晶种法合成纯二氧化硅薄膜及其性质研究

晶种法在硅晶片表面生成超薄膜的的一项新兴技术。本实验中主要采取以下两个步骤:首先在浸过标准清洗的硅晶片表面吸附一层不连续的晶种,然后在培养溶液中使得二氧化硅晶体定向从而生成连续的薄膜。对于生产的产物使用XRD、SEM和FT-IR进行表征。     

紫外线吸收剂

核-壳结构的氧化硅包覆氧化锌紫外线吸收剂的制备 美国专利US2008，92，7792008．4．248pp     

纳米硅／氧化硅体系光致发光机制

实际研究的多孔硅几乎都是氧化程度不同的氧化多孔硅，它与另一大类硅基发光材料纳米硅镶嵌氧化硅有相似的结构和发光特徵．两者都是由大量为氧化硅所包裹的纳米硅组成，可统称为纳米硅／氧化硅体系．它是当前研究最多并被普遍认为很有希望的硅基发光材料体系．本文主要讨论纳米硅／氧化硅体系光致发光的机制，文中扼要介绍了我自己所在的研究小组近十几年来的一些相关研究工作．     

锆硅包膜金红石型钛白粉工艺优化及性能

采用溶胶–凝胶法制备了锆硅包膜金红石型钛白粉。通过正交实验研究了浆液浓度、分散剂用量和Zr O2、Si O2两种包膜剂含量对锆硅包膜金红石型钛白粉的影响,得到了制备锆硅包膜金红石型钛白粉的优化工艺条件。采用Nano-ZS型粒度仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜和能谱仪、Fourier红外光谱仪等测试手段,考察锆硅包膜金红石型钛白粉的效果和包膜机理。结果表明:金红石型钛白粉表面包覆了两层均匀而致密的Zr O2膜和Si O2膜。包膜后金红石型钛白粉的失光率、吸油量和遮盖力都有所下降,白度值增加。同时,证实了这两层膜是以化学键Zr-O-Ti和Si-O-Zr的形式结合在金红石型钛白粉颗粒表面。     

纳米SiO_2杂化涂层对铝合金耐腐蚀性能的影响

为了改善铝合金材料的耐腐蚀性能,本研究用正硅酸乙酯(TEOS)为主要原料,加入一定量的去离子水、KH-550和纳米SiO2,以冰乙酸为催化剂制备溶胶。通过浸渍-提拉法和相应的处理在铝合金基体表面形成杂化涂层,通过电化学测试和扫描电镜(SEM)观察,结果表明:添加纳米SiO2制备的涂层有效地提高了铝合金在3.5%NaCl溶液中的防腐性能,使铝合金基体的耐腐蚀性能和稳定性得到大幅度的提高。涂层中的纳米SiO2含量和热处理温度对涂覆铝合金的耐蚀性能有不同影响,当纳米SiO2含量为0.1%、热处理温度为130℃时,制备的杂化涂层性能最佳,在3.5%NaCl溶液中的腐蚀电流密度约为3.613×10-7A/cm2,这一数值相对于铝合金基体的腐蚀电流密度4.208×10-5A/cm2降低了2个数量级,显示出涂层对铝合金基体具有较好的防护效果。     

Process optimization of a deep trench isolation structure for high voltage SOI devices

In this work, the process reasons for weak point formation of the deep trench on SOI wafer have been analyzed in detail. The optimized trench process is also proposed. It is found that there are two main reasons: one is over-etching laterally of silicon on the surface of buried oxide caused by fringe effect; the other is slowly growth rate of isolation oxide in the concave silicon corner of trench bottom. In order to improve the isolation performance of deep trench, two feasible ways for optimizing trench process are proposed. The improved process thickens the isolation oxide and rounds sharp silicon corner at weak point, increasing the applied voltage by 15-20V at the same leakage current. The proposed new trench isolation process has been verified in foundry’s 0.5-μm HV SOI technology.     

低温开放体系配阴离子对合成硅基铝多孔材料的影响

以十六烷基三甲基溴化铵为模板,六水氯化铝和十八水硫酸铝在低温开放体系分别与正硅酸乙酯直接进行固/液反应,合成非晶结构的铝掺杂氧化硅微介孔材料。并用XRD、HRTEM、SEM/EDS、低温N2吸附、FTIR和原子吸收光谱TAS等技术对产物的结构和吸附性能进行表征。探讨了微介孔的形成机理。结果表明,在酸性和阳离子表面活性剂共存条件下,所制得的铝掺杂氧化硅微介孔材料呈不规则形状,其孔壁均为无定型;掺杂金属铝进入氧化硅晶格。铝源中配阴离子不仅影响材料的物相织构、材料的元素组成,而且还影响其吸附性能。     

太阳能级硅电沉积用冰晶石熔盐的电导率和黏度

以热解碳化硼管作电导池,用固定电导池常数法研究由Na F-Al F3-Si O2构成的二元系和三元系熔盐的电导率;用扭摆法测定Na3Al F6-Si O2二元系的黏度。研究发现,所研究熔盐体系的电导率和黏度均与温度呈直线关系。Na3Al F6-Si O2二元系的电导率与Si O2含量关系曲线可分为0-10%和10%-40%（摩尔分数）两段,当SiO 2含量超过10%之后,电导率随着Si O2含量的增加而快速下降,而当Si O2含量小于10%时,电导率随着Si O2含量的增加而缓慢增加。在Si O2含量大于10%的冰晶石熔盐中添加少量的SiO 2,熔盐的黏度增加,但增加的趋势基本相同,这与熔盐中形成玻璃网状结构的离子团有关。当在冰晶石熔盐中继续增大Si O2含量到50%时,黏度发生急剧变化。     

从化学工艺角度论如何提高硅酸钙板强度

本文从化学工艺角度介绍了生产硅酸钙板原材料的质量要求，以及静停预养、水热合成反应的化学过程及提高质量措施。