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Ⅰ线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光,在50kV加速电压下,其曝光剂量为50-100μC/cm^2,曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟。其灵敏度比PMMA快5倍,分辩率为0.5μm。采用两方法制备CaAsPHEMT:一种用Ⅰ线光致抗蚀剂,对源、漏及栅全部都采用电子束曝光,制备了0.5μm栅长的GaAs PHEMT;另一种将源、漏及栅分割成两部分,其中精细部分由电子束曝光,其余部分由光学系统曝光,用这种方法制备了0.25μm栅长的GaAs PHEMT。Ⅰ 相似文献
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山西省森林植被对径流泥沙影响的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
金林 《水资源与水工程学报》2002,13(3):53-56
森林对径流量的影响是森林水文学研究的重要课题。该文通过大量实测水文资料 ,定量分析了部分流域森林对径流、泥沙、降水量等的影响。同时 ,森林对径流的影响 ,因气候、下垫面条件、植被类型和雨强等不同而存在差异 相似文献
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N_2S_2或N_3S型配体的合成、~(99)Tc~m标记及生物分布研究 总被引:3,自引:2,他引:1
以MAG3为基本分子骨架,根据构效关系,分别引入合适的天然氨基酸,设计合成了4种N2S2或N3S型小分子多肽新配体,并通过了IR,^1H NMR,^13C NMR,MS谱学鉴定和元素分析表征。采用葡庚糖酸钙(GH)交换法对4个配体进行了^99Tc^m标记,研究了配合物在小鼠体内的生物分布特征。结果表明,^99Tc^m-MVGG肾摄取较高,滞留时间较长,血清除快,且肾与其它组织的活度比值高,具备成为肾功能显像剂的条件;^99Tc^m-MPGG肾初始摄取较高,R(肾/血)活度比值高,但肾清除较快,R(肾/肝)活度比值较低;^99Tc^m-MVTC和^99Tc^m-MPTC心肌初始摄取均较高,但在心肌和血中的清除速度较快。 相似文献
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在基于POSC标准的基础上,分析了POSC EPICENTER数据模型,对油田中普遍使用的LS716测井大块数据在磁盘和远程自动磁带库之间实现了一体化的数据管理,开发了数据加载,数据删除,头信息浏览线回施行能模块。该系统特点是,管理信息加载到POSC数据仓中,而真正的数据体以外部数据文件的形式存放,使得大块数据的加载和提取速度大大提高,同时,在数据仓库和远程带库之间实现了一体化的数据管理。 相似文献
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通过对滨南油区注水现状的调查,发现存在的主要问题是水井套管损坏严重和部分水井欠注。文章全面地介绍了套管损坏井治理和攻欠增注工艺技术在现状的应用。 相似文献
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日产NHR-90W型催化剂失活原因分析 总被引:1,自引:0,他引:1
对日产NHR -90W催化剂在抚顺石化分公司石油二厂 6万t/a石蜡加氢装置运行情况进行了研究 ,证明该催化剂活性较高 ,对原料的适应性也较强。同时 ,对造成催化剂短期内失活的原因进行了分析 ,认为原料中铁离子含量过高是造成催化剂失活的主要原因。对相关装置生产控制提出了建议 相似文献