基于∑-△调制技术的微加速度计系统研究

论述了∑-△调制器的基本原理,将∑-△调制技术应用于微加速度计系统,设计了一种新型的微加速度计,建立了系统模型.并对系统的频率特性进行了分析,表明基于该技术的微加速度计系统在工作频段内噪声能够得到有效的消除,且具有近似的线性相位.     

基亏∑-△调制技术的微加速度计系统研究

论述了∑-△调制器的基本原理，将∑-△调制技术应用于微加速度计系统，设计了一种新型的微加速度计，建立了系统模型。并对系统的频率特性进行了分析，表明基于该技术的微加速度计系统在工作频段内噪声能够得到有效的消除，且具有近似的线性相位。     

基于Σ-Δ型模数转换器的动态数据采集系统设计

随着电子技术的不断发展,Σ-Δ型模数转换器逐渐成为动态数据采集的主流产品。文章介绍了一种以Σ-Δ型模数转换器为基础的动态数据采集系统硬件电路,对信号放大、模数转换、显示译码的过程进行了详细说明,并且对整个系统的技术指标进行了分析。     

Delta-Sigma调制器在电机电流高精度测量系统中的应用研究

Delta-SigmaAD转换技术是高分辨率应用中的一项通用技术之一,其广泛用于高信号完整度和电流隔离的交流电机电流测量系统中。提出了一种应用于交流电机电流测量系统中的Σ-ΔAD转换设计,并且对ADC解调和滤波,采用了Sinc^3数字抽取滤波器对其以滤波和抽取方式进行解调,其中Sinc^3数字抽取滤波器采用现场可编程门阵列(FPGA)来设计,实现了Σ-Δ调制器输出信号的高频滤波,实现了电机电流高精度隔离采样,满足了交流电机电流测量对采样精度和响应速度的要求。     

姿态参照系统中硅微机械加速度计的温度补偿

微机械加速度计的输出受到环境温度的影响.文中以姿态参照系统为例,通过温度实验,得到了姿态参照系统中的微机械加速度计在不同温度下的输出,通过数据拟合建立了静态温度模型,对加速度计的零偏和标度因子进行了补偿.在姿态参照系统中对该温度补偿模型进行试验,结果表明得到的模型可以有效地补偿系统中的微机械加速度计的温度误差.使加速度计随温度变化的稳态输出变化的数量级由10-3减小到10-4.该温度补偿方法也适用于其他MEMS惯性测量系统中的微机械加速度计的温度补偿.     

基于△-∑智能温度传感芯片的设计

本文研究设计高精度的Δ-Σ智能温度传感芯片,从温度传感元件选型,到二阶调制器的设计,利用Matlab simulink建立了二阶Δ-Σ调制器系统模型,对调制器电路进行仿真和参数优化。改进使用轨对轨折叠式共源共栅运算放大器作为调制器的积分器,增大了调制器的动态输入范围。设计实现了一款适用于14bit温度转换芯片的二阶△-Σ调制器,温度传感芯片在-50℃～150℃的温度范围内具有较好的线性度,温度分辨率达到0.1℃。     

粘胶材料参数对微加速度计零位温度漂移的影响研究

粘胶材料常用于实现微加速度计芯片与基底的粘接。为了研究粘胶材料参数对微加速度计零位温度稳定性的影响,首先根据微加速度计理论输出模型,分析了影响零位温度漂移的关键变形。其次,基于典型的芯片-粘胶-基底热变形解析模型,研究了粘胶的弹性模量、热膨胀系数和厚度对该变形的影响,并且理论计算了在常用材料参数范围内,微加速度计的零位温度漂移量。研究表明,弹性模量对零位温漂影响最大,采用软胶(弹性模量小)粘贴能够有效地提高微加速度计的温度稳定性。最后,利用2种粘胶分别粘贴微加速度计,通过比较这2类微加速度计的温漂测试结果,实验验证了结论的正确性。     

较硬齿面圆弧齿轮轴的加工

我厂为国外加工了一批圆弧齿轮轴,该产品的基本尺寸见图1,其技术参数如下:热处理调质硬度HB285～315,材料 40 CrNi2MOA,齿型 67型凸齿(JB 929～67),法向模数 mn=8,齿数Z=20,压力角α=30°,螺旋方向人字β=27°10′12.2″,精度等级8-8-7。运动精度:周节累积误差ΔPΣ,公差δPΣ=0.11mm;齿圈径向跳动Δe,公差δej=0.08mm;公法线长度变动误差ΔWg,,公差δmg=0.055mm。工作平稳性精度:轴向齿距偏差ΔbΣ,公差　　　=±0.019 mm;周节差ΔP,公差δ=0.04mm。接触精度:齿根圆直径偏差Δf,公差　　　±0.065mm。人字齿两半应对应,其对应齿类交…     

微杠杆在硅微谐振式加速度计中的应用

从基于DDSOG(Deep Dry Silicon on Glass)工艺的硅微谐振式加速度计样机入手,阐述了加速度计中微杠杆结构对惯性力的放大作用,证明了标度因数与系统放大倍数n为正比关系,并以加速度计样机中的单级微杠杆为例,建立了加速度计的理论模型.推导了微杠杆的放大倍数A和轴向刚度K的计算公式,以此为基础导出了加...     

微硅加速度计中静电键合封接技术的应用

在微硅加速度计的研制中,静电键合具有传统胶接技术所无法比拟的优点,是目前该加速度计研制中广泛应用的粘接技术。叙述了静电键合技术的机理和它在微硅加速度计装配中的具体工艺流程,指明了技术的关键之处,并分析了该技术的优缺点,提出了进一步改进的方案。     

基于 VG400 CD-100的微惯性测量组合标定

在对微惯性测量组合的发展和应用进行分析的基础上,从微惯性测量组合的结构及基本工作原理出发,针对微惯性测量组合系统进行了误差源分析和标定技术研究。以微惯性测量模块VG400 CD-100为研究对象,分析了微惯性测量的组合技术,建立误差模型方程,研究了微惯性测量组合系统的标定,给出了三维陀螺仪标定的比例系数和交叉耦合误差系数以及三维加速度计标定的比例系数和交叉耦合误差系数。然后利用MATLAB数据分析工具,采用最小二乘法回归理论,对标定实验数据进行分析和处理,最终完成对微惯性测量器件,即微陀螺仪和微加速度计各误差系数的标定。     

基于闭环灵敏度的微加速度计制造误差的评估

微加速度计的制造误差对灵敏度、量程、线性度等指标均有重要影响,文中基于电测法和微加速度计的闭环灵敏度,提出了一种简便且准确的评估制造误差的方法。文中首先基于有限元法提取了梳齿电容与质量块位移之间的函数关系。其次,基于电容-位移函数以及闭环微加速度计必须满足的平衡条件,推导出了灵敏度的计算公式。最后,基于灵敏度公式与实测灵敏度值,反推得到微加速度计的制造误差。文中以两种不同几何尺寸的微加速度计为例,通过实验验证了文中所提出方法的正确性。     

微型磁通门传感器的制备与测试研究进展

对微型磁通门传感器的原理与结构进行论述,介绍了平面型和立体型微型磁通门传感器的制备方法,并阐述了A/D转换、Δ-Σ调制和全数字化磁通门传感器测试系统的组成和结构,指出现有测试系统的优缺点和存在问题,并在此基础上分析了微型磁通门传感器的发展趋势.     

基于光纤-镜面干涉腔的光纤加速度计

设计、研制了一种基于光纤-镜面干涉腔的光纤加速度计.介绍了该加速度计的传感原理及弹性结构设计,并对其性能进行了实验测试.该加速度计用固定于圆网状弹性结构上的硅微反射镜与处理过的光纤端面构成光纤-镜面干涉腔来产生相位差随外界加速度改变的光干涉信号;采用相位生成载波技术通过对干涉信号的调制和解调实现对相位差的精确测定.应用...     

Σ-ΔA/D转换器原理及其在DCS中的应用

ＡＤＳ１２１３ 是基于Σ—Δ转换技术的新一代模数转换芯片,性能优越性,价格低廉。本文详细介绍了ＡＤＳ１２１３的基本原理、功能及应用。     

微机械加速度计系统分析与测试

微机械加速度计是近年来才发展起来的一类微机电系统（ＭＥＭＳ）。文中介绍了扭摆式硅微型加速度计的机械结构，工作原理。根据其信号特点，对其测试的关键部分进行了搪塞，并给出了测试结果。在此基础上，对整个加速度计系统的误差来源进行了研讨。     

压电加速度计本底噪声研究

针对压电加速度计的本底噪声,以压电变换器和电荷放大器为研究对象,建立压电变换器单自由度弹簧-质量-阻尼机械谐振系统力学模型和压电元件的电学模型,以结型场效应管(JFET)为核心元件,研究电路中的主要噪声源,建立各自的噪声模型。利用En-In噪声模型构建方法将电路内部噪声源等效到输入端,同时将Y-Δ变换原理引入T型偏置网络的噪声分析中。利用噪声模型推导出压电加速度计噪声谱密度表达式,将获得的实验数据与利用表达式得到的理论计算值进行对比,验证表达式的有效性与正确性。通过此表达式分析影响加速度计噪声的关键因素,总结出加速度计低噪声设计原则,为提高加速度计的信噪比提供理论基础。     

Σ—ΔA／D—AD7715原理及应用

ＡＤ７７１５是基于Σ－Δ转换技术的新一代模数转换芯片，性能优越，价格低廉。本文详细介绍了ＡＤ７７１５的基本原理、功能及应用。     

用于微流量系统的一种微型泵

用于微流量系统的一种微型泵刘兴占清华大学精密仪器系北京：１０００８４随着科学技术的发展,纳米微米技术也随之得到发展,尤其近些年内,国内外在微制造技术的发展取得了很大进展,如ＬＩＧＡ电铸技术及ＩＣ技术,使得某些微机械、微马达、微传感器、微加速度计及微型...     

基于PIC单片机的配料控制器设计

介绍一种基于PIC16F877单片机为核心的电子配料控制器设计,该设计采用Σ-ΔA/D转换芯片MCP3551,以提高转换精度和可靠性;同时不仅采取了硬件抗干扰,且采用看门狗和数字滤波技术等软件抗干扰技术。该设计方案的特点是精度高、抗干扰能力强、体积小、操作灵活、性价比高。