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191.
192.
各向异性腐蚀制备纳米硅尖 总被引:2,自引:0,他引:2
采用KOH溶液各向异性腐蚀单晶硅的方法制备高纵横比的纳米硅尖,研究了腐蚀溶液的浓度、添加剂异丙醇(IPA)对硅尖形状的影响。设计了硅尖制作的工艺流程,制备了形状不同、纵横比值为0.52~2.1的硅尖,并结合晶面相交模型,提出了硅尖晶面的判别方法,讨论了实验中出现的{411}和{331}晶面族两种硅尖晶面类型,实验结果和理论分析相一致。通过分析腐蚀溶液的质量分数和添加剂对{411}、{331}晶面族腐蚀速度的影响,得到了制备高纵横比纳米硅尖的工艺参数。实验结果表明:当正方形掩模边缘沿<110>晶向时,在78℃、质量分数40的KOH溶液中腐蚀硅尖,再经980℃干氧氧化3h进行锐化削尖,可制备出纵横比大于2、曲率半径达纳米量级的硅尖阵列。 相似文献
193.
194.
195.
MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究 总被引:9,自引:4,他引:9
简要叙述了微电子机械系统(MEMS)研究中的多单元综合体--微型系统,包括它的种类、结构、工作原理及相关的特性。对其应用前景作了讨论,并提出了一些超前的设想 相似文献
196.
王立鼎 《精密制造与自动化》1984,(1)
本文以国产Y7125和Y7431型磨齿机为例,探讨了分度盘分度类型的磨齿机采用分度盘误差的“正弦消减法”、光电反馈、密珠主轴与心轴以及“易位法磨齿”等方法,作为提高被磨齿轮周节精度的有效途径。将为充分发挥国产磨齿机和进口同类型机床的效能,以及改装精化这些机床,采用特殊工艺手段,磨制高于原机床精度指标的高精度齿轮和齿轮刀具提供了理论依据和具体方法。 相似文献