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《仪表技术与传感器》2017,(6)
MEMS(micro-electro-mechanical system)微型陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点,MEMS微半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,文中分析了微半球谐振陀螺的工作原理以及检测方法。针对MEMS微半球谐振陀螺高工作频率,高品质因数等特点,提供了一种数字式力反馈模式下的MEMS微半球谐振陀螺数字式闭环控制检测方案以及其FPGA平台硬件实现,完成目前MEMS微半球谐振陀螺的控制与检测工作。 相似文献
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微机电系统测试技术及方法 总被引:5,自引:7,他引:5
微机电系统 (MEMS)测试技术及方法是MEMS设计、仿真、制造及质量控制和评价的关键环节之一,本文对MEMS测试技术及方法所涉及的微机械量、微几何量、微材料特性以及系统综合参数与性能的测试技术及方法进行了讨论。重点介绍了光学及光电检测技术在微机电系统检测中的应用,对计算机微视觉检测技术在微机电系统检测中的应用进行了探讨。 相似文献
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系统级仿真在MEMS产品的设计开发过程中具有重要作用。本文在概要介绍两种统一环境下MEMS系统级仿真建模方法,即模拟/混合信号硬件描述语言(VHDL-AMS、Verilog-A等)表述法和等效电路法的基础上,借鉴MEMS结构化设计即节点分析的思想,提出了一种有别于常规信号流类比方法,适于复杂MEMS系统快速仿真的等效电路建模思路与方法,并结合一类典型MEMS集成系统——梳齿式静电反馈微加速度计的分析实例,对其进行了具体介绍和验证。最后,对VHDL-AMS语言描述法与本文所提出的等效电路法各自的应用原理、特点等进行了比较和总结。 相似文献
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微尺度热科学及其在MEMS中的应用 总被引:4,自引:0,他引:4
主要介绍了微尺度热科学最新研究成果及其在MEMS中的应用。微电子机械系统(MEMS)的高速发展为微尺度物理现象及其内在机理的研究提供了机遇和挑战。微尺度热科学是微尺度物理学的一个重要分支,包括微尺度传热学、 微尺度动力学和微尺度热测量学等。一般来说,微尺度热现象的尺度效应可以归结为热流密度大和热惯性小这两个特点,在MEMS器件中有广泛的应用。尽管近年来微尺度热科学取得了快速的发展,但仍处于不断发展的阶段,完整的理论体系还没有建立;微尺度下成熟的实验方法还在摸索中,实验数据处在原始积累阶段;大规模计算条件的实现和分子水平的数值模拟方法的解决提供了另一条途径。 相似文献
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在中国国家863高技术发展计划MEMS重大专项课题《MEMS动态特性频闪干涉视觉三维测量技术及系统》资助下,研发微机电系统(Micro Electro Mechanical System , MEMS)动态特性三维测量技术与系统。对已有的微几何量、微材料力学性能和MEMS动态参数测试方法进行研讨。 几何尺寸和表面形貌轮廓的测量是MEMS测量的基础。二维微几何量检测采用普通光学显微镜和扫描电子显微镜。表面形貌测量大致可分为接触式测量和非接触式测量,机械触针式轮廓仪是典型的接触式测量仪器,非接触式测量大多采用光学技术,主要有光针式轮廓仪,采用光切、干涉、投影光栅和微视觉等测量方法。 相似文献
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对液氮泵在使用过程中机械密封的失效现象进行分析研究,参数核算,确定出失效的原因,由此确定出改造措施,在大庆天然气公司的液氮泵上应用,密封性能和使用寿命得到了提高,改善了工作环境,经济效益非常显著。同时也为解决易挥发性介质的密封问题提供了参考。 相似文献
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Khodabakhsh Saeedi Alfin Leo Rama B. Bhat Ion Stiharu 《Journal of Mechanical Science and Technology》2012,26(5):1439-1448
The free vibration of a circular plate with multiple perforations is analyzed by using the Rayleigh-Ritz method. Admissible functions are assumed to be separable functions of radial and tangential coordinates. Trigonometric functions are assumed in the circumferential direction. The radial shape functions are the boundary characteristic orthogonal polynomials generated following the Gram-Schmidt recurrence scheme. The assumed functions are used to estimate the kinetic and the potential energies of the plate depending on the number and the position of the perforations. The eigenvalues, representing the dimensionless natural frequencies, are compared with the results obtained using Bessel functions, where the exact solution is available. Moreover, the eigenvectors, which are the unknown coefficients of the Rayleigh-Ritz method, are used to present the mode shapes of the plate. To validate the analytical results of the plates with multiple perforations, experimental investigations are also performed. Two unique case studies that are not addressed in the existing literature are considered. The results of the Rayleigh-Ritz method are found to be in good agreement with those from the experiments. Although the method presented can be employed in the vibration analysis of plates with different boundary conditions and shapes of the perforations, circular perforations that are free on the edges are studied in this paper. The results are presented in terms of dimensionless frequencies and mode shapes. 相似文献
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应用于油气钻采的磨料水射流喷嘴优化设计与试验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为了优化总长度和出口直径被限制的喷嘴的内部结构,进行喷嘴内外流场数值模拟、喷嘴流量系数测试以及喷嘴对砂岩冲蚀深度的试验。对试验结果进行分析表明,各喷嘴射流轴心线上的速度在喷嘴的内部达到最大后开始减小;数值模拟结果和流量系数测试结果相吻合,即喷嘴外部射流速度最大的喷嘴流量系数也最大,该喷嘴的工作性能最好;在设计试验的喷嘴范围内,进口收缩角为30°,出口圆柱段长度为11mm的喷嘴性能最好,其对砂岩的冲蚀深度高出其他喷嘴的200mm~300mm。 相似文献
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D. G. Milovzorov V. Kh. Yasoveev 《Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing》2017,53(4):388-394
Issues of designing fluxgate magnetic gradiometers are considered. The areas of application of fluxgate magnetic gradiometers are determined. The structure and layout of a two-component fluxgate magnetic gradiometer are presented. It is assumed that the fluxgates are strictly coaxial in the gradiometer body. Elements of the classical approach to the mathematical modeling of the spatial arrangement of solids are considered. The bases of the gradiometer body and their transformations during spatial displacement of the gradiometer are given. The problems of mathematical modeling of gradiometers are formulated, basic mathematical models of a two-component fluxgate gradiometer are developed, and the mathematical models are analyzed. A computer experiment was performed. Difference signals from the gradiometer fluxgates for the vertical and horizontal position of the gradiometer body are shown graphically as functions of the magnitude and direction of the geomagnetic field strength vector. 相似文献
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汽车前照灯系统光学设计方法研究 总被引:7,自引:0,他引:7
随着汽车工业的飞速发展,对汽车车灯照明的效果也越来越加以重视。这里介绍了汽车前照灯系统光学设计的原理和方法。重点介绍了带有配光镜的车灯系统的设计方法并建立了数学模型,叙述了模拟实际灯具、绘制模拟图形和进行光度处理的方法,并且通过实例介绍了利用设计软件进行设计的效果。 相似文献
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供应链中车辆路径问题的研究进展及前景 总被引:23,自引:0,他引:23
车辆路径问题是供应链研究的一项重要内容。本文概述了近年来车辆路径问题的现状;介绍了车辆路径问题主要的几种分类方法;总结了车辆路径问题中几种常见的附加条件。分别介绍了确定车辆路径问题、随机车辆路径问题和模糊车辆路径问题出现的背景及其具体应用场合,讨论并总结了针对这些问题的不同建模方法和算法求解思路,以及这些算法的优点、局限和适用范围。简要介绍了国内该领域的发展现状,并结合供应链应用的需要,指出车辆路径问题的研究发展方向。 相似文献