石灰-烟道气法卤水净化工艺碳化反应的试验研究

针对卤水净化中,除去钙镁等主要杂质的工艺,采用了石灰-烟道气法,原料仅使用便宜易得的生石灰和工业锅炉烟道气,不仅大大降低了净化卤水的成本,而且减少了工业废气的排放,保护了环境。实验主要对有效除去钙离子做了深入的研究。     

微加工工艺应力的喇曼在线测量

针对微加工工艺过程造成的残余应力,文中提出了喇曼在线测量方法,并对最常用的三种微加工工艺:淀积、腐蚀或刻蚀及键合进行了喇曼在线测量.测量结果与理论分析相符,淀积工艺中,氮化硅对硅片造成的残余应力比氧化硅造成的大,且氧化硅在硅衬底上形成的残余应力是压应力,氮化硅形成的是张应力;刻蚀工艺和键合工艺对硅片造成了相对较大的应力分布,且都为张应力,最大值超过300MPa.     

阵列式微机械悬臂梁的研制及其特性分析

在一个芯片上设计了六组不同规格的矩形压阻悬臂梁.采用ANSYS有限元分析系统对微压阻悬臂梁进行应力分析,并对压阻悬臂梁的噪声、灵敏度以及最小可探测位移进行了研究.选用多晶硅为压阻材料,以硅微机械加工技术为基础,完成了阵列式压阻悬臂梁的制备.通过测量器件的噪声和灵敏度,计算出在6V偏压和1000Hz测量带宽下,多晶硅悬臂梁的最小可探测位移为1nm.     

信号微机监测系统施工开通后的故障处理

铁路信号微机监测系统是保证行车安全、加强信号设备结合部管理、监测信号设备状态、发现信号设备隐患、分析信号设备故障原因、指导现场维修、反映设备运用质量、辅助故障处理、提高电务段信号设备维护水平和维护效率的重要设备。因此在信号设备大修、改造中要同步装备信号微机监测系统,现重点分析了现场施工开通后发现的监测系统故障和设备缺点借以提高信号微机监测系统的设备质量和运用效果。     

大朝山水电站地下厂房枢纽布置和地下洞室群围岩支护设计

大朝山水电站受所处坝址地形、地质、水文条件等因素限制，电站厂房只能采用地下厂房方案．厂房、主变室、尾调室三大洞室轴线方位和洞室相对位置受厂房区断层的影响被限在目前位置．地下洞室群的设计通过对围岩稳定进行有限元分析、地质力学模型试验、局部不稳定块体分析，分别按各部位地质条件进行了支护设计．     

基于SOI的集成硅微传感器芯片的制作

为满足小体积、多参数测量的要求,采用SOI硅片,设计了一种测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂硅压阻效应,温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应.根据集成传感器的结构,制定了相应的制备工艺步骤.针对芯片上各电阻间金属引线的可靠性问题和加速度传感器质量块吸附问题提出了有效的改进方法.最后给出了集成传感器芯片的性能测试结果.     

吉沙水电站发电系统布置与设计

吉沙水电站采用引水式开发,岸边式地面厂房。发电系统主要由厂区建筑物、主副厂房、尾水渠、开敞式开关站等建筑物组成。各建筑物的布置和结构设计较常规,在常规水电站中具有一定的代表性。     

基于谐振原理的微机械疲劳试验装置的研究

设计出一种基于梳状驱动器原理的静电力驱动的微机械疲劳试验装置，该装置可由典型的表面牺牲层标准工艺制作。对所设计的MEMS（micro-electro-mechanical system）疲劳试验装置中的圆弧梳状驱动器的电容及静电驱动力进行理论分析，并采用ANSYS机电耦合单元对装置的振动过程进行模拟，模拟结果与理论分析相吻合。研究结果表明在一定范围交流电压的驱动下试样能达到MEMS疲劳测试所要求的应力水平，并对该电压范围进行预测。     

微加工工艺应力的喇曼在线测量

针对微加工工艺过程造成的残余应力,文中提出了喇曼在线测量方法,并对最常用的三种微加工工艺:淀积、腐蚀或刻蚀及键合进行了喇曼在线测量.测量结果与理论分析相符,淀积工艺中,氮化硅对硅片造成的残余应力比氧化硅造成的大,且氧化硅在硅衬底上形成的残余应力是压应力,氮化硅形成的是张应力;刻蚀工艺和键合工艺对硅片造成了相对较大的应力分布,且都为张应力,最大值超过300MPa.