ULSI中Cu互连线的显微结构及可靠性

观察了ULSI中大马士革结构的Cu互连线的晶粒生长和晶体学取向.分析了线宽及退火对Cu互连线显微结构及电徙动的影响.Cu互连线的晶粒尺寸随着线宽的变窄而减小.与平坦Cu膜相比,Cu互连线形成微小的晶粒和较弱的 (111) 织构.300℃、30min退火促使Cu互连线的晶粒长大、(111) 织构发展,从而提高了Cu互连线抗电徙动的能力.结果表明,Cu的扩散涉及晶界扩散与界面扩散,而对于较窄线宽的Cu互连线,界面扩散成为Cu互连线电徙动失效的主要扩散途径.     

放电等离子烧结制备亚微米LaB6块体材料

采用氢直流电弧等离子体法,以稀土镧块为原料,制备出了平均粒度为20 nm的La纳米粉末.以L丑纳米粉和B纳米粉为原料,采用放电等离子烧结(SPS)技术制备出了LaB6亚微米晶块体材料.通过系统研究各烧结参数对材料结构和性能的影响,得到了最佳的烧结工艺.获得了相对密度高达99.3%的致密烧结体,其维氏硬度达到14.1 GPa.采用XRD,SEM和TEM对材料的相组成和微观组织进行了测试分析.结果表明.SPS烧结LaB6块体的晶粒细小,平均晶粒尺寸为150nm,整体结构均匀致密.实验表明,SPS技术可以实现LaB6细晶块体材料的快速烧结.     

新型电池正极材料失效机制的透射电子显微学研究

透射电镜作为当代最常用的材料表征手段之一,有着高的分辨率,可以较清晰地在原子尺度表征材料的微观结构与化学成分,在许多学科中发挥着关键作用。新型电池作为高效、清洁的储存装置,给现代生活带来了许多便利,拥有极大的科研与商用价值。而作为电池重要部件的正极材料,是否能高效、安全地工作,时刻影响着新型电池的商业化前景。本文综述了透射电子显微学在新型电池正极材料失效机制研究中的贡献,总结了正极材料失效的普遍原因。利用透射电子显微学表征电池正极,有助于优化传统正极材料,对设计更加先进、稳定的新型正极材料提供理论依据。     

{011}〈UVW〉取向银基带的织构研究

由于Ag不与超导氧化物发生反应，在Ag基带上可以直接沉积YBa2Cu3O7-δ超导薄膜而不需过渡层，但基带的织构状态对超导膜的电性能有很大影响。研究表明{011}〈uvw〉取向的Ag基带有利于外延生长具有c取向及面内取向的YBa2Cu3O7-δ超导薄膜，进而使超导膜具有高的临界电流值。     

多晶Ag基带上YBCO超导膜的TFA-MOD制备法

探讨了三氟乙酸盐受热分解(TFA-MOD)方法在多晶织构Ag基片上制备YBCO膜的工艺参数与薄膜的成分和取向、表面形貌及超导电性之间的关系。通过优化工艺参数，在1cm Ag{110}(110)基带上制备了成分单一、纯c-轴取向及较好面内取向的YBCO膜，Tc=90K，,Jc=15000A／cm^2。     

Fabrication of YBCO films on Ag substrate by TFA-MOD method

Biaxial aligned YBCO films have been successfully deposited on Ag { 110 } (110) textured polycrystalline substrates by metal-organic decomposition (MOD) method using Trifluoroacetate Salt (TFA). The influence of firing temperature and Ag surface defects on phase purity and texture, surface morphology of YBCO films was studied. Holding temperature at 900℃ for 30 rain benefits to improve orientation and connectivity of YBCO films. The surface of YBCO films deposited on unpolished Ag substrate has many holes and stripes, which are parallel to the rolling stripe on Ag substrates. To eliminate the rolling stripe on the Ag surface, Ag substrates were polished prior to films deposition. The film grown on polished Ag substrates has a smooth surface and good connectivity of grains without parallel stripes. The YBCO films have an onset of transition around 90K and critical current densities of 15000 A/cm^2.     

低合金钢中钒含量与珠光体量关系的研究

本文研究了含钒低合金钢中珠光体量(V_π％)与钒含量(N％)的关系,建立了适用于普通含钒低合金钢的V_π％与N％的关系方程: V_π/V％=K·ρ_(sγ)/ρ_π(C_s％-0.02％)·[C％-12/51n(N％-Ns％)-0.02％]利用该方程从本文的V_π％实验结果分析了钒在低合金钢中的状态。     

Ag掺杂对YBCO烧结靶性能的影响

用固相反应法制备了掺Ag的和不掺Ag的YBCO烧结靶,X射线衍射对样品进行结构及相分析,结果表明,Ag掺杂可以降低靶材的烧结温度,更有利于c轴取向的YBCO超导体的生成;SEM及能谱分析样品断口形貌及成分发现,Ag主要分布在YBCO颗粒的缝隙中,易于形成SNS(YBCO朅g朰BCO)结,克服弱连接增强晶粒间的耦合,提高临界电流密度Jc. 用标准四引线法测量样品的Tc和Jc确实发现掺Ag靶材的Jc要比不掺Ag的约高一个数量级,但Tc相差不多. 掺Ag的靶材较致密,孔洞少,暴露在空气中和在激光作用下不易失超,所以Ag能有效提高YBCO烧结靶的稳定性,延长其使用寿命,对PLD镀膜有重要意义.