Effect of wafer size on the film internal stress measurement by wafer curvature method

Wafer curvature method has been applied to determine the internal stress in the films using Stoney’s equation. During the film deposition, the wafer fixation on the sample holder will restrict the deformation of the rectangle-shaped wafer, which may result in the stress datum difference along length and width direction. In this paper, the effect of wafer size and the wafer fixation on the TiN film internal stress measured by wafer curvature method was discussed. The rectangle-shaped wafers with different length/width ratios (L/W=1:1, 2:1, 3:1 and 4:1) were fixed as a cantilever beam. After the TiN films deposition, the profiles of the film/wafer were measured using a stylus profilometer and then the internal stress was calculated using the Stoney equation in the film. The results showed that the fixed end of the wafers limited to some degree the curvature of the wafers along the width direction. For film internal stress measured by wafer curvature method, the wafer profile should be scanned along the length direction and the scan distance should be greater than or equal to half of wafer length. When the length/width ratio of the wafer reached 3:1, the wafer curvature and the calculated stress were basically the same at different positions along the length direction. For film internal stress measured by wafer curvature method, it was recommended that the length/width ratio of wafer should be considered to be greater than or equal to 3:1, and the deformed profile was scanned along the length direction.     

我国智慧城市发展现状与问题研究

目前我国智慧城市正处于试点推广阶段,还存在发展导向不明确、建设标准不统一等诸多理论和实践问题.为了更好地服务智慧城市的发展,基于城市结构和功能的再造理念,从城市规划、建设与管理的全过程进行阐释智慧城市的内容,分析智慧城市发展现状,针对智慧城市建设中存在的顶层设计缺位、城市管理效能低下等问题,提出加强一体化顶层设计、优化智慧城市发展环境等建议,从而为我国智慧城市的可持续发展提供参考.     

The Dynamical FSI Simulation for Bellows Inflating to Disperse Bomblets

According to the characteristics of fluid-structure interaction(FSI) in the process of metal bellows inflating to disperse bomblets,a 3D dynamical FSI model(W model) which describes the interaction between a viscous compressible flow and a structure undergoing large deformationis established.Then the dynamic characteristics of the metal bellows deformation, the changing law of the internal flow field and the motion law of the bombs are acquired.Where the internal pressure and bombs'' moving law are approximate to interior ballistic results, which indicates the W model established reasonably.Besides, considering gaps existing atthe bellows'' tow ends, the dynamical FSI modelcontaining gaps(Y model) is also built.The results of the W and Y models are compared and the results show that the existence of the gaps has little influence to the flow field and the stress distributionin the bellows,but obviously reduces the separation speed of the bomblets about 10%.     

群策式智能多联机末端在大学教学楼的设计应用与分析

建筑能耗占全国能耗比重较大,中央空调在公共建筑中使用广泛,滥用无管理使得公共建筑夏季空调能耗很高。本文针对大学中多联机中央空调系统以末端智能调控系统控制策略方向为目的进行基于群策控制智能末端控制改造,达到节能的目的。通过单片机对空调控制面板进行电信号控制,数据判断及传输通过总服务器进行计算。控制方式采用自动控制与群策相结合,由微信公众号进行查询及发送命令,通过网络传输和数据库相连。数据库录入空调系统使用教室信息、工作及学习时段表等相关数据。从调研、设计、模拟来看,节能效果显著,最理想节能量可达84%,在调研过程中大部分学生对此可接受。     

新建工程类本科院校服务地方经济发展的对策

新建工程类本科院校在服务地方经济与社会发展方面有重要作用。剖析了新建工程类本科院校在服务地方经济发展过程中发展定位、课程设置、实践锻炼、经济效益、人才队伍等方面存在的问题,并从找准发展定位、科学设置课程、政产学研联合、合理配置师资等方面提出了有针对性的对策。     

三榀高性能钢－混凝土组合楼板激励响应互相关分析

基于研发的空气调频激励装置,以三榀高性能钢－混凝土组合楼板模型激励响应动力特性试验测试为基础,通过构建榀－榀互相关函数分析模式,进行了该类型组合楼板结构的加速度激励响应和位移激励响应榀－榀互相关分析。研究表明,组合楼板榀与榀之间的加速度响应与位移响应激励过程由瞬态、稳态和衰减三个阶段组成。在瞬态阶段、稳态阶段和衰减阶段的阶段性互相关系数大小不一,互相关分布规律不同。瞬态阶段互相关性表现出稳定的抛物线分布规律;稳态阶段互相关分布规律呈现平滑的抛物线分布状态;衰减阶段互相关性均表现出榔头型分布规律。     

基于多层注意力机制—柔性AC算法的机器人路径规划

针对行动者—评论家（AC）算法存在的经验学习样本维度高、策略梯度模型鲁棒性低等问题,依据多代理系统的信息协作优势,构建注意力机制网络并作为代理体,引入多层并行注意力机制网络模型对AC算法进行改进,提出一种基于多层并行注意力机制的柔性AC算法。将其用于解决动态未知环境下的机器人路径规划问题,可增强行动者的策略梯度鲁棒性并降低评论家的回归误差,实现机器人路径规划最优方案的快速收敛。实验结果表明,该算法有效克服机器人路径规划的局部最优,具有计算速度快、稳定收敛的优点。     

基于信号相位搜索的WSN节点定位算法

节点定位是无线传感器网络（wireless sensor network,WSN）研究的热点问题之一,基于信号相位信息与物理距离间的关系提出了基于信号相位搜索的WSN节点定位算法。该算法首先根据节点间信号相位信息,基于余弦相似性算法原理构建目标函数,将WSN节点定位问题转换为目标函数最优解搜索问题;然后基于质心定位算法原理确定搜索初始像素单元;最后利用梯度下降法替代逐像素单元的遍历搜索,在不影响定位精度情况下进一步提高定位效率,减小定位功耗。仿真实验结果表明,该算法的各项指标良好,适用于WSN的节点定位。     

一种基于卷积神经网络的疲劳驾驶检测方法

疲劳驾驶检测具有重要的警示作用,对检测方法的准确性和实时性均有较高要求。为此,提出了一种基于卷积神经网络的疲劳驾驶检测方法。首先,针对车内特定使用环境,对MTCNN算法进行了加速优化,在保证高准确率的同时检测速度提升高达27倍。其次,在实现人脸特征点精确定位基础上,提出了一种基于稀少特征点快速准确提取目标区域图像的ERFP（extracting images based on rare feature points）方法。再次,利用构建的眼、嘴数据集EMSD（eye and mouth state date sets）完成了眼、嘴部状态分类模型的训练。最终,利用训练得到的模型,结合相应的判定算法,实现了疲劳驾驶的检测判定。实验结果表明,该方法在实车环境下对瞌睡和哈欠行为的判定准确率均达到了96%以上,且每秒可完成约50帧图像的检测,具备良好的实时性。     

生物质炭对气态挥发性有机污染物的吸附性能及机理

为探究生物质炭对气态有机污染物的吸附能力及作用机理,以核桃壳和椰子壳为原料制备生物质炭.采用元素分析仪、傅里叶红外光谱仪、Boehm滴定和比表面积及孔隙率分析仪分析生物质炭理化特征,并利用吸附柱实验考察生物质炭对气态挥发性有机污染物(苯和甲苯)的吸附行为.结果表明:相同制备条件下,椰壳生物质炭吸附性能高于核桃壳生物质炭.在实验温度范围内(400~700℃),随着制备温度的升高,生物质炭吸附性能增大.低温下制备的生物质炭(400℃)吸附行为符合准二级动力学模型,高温下制备的生物质炭(700℃)的吸附过程符合准一级动力学模型.在吸附温度30℃时,生物质炭对苯和甲苯的等温吸附过程符合Toth模型,计算得到生物质炭最大的理论饱和吸附量为18.98 mg/g苯和61.73 mg/g甲苯.生物质炭的表面酸性官能团和孔道结构在吸附过程中起关键作用,影响吸附质在生物质炭的表面吸附和粒内扩散吸附过程.