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研究了一种基于BCB材料的牺牲层接触平坦化技术,用于红外焦平面阵列Post CMOS工艺之前对读出电路表面的平坦化,以利于微测辐射热计微桥阵列与读出电路的集成。利用该方法成功将2μm的电路表面突起,平坦化为表面起伏56 nm的平面,可替代会给器件带来颗粒和损伤的化学机械抛光(CMP)技术。并在该平坦层上方成功进行了非晶硅敏感薄膜的沉积、微桥结构的图形化以及同时作为牺牲层的BCB的释放。通过实验研究了BCB膜层的厚度与转速、固化温度的关系,实验发现BCB的收缩率随温度小范围变化,约为30%。研究了BCB的等离子刻蚀特性,表明该材料适合用等离子刻蚀的方法进行接触孔的刻蚀和牺牲层释放。最后,利用BCB牺牲层接触平坦化技术成功地在读出电路(ROIC)芯片上制作了160×120面阵的非制冷红外焦平面阵列。 相似文献
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为探究不同提取方法对烟草纤维素微观结构的影响,采用中性洗涤剂法、酸性洗涤剂法、酸性水解法、碱液分离法分别对烤烟和香料烟烟叶样品中的纤维素进行提取;利用交叉极化结合魔角旋转13C核磁共振(CP/MAS13C NMR)技术对不同方法获得的烟草纤维素进行微观结构表征;对比分析4种方法的得率及提取所得烟草纤维素的纯度,并通过对NMR光谱吸收峰拟合,得到烟草纤维素晶型及分布、结晶度和原纤尺寸等结构信息。结果表明:①中性洗涤剂法提取所得烟草纤维素纯度高于其他3种方法。②4种提取方法所获烟草纤维素晶型相同,均以纤维素Iβ晶型为主,但晶型分布存在明显差异。③4种提取方法中,中性洗涤剂法所获烟草纤维素结晶度最大,且基原纤尺寸和基原纤聚集束尺寸最大。对比其他3种方法,中性洗涤剂法对烟草纤维素微观结构影响最小。因此,中性洗涤剂法适合作为烟草纤维素微观结构研究中纤维素的提取方法。 相似文献
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本文研究了以可编程序控制器为核心的真空浸渍设备自动控制系统,较为详细地分析了电力电容器真空浸渍工艺过程的综合特性,设计成功了一种与可编程序控制器配套使用的输入、输出数字信号接口电路及信号切换电路,并完成了具有特色的模块化软件设计工作。试验表明,本系统工作可靠,性能良好,操作方便,与传统的控制方法相比,具有很大的优越性。 相似文献
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