基于IEP的高密度等离子体刻蚀过程终点检测技术

高密度等离子体刻蚀是当今超大规模集成电路制造过程中的关键步骤.随着集成电路中器件尺寸的缩小及器件集成密度的提高,对刻蚀过程终点的准确判断是目前所面临的一个严峻考验,传统的OES终点检测技术已经远远不能满足深亚微米刻蚀工艺需求.讨论IEP终点检测技术的原理,针对多晶硅栅的等离子体刻蚀工艺,讨论了IEP终点检测技术在深亚微米刻蚀工艺中的应用,IEP预报式终点检测技术已经运用在新近研发的HDP刻蚀机的试验工艺上,最后对IEP终点检测技术未来的发展趋势进行了展望.     

Mn_3O_4对LiZn铁氧体磁性能、微结构和电阻率的影响

按组成Li0.35Zn0.30Fe2.29MnxO4-δ+0.005mol%Bi2O3和Li0.35Zn0.30Fe2.29O4-δ+0.005mol%Bi2O3+x/3mol%Mn3O4(x=0.02～0.08)在920和950℃制备缺铁LiZn铁氧体,分别在原料和预烧料中添加Mn3O4.结果表明:920℃烧结时,在原料中添加适量Mn3O4可提高样品饱和磁化强度Ms和剩磁Br,降低矫顽力Hc,而在预烧料中添加Mn3O4对Ms和Br影响不大,不完全固相反应导致两种样品Hc很高,但在原料中添加Mn3O4的样品Hc相对较低.950℃烧结时,两组样品Hc均大幅下降,但在原料中添加Mn3O4的样品Hc反而相对较高.两种方式添加Mn3O4均可提高电阻率ρ,x=0.06时ρ出现峰值,且在原料中添加Mn3O4的样品ρ较高.     

高频开关电源变压器的设计方法

介绍了国内外高频开关电源变压器的研究现状及主要的设计方法.     

添加CaO、V2O5对高频MnZn铁氧体性能的影响

制备了高频MnZn功率铁氧体,研究了添加CaO和V2O5对高频MnZn铁氧体性能的影响.结果表明:对于工作频率高于500 kHz的MnZn功率铁氧体,增加CaO的添加量,可提高晶界电阻率,最大程度地降低涡流损耗;适当添加V2O5会形成液相烧结并使晶粒细化,增加晶界,减少晶粒和晶界内的气孔率,提高晶界电阻率,降低材料的损耗.添加0.3?O和0.1%V2O5(质量分数,下同),可以制备出致密、气孔率低和晶粒均匀(粒径3～5 μm)的高频功率铁氧体材料,其起始磁导率约为1500,磁芯损耗约为130 mW/cm3(500 kHz,50 mT,25℃).     

基于OES的等离子体刻蚀过程

光学发射光谱(OES)诊断技术是高密度等离子体刻蚀工艺过程的关键技术,OES信号作为一种实时信号可以用来预测刻蚀过程的进展程度和判断刻蚀性能的好坏.在自行研发的等离子体刻蚀机平台上,采用美国海洋公司的OES传感器系统,采集多晶硅刻蚀工艺中所产生的OES信号,利用主元素分析法(PCA)对OES数据进行压缩处理,提高了实时信号的快速处理能力.对实验数据的分析表明:波长为405 mn的OES谱线可以明确显示出等离子体刻蚀进程,是一条表征等离子体刻蚀过程的状态检测及终点检测控制的特征谱线.在此基础之上,提出了基于PCA法的终点检测算法,用以判断刻蚀终点.     

锰取代LiZn铁氧体的磁性能和介电性能研究

采用传统氧化物陶瓷工艺氧气烧结制备Mn取代的缺铁配方LiZn铁氧体,研究了Mn取代量对LiZn铁氧体磁性能和介电性能的影响。结果表明,随着Mn取代量的增加,饱和磁化强度Ms和剩余磁感应强度Br均呈先增大再减小的趋势,而矫顽力Hc先下降再升高;随着Mn取代量的增加,电阻率ρ逐渐下降,介电常数ε′变化不大,介电损耗角正切tanδε′总体呈增大趋势。     

磁标记自旋阀巨磁阻生物传感器的研究现状

磁标记自旋阀巨磁阻(GMR)生物传感器以其灵敏度高、生物特异性好、适于自动化分析及可实时检测等特点,在科学研究和免疫诊断应用等方面有广泛应用。介绍了磁标记自旋阀GMR生物传感器的工作原理、研究进展和应用前景,并指出了该传感器目前存在的问题和改进方法。     

ZrO2添加对MnZn铁氧体磁性能温度特性的影响

采用固相反应法制备了分子式为Mn_(0.711)Zn_(0.206)Fe_(2.083)O_4的MnZn软磁铁氧体,研究了ZrO_2添加对材料显微结构及磁性能温度特性的影响。结果表明,随着ZrO_2添加量的增加,MnZn铁氧体电阻率单调增大,密度、起始磁导率和饱和磁感应强度先增大后减小,剩余磁感应强度、矫顽力和总损耗(100 kHz,200 mT,25℃)先减小后增大。当ZrO_2添加量为0.01 wt%时,密度达到最大,起始磁导率和饱和磁感应强度在25～120℃宽温度范围均达到最大值,总损耗在25～120℃宽温度范围均有最低值。     

CaCO3-SiO2掺杂对Sr0.44Ca0.08La0.48Fe11.3Co0.3O19-δ铁氧体微结构及磁特性的影响

采用传统氧化物陶瓷法制备Sr0.44Ca0.08La0.48Fe11.3Co0.3O19-δ铁氧体永磁材料,系统探究了CaCO3-SiO2组合添加对材料微结构及磁特性的影响.结果表明,适宜CaCO3-SiO2组合掺杂可促进烧结致密化,同时抑制晶粒长大,提高材料的剩磁Br和矫顽力Hc.在CaCO3掺杂量为0.5～0.9 wt％、SiO2掺杂量为0.25～0.40 wt％范围内,当CaCO3和SiO2掺杂量分别为0.6 wt％和0.3 wt％时,烧结样品晶粒分布均匀且致密,具有较优磁特性,剩磁、矫顽力、磁能积达到最大,分别为:Br=4120 G,Hcj=4031 Oe,Hcb=3677 Oe,(BH)max=4.19 MGOe.     

一种分析磁光波导的近似方法

提出了应用频谱指数法对磁光薄膜波导中非互易相移进行近似计算的模型.频谱指数法可以快速而准确地求解在磁光薄膜波导中传播的电磁波方程,得到本征模的传播常数及电磁场的截面分布状态.这种方法通过运用傅立叶变换对肋形光波导产生一频谱指数,进而将求解的问题简化为求解一维方程,因而很容易对方程进行求解.与精确的数值分析法(如有限元法,有限差分法等)相比,计算的复杂度大为降低,在保证计算精确度的前提下,计算速度显著提高.