半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试及污染源分析

以我国某新建的半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试结果为例,利用长期在线检测和现场实测相结合的方法,完成了从建造到洁净室空态运行的全过程测试,分析了安装化学过滤器前后、洁净室运行前室内气态化学污染状况的变化情况及环境控制效果。并对比了室外空气环境及运行前后污染物种类的不同,确定了洁净室不同气态化学污染物的污染源信息。测试发现,新风机组的化学过滤器实际去除效率仅仅达到50%,无法满足规范中70%的要求。而微电子洁净室的酸性污染物主要来自于室外空气,氨气浓度较高,来源于室外空气和水泥等建筑材料;凝结物的污染源主要是室内源,来自室内的装修材料、清洗剂及生产工艺材料。     

不同送风面积下洁净室浓度场的数值模拟分析

本文以典型上送双侧下回洁净室为研究对象，建立相应数学模型，利用计算机进行模拟分析，总结出不同面积送风口布置方式对洁净室流场及浓度场的影响，并通过实验对比，验证数值计算方法及结论的可靠性。     

超大型电子洁净厂房防排烟系统设计

超大型电子洁净厂房工艺设备体积大、自动化程度高且生产过程连续,其洁净室面积过大,厂房防火分区划分需要参照电子行业规范作为设置依据。以某洁净厂房为例,介绍了人员疏散用的防烟楼梯间的设置方法、防烟分区划分及防排烟系统设置等,对比了新旧规范防排烟系统设置的区别。结合GB 51251—2017《建筑防烟排烟系统技术标准》,对工厂建设过程中的防排烟设置要点进行了探讨。     

超长结构华夫板平整度控制技术研究及应用

大型科技厂房的洁净室需要提供恒温、恒湿、没粉尘的环境放置生产工艺机台、仓储搬运系统以及人员的走动、生产操作。洁净室地面的完成面须考虑足够的回风能力、承载需求、抗微震力、平整度及积尘防止。基于固安云谷电子厂房建造过程,详细介绍超长结构华夫板平整度控制关键施工技术,为类似大型科技厂房建设提供有益借鉴。     

关于电子厂房洁净室暖通施工分析

暖通施工主要分为三个部分:采暖、通风、空气调节。而在电子厂房洁净室暖通施工时,为了进一步确保施工效果,第一要对施工组织方案设计加以重视,第二要做到切实加强空调水系统、净化空调系统施工的质量控制,且要掌握好焊接施工、管道试验、过滤器安全、洁净室施工等要素。本文将结合笔者关工作经历,且基于电子厂房洁净室对暖通施工展开阐述,希望对于施工任务的顺利完成,以及进一步提升洁净室工程质量给与一定的参考作用。     

ISPE规范和制药行业洁净室

分析了制药系统污染物的来源与控制方法，介绍了ISPE规范中对不同工艺洁净区净化等级的划分和对制药洁净室材料的要求。对制药行业暖通空调系统设计中的一些问题进行了讨论，根据ISPE规范的相关规定，给出了相应的建议。     

生物洁净室的负压控制

介绍了负压生物洁净室需要保持的负压控制值的相关要求,分析了房间负压和漏风量的关系。当采用定风量阀末端控制洁净室负压时,定风量阀的控制精度对结果产生很大影响,通过实测分析了定风量阀无法保持风量恒定的原因,提出了漏风量换气次数的概念及定风量阀在洁净室负压控制中的适用条件,并讨论了采用变风量阀及手动调节阀控制洁净室负压的方法。     

洁净室系统缓冲设置措施

洁净室系统的缓冲室是洁净区与非洁净区之间的控制节点,关于缓冲室的布置及室内标准,行业相关规范及设计手册已有相关规定及论述。文章从缓冲室的污染控制、洁净自净时间、压差控制等方面,阐述工程设计中缓冲室不同类型的应用,缓冲室压差梯度、洁净度以及送风换气次数的取值标准确定,从空气渗透原理对缓冲室送风换气次数进行验算。     

我国超净环境集成系统技术取得重大突破

<正>11月20日,我国第一个国际最高等级"ISO 1级"的超净环境集成系统在南京天加空调设备有限公司落成,并通过了专家组的评定。来自中国科学院、中国工程院、行业协会、高校、设计院的近30名权威专家一致评定该系统为国内首创,达到"国际先进"水平。中国电子学会洁净技术分会、全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会主任委员王尧表示,洁净室系统在电子信息产品制造过程中起着举足轻重的作用,尤其     

浅谈洁净室的施工

简要介绍了洁净室的定义及其构成,以深圳某公司的洁净室施工为例,对洁净室的主体结构、洁净板墙体、洁净板天花、地面系统、打胶等方面的施工要点进行了阐述,并总结了洁净室施工的总体要求,从而保证洁净室土建施工的成功.     

无菌洁净室

众所周知,近年来无菌洁净室在国外已逐渐普及。例如,在日本到1976年单是新建的100级的手术室就有100个。这主要是因为采用这种技术能使手术感染率显著减少。国内对此项技术也日益关注。为此,本文根据日本资料拟从空调技术方面谈谈设计医疗用无菌洁净室中有关的几个问题。一、无菌洁净室及其设计原则和标准 1.无菌洁净室无菌洁净室是为了把空气中浮游的微生物数、浮游的微粒子数以及空气的温度、湿度、压力、气流分布及形式和风速等控制在一定范围内采取积极措施的特制空间。和工业用洁净室不同,无菌洁净室主要     

法国医院建设标准评述

介绍了该标准的章节内容、编制目的与适用范围、控制与隔离原理、级别划分及环境控制技术措施.标准基于洁净室技术的环境控制思路,引入风险控制,使控制措施与医疗风险的概念相结合,确定合适的控制措施,以保障医疗效果、控制感染与节能降耗.     

《洁净室施工及验收规范》的检漏方法受到国际关注

国家标准GB 50591—2010《洁净室施工及验收规范》中的高效过滤器扫描检漏方法除了ISO透过率法,还提出了透过量法。使用该方法不用发生大量对环境、过滤器和人有害的气溶胶,只需要低浓度的大气尘就可     

电子芯片厂房华夫板奇氏筒施工技术应用

华夫板是电子芯片厂房洁净室常用的结构形式,可为洁净厂房提供无尘的结构基础层,同时保证洁净室的排风与除尘通道通畅,还可以满足厂房防微振的要求。文章以格芯(成都)集成电路制造项目洁净室华夫板的施工为例,通过BIM技术的应用,对施工人员进行三维图像交底,并通过三维模型对华夫板支模架进行深化设计。通过对现浇模板的选型、模板支架搭设、钢筋绑扎、混凝土浇筑等问题进行分析,总结出了一套可供参考的施工工艺。     

基于我国规范的城市轨道交通环境振动计算与评价

归纳总结国内环境振动相关规范,同时整理出城市轨道交通振动允许值的判定方法,并对不同规范中采用的计权因子进行对比。该判定方法从确定振源开始,对不同规范的适用条件进行归纳,同时对不同振动指标进行定义,并说明相关指标的计算公式,最后总结出计算流程图。除此之外,还将环境振动的限值进行说明,以供相关工程人员计算城市轨道交通的环境振动参考使用。     

《洁净室及相关受控环境——理论与实践》

<正>《洁净室及相关受控环境——理论与实践》是一本系统、全面介绍洁净室及相关受控环境传统技术与新概念、新措施的书。作者为天津大学涂光备教授,涂教授介入此领域40多年,集科研、设计与检测等多方面的经验,对洁净室空调通风系统的各个主要环节的基本概念和技术内涵都有深入独到的分析,该书对洁净室技术的发展与演变均有细致的论述,并用较大篇幅系统介绍了CFD在气流流型、污染物分布     

洁净室的设计施工规范

本文给出了洁净室设计规范中规定的有关设计数据，比较详细地介绍了《洁净室施工及验收规范》（ＪＣＪ７１－９０）中对建筑装饰、净化空调系统、水气电系统和工程验收方面的具体规定条款。     

无尘华夫板施工工艺

洁净室亦称为无尘室,洁净室的空调送排风系统,是空气经过滤器进入室内,由洁净室的高架地板或两侧隔墙回风,将人、机器等发生的尘埃迅速排出室外,使室内洁净度、温湿度及静电等控制在洁净室级别需求的范围内。     

郑州大学实验动物中心大楼环境控制系统

结合郑州大学实验动物中心工程实际,在实现实验动物屏障环境设施控制的基础上,探讨集成视频监控系统及洁净室设计施工相关问题。     

浅谈洁净厂房建设的施工要点

介绍了洁净厂房的概念、分类、工作原理及送风方式，对洁净室施工的三个阶段进行了分析说明，并阐述了洁净室具体施工要点和施工质量控制要点，从而完善洁净厂房的施工工艺，为同类工程积累经验。