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激光熔融键合在新型室温红外探测器的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
运用Nd:YAG激光在功率300W、光束运动速度为0.05m/s、光束直径为700μm的条件下能得到键合强度平均为9.3MPa的硅/玻璃熔融键合效果。该键合方法能进行选择区域键合,完全避免了由于键合过程中电场给超薄敏感可动微结构带来的畸变甚至失效,为新型室温红外探测器的研制奠定了良好的工艺基础。 相似文献
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杨道虹 《电子工业专用设备》2008,37(8)
集成电路被称为"电子工业之母",全球各个国家都高度重视集成电路产业的发展,并在产业的发展中探索各自的技术创新模式.从技术创新模式的内涵出发,总结了美国、日本、韩国、中国台湾等发达国家和地区集成电路产业的3种典型技术创新模式,并结合模式的比较,试图探索对我国集成电路产业技术创新模式选择的启示. 相似文献
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金硅共晶键合在微机械Golay-cell红外探测器中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
利用硅微机械加工技术制备微机械Golay-cell红外探测器硅可动敏感薄膜,探测器气室由带薄膜结构硅片与带孔结构硅片键合密闭形成,气室中敏感气体吸收红外辐射而膨胀,使硅膜产生形变,借助硅膜电极板与金属电极板形成的平行板电容反映该形变变化量.运用Si/Ti/Au/Au/Ti/Si实现对探测器的金/硅共晶键合封装,形成气室,制备出探测器样品并初步得到响应.该键合方法能够进行选择区域键合,实验证明键合强度达到体硅强度. 相似文献
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