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本文对后栅工艺高k/金属栅结构NMOSFET偏压温度不稳定性特性进行了研究。在加速应力电压和高温条件下,NMOSFET的阈值电压的退化与时间呈幂指数关系。然而幂指数随应力电压的增大而减小;在本文中,应力从0.6V到12V,幂指数则相应的由0.26减小到0.16。通过对应力前后器件的亚阈值特性分析,在应力过程中没有界面态产生。根据实验数据提取到数值为0.1eV的热激活能,表明偏压温度不稳定性是由栅介质中预先存在的陷阱俘获从衬底隧穿的电子造成的。恢复阶段的测试显示阈值电压的退化与对数时间呈线性关系,同时可以用确定的数学表达式来表明其与应力电压和温度之间的关系。 相似文献
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许淼 殷华湘 朱慧珑 马小龙 徐唯佳 张永奎 赵治国 罗军 杨红 李春龙 孟令款 洪培真 项金娟 高建峰 徐强 熊文娟 王大海 李俊峰 赵超 陈大鹏 杨士宁 叶甜春 《半导体学报》2015,36(4):044007-4
文章研究了亚 20nm 节点后栅工艺体硅 FinFET PMOS 器件制作过程中一系列工艺参数对器件微缩的影响。实验结果表明细且陡的梯形Fin结构有更好的性能。文章针对穿通阻挡层(PTSL) 和轻掺杂源漏扩散区 (SDE)的注入条件也进行了仔细地优化。SDE之后没有热退火过程的器件由于在源漏退火之后有更好的晶格再生因而拥有更大的驱动电流。带边功函数器件能够改善短沟道效应,而带中功函数具有更大的驱动电流。器件在微缩过程中针对金属栅的有效功函数需要折衷选择。 相似文献
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转炉煤气回收工艺方法比较 总被引:1,自引:0,他引:1
就转炉煤气净化回收的两种工艺方法-OG法与LF法的工艺特点及优缺点进行探讨,指出适合攀钢转炉煤气回收的工艺方法。 相似文献
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矿山开采必然影响局部环境。从矿山的建设之初起,包括资源的综合利用,矿山的生产设计,粉尘的控制以及环境景观治理等方面介绍了矿山开采中应采取的控制措施。提出建设绿色矿山还需要各方面共同努力,保护环境,和谐共赢。 相似文献
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本文研究m+r-1≥n的完全系统.n、1、m分别是系统的状态、输入、输出变量个
数.以前对任置极点只证明了ε-近似解的存在性,本文则证明了精确解的存在性,并进而给
出了几乎全部精确解集的全部自由参数.本文指出,利用文[1]的指标,可对这些参数进行两
级递阶优选,从而使所配置的闭路特征结构对系统参数中可能出现的各种扰动不敏感,全方位
调节特性较优且保持相对稳定. 相似文献