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101.
研究基于体视显微镜的微操作系统中微观对象的三维立体形状重构问题.体视显微镜的两子光路具有对称性和微小的差异性,差异性是影响微观对象重构准确性的重要因素.文中使用不同的参数序列描述两子光路的对称性和差异性,建立从二维图像空间向三维物空间映射的视觉模型,使用弱视差描述微观立体图像的相关性.通过实验分析视觉模型在三维物空间X,Y,Z三个方向上的重构精度,平均值分别为0.74%,1.98%和6.66%,重构了平面样品和曲面样品的三维立体形状. 相似文献
102.
103.
104.
微电铸技术用来生产金属微器件,已经成为一种重要的和有效的加工方法.为了获得理想的电铸产品结构,电铸液中电场的分布起到了重要的作用.电铸液中电场的均匀性分布可以提高微电铸的铸层质量和尺寸精度,并能提高电铸微观结构的力学性能.本文基于三电极体系提出了一种新的电场测量方法,并通过改变阳极的形状和位置来提高阴极附近电位分布的均匀性.实验结果表明,采用半圆弧形板作为阳极时,电铸液空间电场分布均匀性和阴极附近电场分布均匀性有明显的提高.因此,在实际应用中半圆弧形阳极可以改善电铸微器件的微观结构,提高铸层表面均匀性. 相似文献
105.
采用多场耦合模型对超声波塑料焊接过程中的摩擦热和粘弹热进行了数值计算,并分析了超声振幅对焊接区温度场的影响. 基于计算结果,提出了超声波焊接过程存在临界振幅,当超声振幅低于该临界振幅时,不管焊接时间多长,都不能形成熔融焊接区. 制备了相应的试件并搭建测温系统对焊接过程进行测温试验,试验结果与数值计算结果具有较高一致性,进一步对临界振幅附近的临界温度场进行了分析和探讨. 研究临界温度场,有助于解决超声波塑料焊接过程中温度场难以控制的难题,同时为超声波塑料器件非熔融连接方法奠定基础. 相似文献
106.
107.
108.
电热驱动镍微夹钳的设计及制作 总被引:4,自引:0,他引:4
为实现微系统产业化开发适用于微型零件操作和装配的微夹钳,采用电热驱动方式、V形梁阵列式电热驱动器为钳体部分提供输入位移,钳体部分应用拓扑优化方法进行设计以实现输入位移放大.金属镍作为制作微夹钳的材料,用紫外光刻微电铸脱模技术工艺制作了电热镍微夹钳.通过正交试验,得到加工SU-8铸模的最优工艺参数,对影响工艺质量的各个因素进行详细讨论并给出解决方法,并加工出了钳体尺寸在毫米量级,最小特征尺寸为10 μm,厚度为30 μm的电热微夹钳.对制作的微夹钳在0~2.5 V直流电压下进行动态测试,夹持端位移最大可达67μm,最大夹持力可达0.8 N,可以满足微机电系统微操作的夹持要求. 相似文献
109.
110.
从理论上分析了小型精密x-Y工作台的各种误差。针对这些误关,给出一些确实可行的措施来减小机械系统的误差;用软件对系统的几种误差进行了补偿。在此基础上,讨论了工作台开环系统及闭环系统的精度。提出了测量导轨直线性误差的新方案,使测量方法的原理误差降低到完全可以忽略不计的程度。 相似文献