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工业技术 | 200篇 |
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一、前言计量圆光栅是一种角度基准元件,多数都是在对径读取莫尔信号的情况下使用。对径读数的优点很多,它的良好的消差效果前人早有探讨。以Graham为典型代表,普遍的看法是:对径读数可以完全消除圆光栅分度误差中的奇次误差谐量的影响。因此,也消除了偏心误差。事实上,这一结论是在忽略了圆光栅不均匀性的影响后得到的,同实际情况并不相符。二、精度特性的分析本文将在不存在其它误差的理想情况下着重讨论偏心等奇次误差谐量对精度的影响。圆光栅不存在误差时,读数头输出的标准莫尔信号的一般表达式为: 相似文献
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光栅平动式光调制器机械特性分析与仿真 总被引:4,自引:2,他引:2
光栅平动式光调制器是基于MOEMS技术的新型光调制器,利用静电力驱动可动光栅对入射光进行调制,因其具有高速开关特性与面阵化等特点使其在显示与打印方面有广阔的应用前景.但是其结构相对复杂,本文通过建立光栅平动式光调制器的机电模型,并依据力学理论及虚功原理对器件的机械特性进行了相应的分析,得出器件的载荷挠度特性.并利用CoventorWare软件进行相应的有限元仿真分析.仿真表明,在工作距离范围内,理论数据与仿真数据具有很好的拟合度,其平均误差在5%左右. 相似文献
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