激光干涉接触式轴承表面轮廓综合测量

介绍了一种可用于测量滚动轴承曲面形貌的表面轮廓综合测量仪，在测量中应使杠杆处于平衡位置，以减小测量力；用衍射光栅干涉位移传感器作为位移测量系统代替传统的电感位移传感器；z向工作台采用粗、细两级驱动定位，利用步进电机驱动斜面导轨进行粗级定位以扩大量程，压电陶瓷做微位移驱动实现精密定位以提高测量精度。论述了该仪器的整体结构、测量原理、工作台的定位控制以及衍射光栅干涉信号的处理。     

基于三维精密位移工作台的显微图像拼接测量系统

设计了一种大面积无缝无特征显微图像拼接测量系统,该系统基于光学显微系统和大行程纳米级计量型三维精密位移工作台,建立了以测量系统自身的计量系统来标定CCD摄像机和计算CCD与水平工作台夹角的数学模型,解决了一般图像测量系统需借助外部设备进行标定和夹角测量的问题。构建了非正交水平工作台移动策略,用于光学显微图像大面积无缝无特征拼接,减小了拼接量,扩大了横向测量范围,解决了测量视场与横向测量分辨率受限于物镜数值孔径的问题。     

白光干涉表面结构测量仪的优化设计与应用

为测量微机电系统的表面结构,研制了一种基于白光干涉法的表面结构测量仪。设计了显微干涉仪,通过实验分析了显微干涉仪关键设计参数中的光源带宽、物镜数值孔径、孔径光阑大小对垂直扫描白光显微干涉测量中干涉条纹光强分布的影响;设计了Z向一维位移工作台,提出了一种以显微干涉图像灰度值归一化标准方差为依据的白光干涉测量条纹自动搜索定位方法。相关实验结果为白光干涉表面结构测量仪的优化设计提供了参考依据。     

基于激光干涉的接触式微位移测量仪

介绍的基于激光干涉的微位移测量仪具有分辨率高、结构简单、成本低的特点。该微位移测量仪由基于迈克尔逊激光干涉原理的微位移测量装置、工作台、光电阵列、信号处理电路、计算机及数据处理软件等组成。该测量仪位移测量理论分辨力可以达到0.01nm,特别适合范围在微米及微米以下的位移测量,可用于MEMS器件的位移检测,压电器件位移检测等。     

一种新型弹头痕迹测量仪

介绍了一种新型的接触与非接触弹头痕迹测量系统，该系统可以获取弹头痕迹的二维平面图像和准确的弹头轮廓高度信息。它由直线相位光栅干涉式大量程位移传感器进行弹头截面轮廓和三维形貌的接触测量，并采用显微镜和CCD摄像装置进行弹头痕迹的非接触图像测量。接触式测量理论测量分辨率可达到0．12nm，测量量程大于2mm，圆周分辨率为2．16，非接触测量横向分辨率5μm。     

基于LabWindows CVI的进口圆度仪改造

介绍了一种基于虚拟仪器开发平台LabWindows CVI的圆度仪改造方案。以Talyrond200型圆度仪为例，详述了圆度仪改造的原理、实现方法及其优点。本改造方案在保持原有系统的总体精度的前提下，在系统的软件功能上实现了升级，以极低的成本实现了系统的升级换代。     

自行火炮液压系统泄漏机理及影响因素研究

对液压系统油液泄漏进行了分析,综合考虑系统的工作压力、温度和混入空气量影响,建立了多因素影响条件下自行火炮油液泄漏量的数学模型,通过分析得出泄漏量随着压力呈峰值变化规律.     

非接触表面轮廓测量仪的研制

本文研究了一种始终使得光学测头处于焦点位置,以正交衍射光栅干涉位移传感器为位移测量系统,以压电陶瓷作为驱动部件的非接触表面轮廓测量仪,用于实现对零件表面粗糙度,波度,表面形状误差和尺寸的综合测量。论文着重介绍了该仪器的整体结构,测量原理及衍射光栅干涉计量系统的工作原理。     

基于垂直位移扫描工作的表面轮廓综合测量仪

介绍了一种以保持杠杆处于平衡位置为测量前提,以衍射光栅干涉位移传感器为位移测量系统的表面轮廓综合测量仪.重点论述了该仪器的整体结构,测量原理,以及衍射光栅干涉位移测量系统的工作原理.     

光针轮廓仪伺服机构设计与聚焦误差信号的改进

应用线切割方法设计了光针轮廓仪伺服机构一音圈电机的结构，使其具有更好的静动态特性和焦点自动跟踪能力。通过改善传统的聚焦误差信号曲线，并利用数字伺服控制方法，在提高系统测量精度的同时，克服了传统对于陡坑或阶梯测量容易脱焦的问题。