AI/W/TiN/AI及AI/W/TiW/AI结构特性研究

本文研究了H_2还原WF_6在α-Si/TiN/Al和TiW/Al衬底上LPCVD生长钨膜的特性。测量和分析了Al/W/TiN/Al和Al/W/TiW/Al结构的接触电阻和界面特性,研究了两种结构的热稳定性。结果表明,H_2还原WF_6可以在α-Si/TiN/Al和TiW/Al衬底上实现选择性钨淀积,钨膜质量较好。Al/W/TiN/Al和Al/W/TiW/Al结构接触电阻率为10~(-?)Ωcm~2量级,远低于难熔金属硅化物同硅的欧姆接触电阻率。两种结构的热稳定性良好。采用TiN或TiW作为Al和W之间的隔离层,CVD-W填充互连层连通孔可以满足多层金属平坦化互连技术的要求。     

争夺主导权还太早

2006年12月4日《中国移动银行》我很看好移动支付这个手机应用。手机是最具有创新潜能的移动设备,可以把众多商务和娱乐的功能整合在一起,其他的手持设备在这一点上都不能和它相比。但比起互联网支付,移动支付面临的推广难度更大。最基础的是技术标准的统一,但这和所有标准问题一样,都面临着不同监管部门之间对主导权的争夺。在中国,这几乎是所有标准成败的关键之一。目前这个阶段首先要做的是把移动支付市场做大,这需要运营商和商业银行来合作,而不是在市场还没成形的时候就争抢所谓的主导权。当然,这种合作是一种竞合的关系,一方面,运营商…     

巷道掘进中的打眼操作及提高速度问题

在巷道掘进中,如何提高打眼速度,对縮短整个凿岩作业的循环时間和加快掘进速度,都有重要的作用。現就打眼操作和提高打眼速度的問題,談談个人的一些看法。一、打眼操作方法炮眼打得快慢,除了和打眼机具、岩石性质有关外,操作方法恰当与否也有重要关系。一般在操作上应注意以下几点: 1.打眼之前,可先打开风机吹吹风管,然后再接     

基于矢量有限元的任意介质加载波导通用软件设计

本文旨在实现波导问题的通用软件设计,文章完善了各向异性介质填充波导问题的矢量有限元理论,并计算了有耗、各向异性介质加载的任意结构波导模式传输系数、色散曲线和模式电场分布。在计算色散曲线时,本文结合了模式场图以消除HFSS在色散计算过程中对传输模式的误判。对于开放结构波导,采用各项异性介质的完全匹配层（PML）理论实现无限的问题截断。通过与商业电磁仿真软件的计算结果作比较,验证了算法的精确性。     

微气泡执行器强化微混合的实验研究

微尺度流动的雷诺数(Re)比较低,其混合主要通过扩散来完成,因此需要较长的距离与时间才能混合均匀。为实现微尺度低Re数流体的快速均匀混合,以甲醇及染色甲醇为工质,采用脉冲电压激励微铂膜产生可控气泡,并以气泡周期性胀缩产生的脉冲压力为动力源,研究脉冲压力横向扰动产生的混沌流对微通道内流动混合的影响。结果表明:脉冲压力横向作用使流体的交界面产生了强烈的卷曲拉伸,有效地强化了混合,该微混合器能够在毫米级混合长度及毫秒级混合时间内快速均匀混合,脉冲频率越高,混合效果越好。本研究结果为解决微尺度下低Re数流动混合难题提供了一种有效的崭新手段。     

37.00R57巨型工程机械子午线轮胎胎圈与轮辋过盈配合优化设计

采用理论设计和有限元分析相结合的方法,对37.00R57巨型工程机械子午线轮胎胎圈与轮辋过盈配合进行优化设计。利用公式计算不同胎圈设计方案轮胎胎圈与轮辋配合的紧密程度、钢丝圈的安全倍数以及胎圈过盈力等,通过有限元模拟分析轮胎充气状态和负荷状态下胎圈与轮辋的接触情况和胎圈冯密斯应力分布情况,并对计算结果进行验证,选出优化方案。采用优化方案试制的轮胎在实际使用中胎圈与轮辋过盈配合恰当,轮胎气密性能良好,且装卸容易,轮胎在长时间使用中能保持正常充气压力。     

橡化沥青非固化防水涂料及其复合防水系统

橡化沥青非固化防水涂料是以高分子聚合物、沥青等材料为主剂通过改性剂、添加剂制造的单组分防水涂料,能适应复杂的施工作业面,并可自动找寻漏水部位,修复已损坏的防水层.详细介绍橡化沥青非固化防水涂料的性能和特点,并以屋面防水为例,阐述了该涂料和改性沥青卷材复合防水系统和施工工艺.     

ICP-AES法测定炼钢孕育剂中的钡

用电感耦合等离子体光谱法测定炼钢孕育剂中的钡,先将样品中的钡转化成BaCO3沉淀,再转化成Ba2+,并选择合适的谱线及仪器参数.该法操作简便、分析快速,相对标准偏差小于1%(n=6),加料回收率96.1%～99.1%.