离进行同时测定的目的。WPTGRNN法结合小波包变换和广义回归神经网络(GRNN)的特点,改进除噪质量和预测能力。通过最佳化实验,选择了小波函数、小波包分解水平及GRNN的平滑因子。实验结果表明,WPTGRNN法的预测标准误差为1.08μg/mL,预测相对标准误差为4.20%,与小波变换广义回归神经网络、广义回归神经网络和主组分回归3种方法进行比较,WPTGRNN法优于其他3种方法。     

维持黄河下游主槽平滩流量4000m3／s所需水量

基于黄河下游历史实测资料,分析了流量、水量、含沙量和来沙量等主要因素与主槽形态的响应关系,通过对未来入黄泥沙形势、黄河下游洪水形势、黄河下游不同量级洪水的挟沙能力、不同量级及历时的洪水塑槽机理分析,阐述了小浪底水库运用后进入黄河下游的泥沙将主要在洪水期下泄的特点,以及未来下游来沙量8亿~9亿t情况下,黄河下游主槽不萎缩所需洪水条件,即维持下游主槽过流能力4000m3/s左右,对应的塑槽水量应维持在60亿~70亿m3。     

无因次裂缝导流能力：极佳输入值得到极佳的油井产能

无因次裂缝导流能力是油井增产作业中一个主要的设计参数'它是裂缝传输流体至井眼的裂缝传导能力与地层输送流体至裂缝的传导能力的比较.它在压裂设计上的应用追溯到50年代水力压裂技术的最早时期.尽管在数值模拟方面有所进展,但也许因为在目前这样一种重要理论中它的相对简单性,因此连续使用40年之后它仍是一个主要的设计参数.然而,作为任意设计参数, 它的值与测定中使用的数据一样有价值.近年来文献中的测试报道和70年代初期其他研究表明,多数工程师使用的裂缝导流能力的数据源对裂缝的有效渗透率估计过高'竟高出一个数量级.这一结果导致当今的水力压裂增产处理在生产能力方面受到限制,并且与油藏的潜在供油能力不相匹配.因此,了解该试验参数,使当今的工程师们可以测出输入数据,以便更精确地计算出无因次裂缝导流能力值,从而提高油井产能.     

利用合适的相干因子提高光刻仿真准确性(英文)

利用光刻仿真软件PROLITH,进行了掩模版空间成像的焦深(DOF)和光学临近效应的 仿真。理论上分析了照明光瞳相干因子定义法:10％能量法和10％-90％积分能量法,并发展了因 子矫正法。仿真中分别代入了这三种定义法得到的照明光瞳相干因子,通过比较这三种情况与代 入真实光瞳的仿真结果,发现利用因子矫正法定义真实照明光瞳的相干因子,比其它两种定义法 得到的仿真结果与真实结果最接近,从而提高了仿真的准确性。     

无因次裂缝导流能力∶极佳输入值得到极佳的油井产能

无因次裂缝导流能力是油井增产作业中一个主要的设计参数 ,它是裂缝传输流体至井眼的裂缝传导能力与地层输送流体至裂缝的传导能力的比较。它在压裂设计上的应用追溯到 5 0年代水力压裂技术的最早时期。尽管在数值模拟方面有所进展 ,但也许因为在目前这样一种重要理论中它的相对简单性 ,因此连续使用 4 0年之后它仍是一个主要的设计参数。然而 ,作为任意设计参数 ,它的值与测定中使用的数据一样有价值。近年来文献中的测试报道和 70年代初期其他研究表明 ,多数工程师使用的裂缝导流能力的数据源对裂缝的有效渗透率估计过高 ,竟高出一个数量级。这一结果导致当今的水力压裂增产处理在生产能力方面受到限制 ,并且与油藏的潜在供油能力不相匹配。因此 ,了解该试验参数 ,使当今的工程师们可以测出输入数据 ,以便更精确地计算出无因次裂缝导流能力值 ,从而提高油井产能