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21.
宽禁带半导体TiN作为扩散阻挡层以及场效应管的门电极在集成电路中发挥重要作用。通过原子层沉积(atomic layer deposition,ALD)技术沉积不同循环次数TiN薄膜,采用四探针测试仪、台阶仪、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对薄膜进行了表征,确定了薄膜电阻率、生长速率、表面粗糙度与工艺条件的依赖关系。实验结果表明,ALD可实现膜厚精确控制、大面积均匀性优异、电阻率较小的薄膜制造,沉积薄膜的最小粗糙度为0.101nm,电阻率为5μΩ·cm,薄膜稳定生长速率为0.025nm/cycle。 相似文献
22.
柔性压力传感器因其在可穿戴设备和人机交互界面中的潜在应用而备受关注.特别是在实际应用中,人们对具有高灵敏度、宽测量范围和低成本的压力传感器有很大需求.基于此,我们研制出了一种测量范围宽的超灵敏压力传感器.该传感器是以碳纳米管(CNT)均匀溶液直接喷在纸表面作为敏感材料,用光刻技术制成的叉指电极为结构.由于CNT大的比表面积、纸的多孔结构以及CNT与叉指电极有效接触的协同作用,压力传感器实现了从0到140 kPa的宽测量范围,并在15,000个测试周期内表现出良好的稳定性.对于纸基碳纳米管薄膜/叉指状结构(PCI)压力传感器,敏感材料与叉指电极之间的连接区域在较小的压力范围内占主导地位,而敏感材料的内部变化在大的压力区域起主导作用.此外PCI压力传感器不仅具有2.72 kPa-1(直到35 kPa)的高灵敏度,还可以检测小重量,如一颗绿豆(约8 Pa).当压力传感器贴附到人体表面时,可以监测生理信号,如手腕运动、脉搏跳动和语音识别.此外,压力传感器的阵列能够识别空间压力分布,有望实际应用于人机交互界面. 相似文献
23.
为了比较喉癌组织及癌旁组织拉曼光谱的差别,得出其各自的特点和规律,建立了喉癌诊断模型;收集2014年10月—2015年8月在中南大学湘雅医院耳鼻咽喉头颈外科进行手术切除的54例喉癌样本和56例癌旁样本,样本统一处理后进行拉曼光谱检测,收集原始光谱数据进行预处理和统计学分析。结果表明:喉癌组织比癌旁组织的的平均拉曼光谱强度更大,且喉癌组织存在稳定的拉曼峰群;喉癌组与癌旁组的t检验结果显示,在波数为150~1859cm-1、1864~1872cm-1、1890~1898.5cm-1、1900~1924cm-1、1964~1968cm-1、1993~1998.5cm-1和2010.5~3476cm-1的波段内,两组样本有统计学差异(显著性水平p<0.05);利用主成分分析-线性判别分析(PCA-LDA)法选取差异波段进行分析,提取3个显著性差异主成分,将其作为LDA的输入,计算判别函数系数,并建立判别模型,判别模型对样本的预测具有较好的特异度和灵敏度,分别为80.4%和87.0%;利用受试者工作特征(ROC)曲线法对喉癌诊断模型进行评价,曲线下面积为0.877;喉癌组织和癌旁组织的拉曼光谱存在较明显且稳定的差异,利用多元统计分析的方法建立的判别模型具有较好的可靠性;拉曼光谱具有在分子水平上为喉癌提供无损、实时诊断与检测的潜能。 相似文献
24.
泥岩地基中灌注桩竖向承载性状试验研究 总被引:9,自引:5,他引:9
何剑 《岩石力学与工程学报》2002,21(10):1573-1577
泥岩地基中大直径、中长桩的荷载传送机理的研究比较缺乏,根据西宁地区某工程试桩的竖向抗压静载试验和高应变动力检测结果,通过对桩身轴力传递和土阻力发挥性状的分析,揭示了该地区泥岩地基中大直径、中长钻孔灌注桩的承载特性和荷载传递机理,以及影响其承载特性的因素,得出了一些对泥岩地基中钻孔灌注桩的设计、施工和深入研究具有指导意义的结论。 相似文献
25.
采用射频磁控溅射法分别在不同溅射功率下制备了Hf O2薄膜,基于该组薄膜实现了金属-绝缘体-金属(MIM)电容器原型器件。采用Raman、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱学(XPS)和电学测试仪等分析手段,研究了溅射功率对薄膜微结构和电学特性的影响。测试结果表明,随着溅射功率的增加,HfO_2薄膜由无定形态向单斜晶相转化、颗粒尺寸逐渐增大、Hf—O键结合度增强,由于提高溅射功率导致了薄膜晶化、团簇和Hf—O结合能减小,使MIM电容器击穿电压降低,漏电流呈现先降后增。结果表明溅射功率为150 W时,HfO_2薄膜获得较好的电学性能。 相似文献
26.
基于风险评估的电力系统连锁故障协调控制模型 总被引:1,自引:0,他引:1
分析连锁故障中预防控制和阻断控制的互补性,从降低大停电风险的角度,建立了基于风险评估的连锁故障协调控制模型。首先,综合考虑线路自身故障、潮流转移、隐性故障以及天气因素的影响,求取连锁故障风险。其次,将协调控制表述成一个基于风险指标的优化问题,并根据故障环节的风险重要度确定阻断控制的实施位置,建立连锁故障协调控制模型。最后,算例分析表明,连锁故障协调控制模型能够有效协调预防控制和阻断控制,并根据不同天气状况给出具有最大性价比的控制方案,该方案相比纯预防控制和纯阻断控制能够有效兼顾安全性和经济性的需求,为防御决策提供重要参考。 相似文献
27.
28.
随着国家经济的发展和居民居住条件的变化与发展,居民电能表集中抄表系统在人们用电需要增大的情况需要不断地发展与升级。文章通过简单介绍了居民电能表集中抄表系统的原理、特点和功能,详细地分析了现阶段玩偶哦居民电能表集中抄表系统中存在的主要问题,并且针对这些问题提出了切实可行的解决方案,提出了新的理论模式,以满足人们日益增长的用电的数量和质量的需求。 相似文献
29.
了研究西北五省区能源消费与经济发展的协调状况,利用2002-2008年的有关数据,运用面板数据模型、协调度计算等方法,对西北五省区能源消费与经济发展的协调状况进行了研究。面板数据模型、协调度测算的结果分别表明:这一时期,西北五省区经济发展、能源消费、能源效率三系统之间相互协调;但从协调度所处阶段来看,部分年份,宁夏、新疆、青海等省份处在濒临失调、基本协调的阶段,陕西、甘肃处在协调发展阶段。针对西北五省区这一时期的协调状况,提出了以企业为主导、政府监督的形式提高能源的使用效率,有选择性的引进东部转移产业,加强对清洁能源的开发与利用等建议,提升西北五省区能源消费与经济发展的协调性。 相似文献
30.