无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性

为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性。从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型;以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区间内动齿的静电力并与有限元模拟计算结果进行了对比分析。采用微机电系统(MEMS)工艺制作出了无交叠梳齿驱动器,搭建了Michelson干涉仪光学测试系统,测试了无交叠梳齿驱动器的静态驱动特性。实验结果表明,所制作的无交叠梳齿驱动器在28V偏压下机械位移可达325nm,相位差为2π;在90V的偏压下能够获得2.07μm静态位移。测试结果与保角变换及有限元模型分析结果一致,验证了所建数学模型的正确性,为无交叠梳齿驱动器的设计提供了理论与实验基础。     

攀钢空料线停炉炉顶打水系统技术改进

介绍了攀钢高炉在空料线停炉炉顶打水系统所存在的问题,并有针对性地对此系统进行了技术改进和完善,最后对改进实施后的打水效果和经济效益做了评价和计算.     

光学MEMS技术及其光通信应用

0引言MEMS技术与光学技术的结合被称为光学MEMS(Optical MEMS),也称为MOEMS(MOEMS:Micro Opto-Electro-Mechanical System),是MEMS技术的一个重要分支。光学MEMS技术在上世纪80年代左右开始起步,至今发展已经有三十多年的历史,其技术应用主要分为光学执行器、光学传感器、光学加工制造三类。1光学MEMS技术带来的新机遇MEMS技术与光学的结合,为光学技术的发展带来了新的发展动力和机遇,一大批新器件、新制造技术推动了光学技术的快速发展。光学MEMS执     

基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制

采用体硅微加工工艺制作了一种基于光栅光阀(GLV)的光学调制器,使用仿真软件对器件参数进行了优化设计。对加工出来的器件进行了测试,并对测试结果进行了分析。器件成功的实现了光学调制的功能,采用10kHz的方波信号进行调制时,得到了峰峰值为50mv,响应时间为10μs的调制后波形。     

用苯并环丁烯进行圆片级硅–硅气密性键合

应用苯并环丁烯(BCB)材料对硅片进行了圆片级低温键合,并研究了其在气密性封装工艺中的应用。测试表明:在250℃的低温键合条件下,封装后样品的气密性优于3.0×10–4Pa.cm3/sHe;剪切力达4.7MPa以上;封装样品合格率达94%以上;通过热循环可靠性测试之后仍具有很好的气密性。BCB是一种较理想的圆片级低温气密性健合封装材料。     

基于ANSYS的结构优化设计

论述在基于有限元软件ANSYS平台下,对结构进行优化的步骤。综合应用拓扑优化,参数化建模,形状优化的方法对产品设计进行优化。并以应力集中力扩散结构设计为例,验证了所提出的优化方法的可行性。为结构优化提供了一种有效方法。该方法能够很好地为实际工程设计与分析服务提高建模效率和准确性,并能够对传统解析模型难以分析的一些参数进行分析。     

MEMS双光纤位移声传感器设计与分析

提出了一种新型强度调制型光纤传感器的理论模型。该模型使用单模光纤,讨论了光在准直透镜中的传播规律,利用光学透镜的准直作用,即矩阵光学原理和高斯耦合理论实现光强调制。强度型光纤传感器采用微电机系统MEMS结构的压力振动膜片拾取振动位移,通过分析施加在膜片上压力的变化及膜片尺寸得到影响双光纤位移传感器灵敏度的相关参数。仿真结果表明:合理的选择参数可以使传感器的灵敏度在不增加结构复杂性的前提下较传统方法有103量级的提高。     

大型转炉双角度氧枪喷头高供氧强度炼钢

 为了把宝钢炼钢厂300 t转炉的氧流量由60 000 提高到69 000 m3/h,设计了6孔双角度氧枪喷头。根据第一个双角度喷头的试验结果,结合实验室内进行的氧枪喷头射流流场测定、射流与熔池作用的水模研究,对喷头设计进行了改进。为制定正确的供氧制度和喷头设计,对宝钢一炼钢的管道压力损失进行了测定。经过优化的3号6孔双角度喷头的主要参数为,氧流出口马赫数Ma≥2.1,小角度喷孔的氧流量不低于总供氧流量的57%,大角度喷孔夹角不小于13°,小角度喷孔夹角为10°左右。利用3号6孔喷头炼钢效果为,氧流量为69 000 m3/h,吹氧时间平均缩短2.0 min/炉,脱磷率平均为87.5%,氧枪喷头寿命平均为190次。通过这次研究工作掌握了大型转炉高供氧强度3.833 m3/(t·min)吹炼的双角度6孔喷头设计制作和吹炼操作技术。     

非对称Y分支波导结构的理论分析

对非对称Y分支进行了理论分析和计算。求解五层非对称波导正交模式,将之与波导模式结合,对两种不同形状的非对称Y分支串扰特性进行了定量分析,其结果与BPM软件模拟结果符合相当好。这种理论形式简单,应用范围大。