航空轴承的离子注入工艺

用离子注入技术处理航空轴承始见于１９８１年美国海军实验室的研究报告。１９８４年，我们开始了对该项技术的专题研究。１９８７年完成两种工艺方法（离子注入和离子束混合）对两种轴承材料（ＧＣｒ１５和Ｍ５０）的系统试验。结果表明，无论是摩擦和磨损，还是抗蚀能力（包括点蚀），都可以获得显著的改善，且两种工艺方法均在十分类似的结果。本文还介绍了经过离子束处理的发动机轴承２００小时台架试车和１４００小时地面燃机试     

离子注入对金属材料表面的改性

简述Ｃｒ，Ｍｏ，Ｎ，Ｔａ及ＲＥ等注入离子对金属材料表面的耐蚀改性机制。介绍了多元离子注入和离子束混合技术的性能与用途。     

用高能束流进行钛合金表面改性

概述了利用高能束流进行材料表面改性的技术及其对钛合金表面改性的应用。这些技术包括激光固态相变强化处理,激光表面熔凝处理、激光表面合金化、离子注入、离子束混合和离子束辅助气相沉积。钛合金经高能束流表面改性处理可以提高其表面硬度、耐磨性和耐腐蚀性能。     

CG-60离子注入机及应用

离子束表面改性技术在工业上具有广阔的应甩前景，CG-60离子注入机充分考虑了工业应用的要求．离子源束斑大、均匀性好，带电子枪加热镀膜装置的多功能靶室容积大、功能全，多自由度靶盘及卡盘适应范围广，并带有水冷装置。机器功能完善，可进行离子注入、镀膜、反冲注入和离子束辅助沉积等多种工作。利用该设备为六十多个单位的刀具、模具、精密零件等进行了离子束表面强化和改性处理，取得了明显效果，大量实例表明被处理件的耐磨、抗蚀，耐热等性能显著提高，使用寿命提高了1～10倍。     

离子注入处理的工业应用现状

离子注入处理通常被用作掺杂半导体元件,借以提供选择性改变材料表面性能的潜力。通过入射离子束产生的成份结构变化及邻近表面层形态的变化导致了处理表面的性能变化。已经证明如硬度、磨擦系数、耐磨损、耐腐蚀、表面能以及其它的表面性能可以在不对整体性能产生不利影响的同时由离子注入予以改变。本文叙述了离子注入的独特功能、显著的特征和技术的综合潜力。基于Spire公司的经验,介绍了离子注入处理的成功应用并且概述了选择有希望的应用对象的标准。在主要(?)要高的可靠性和再现性的应用市场中,表征离子注入处理特点的内在质量控制已占据适当的位置。预期这种技术在有选择地应用到航天直至生物材料方面将作出不断的贡献。     

团簇离子束纳米加工技术研究进展

团簇离子束是带电的团簇,可以在电场、磁场作用下加速、传输或偏转,形成几个eV到几个MeV能量的离子束。文中阐述了团簇离子束的基本概念、产生方法和主要应用。大尺寸气体团簇和硼基团簇必须用高压气体超声绝热膨胀方法产生,然后通过电子碰撞电离形成团簇正离子。硼团簇用于超浅结制备,实现了结深为10~20nm的超浅注入;包含数千原子的大团簇则被用于半导体的表面平化,获得了粗糙度在0.7nm以下的平滑表面。用铯溅射离子源可以产生几个到几十个原子的负离子小团簇,包括B、C、F、Si及其分子团簇(SiB、GeB)。其中,硼基分子团簇离子束已用于对半导体进行瞬态增强扩散掺杂,与半导体表面的离子注入非晶化工艺相结合,实现了接近纳米量级的超浅注入。碳系团簇最近被用于超薄材料制备,获得了单层和双层石墨烯,并发现团簇离子束引起的非线性辐照损伤对石墨烯的形成具有重要影响。结果表明:团簇离子技术在超大集成电路和新型超薄纳米材料制备等领域具有广泛的应用前景。     

离子束辅沉积技术

离子注入曾因在半导体产业中的巨大成功而名噪于世，但将此技术移植于一般材料(非半导体)的表面改性时却显得步履艰难。尽管早在l0年前，人们已经宣称离子注入使某些材料的耐磨损性提高了3～5倍，也使抗腐性能大为改观。但将实验研究的成果真正推广应用并转化为生产力者尚属少见。诚然，离子注入技术有许多独特的优点．例如，它所形成的材料改性层与基体材料完全溶于一体因而不存在界面；它可在室温下获得用常规技术难以得到的、具有优良性质的非平衡组织，它可保留基体材料的固有性能．而仅使其表层物质性能优化等．     

离子注入在模具上的应用

将离子加速后注入到固体表层的离子束技术,与电子束、光子束一起在现代科学技术的发展中起着重要的作用。离子注入技术除了在半导体材料渗杂中起着重要作用外,也被用来进行金属表层改性。从1970年初以来,这种技术以欧、美为中心开始发展。近年来由于离子注入设备和技术的发展,材料科学的进步,离子注入表层改性技术也得到了进一步发展。离子注入,就是将要注入的元素电离成离子(带电荷为e)、在几十到几百千伏的静电     

等离子体浸没离子注入(PⅢ)在材料表面改性中的应用及发展

等离子体浸没离子注入(PⅢ)是一种用于材料表面改性的新的离子注入技术.系统地分析和讨论了等离子体浸没离子注入技术的原理和特点:该技术直接将待处理材料浸没在等离子体中进行注入,保留了常规束线离子注入(CBⅡ)技术的主要特点,消除了常规束线离子注入所固有的视线限制,克服了保持剂量问题,使注入装置变得简单和价廉.综述了等离子体浸没离子注入技术在金属材料、半导体材料和高分子材料改性方面的应用.展示了等离子体浸没离子注入技术应用的发展前景.     

离子注入工模具材料表面改性及其展望

介绍了我国及先进工业国家离子注入工模具改性的研究和应用方面取得的成果。展示了我国在离子注入改善工模具材料的抗磨损特性及使改性层韧化方面所做的有益探索和应用实例。作出我国离子注入表面改性的产业化进程已经获得进展的判断 ,并从经济因素和产业政策等方面 ,对推广离子束改性技术 ,加快产业化进程提出了建议     

离子注入显神奇材料披上新盔甲

<正> 现在,在金属制造中采用一种新奇的离子注入技术,可以使金属材料表面陶瓷化或金刚石化。从而为金属材料披上十分坚固的盔甲。 离子注入技术是在粒子加速器技术,现代真空技术,离子束的形成、加速和扫描技术以及微机控制技术等高新技术基础上发展起来的。由于离子是依靠高速硬挤到金属内部之中,因此它和金属原子掺和在一起后,两者没有明显的界面,不会像其它镀覆技术那样,易于剥落。注入离子的数量、浓度和分布一     

离子束辅助沉积技术

一、引言离子注入曾因在半导体产业中的巨大成功而名噪于世,但将此技术移植于一般材料(非半导体)的表面改性时却显得步履艰难。尽管早在10年前,人们已经宣称离子注入使某些材料的耐磨损性提高了3～5倍,也使抗腐性能大为改观。但将实验研究的成果真正推广应用并转化为生产力者尚属少见。诚然,离子注入技术有许多独特的优     

离子注入技术及其在模具制造中的应用

介绍了离子注入技术的原理和主要特点，综述了离子注入技术改善材料性能的各个方面，列举了该工艺在模具制造方面的应用情况，分析了该项技术存在的问题及发展趋势。     

离子注入表面改性技术对金属耐蚀性能影响的研究

<正> 利用离子注入技术在金属表面注入耐蚀元素,可显著改善材料的耐蚀性能。氮是提高合金耐孔蚀性能的有效组分。它与合金中铬的综合作用很强。离子束混合可在薄膜基体界面上产生原子级混合,形成新的表面合金层,有利于提高基体金属的耐蚀性。本文采用离子注入技术在奥氏体不锈钢上形成表层含氮合金。通过各种电化学测试     

离子注入延长金属寿命

离子注入延长金属寿命离子注入是通过选定的高能离子束轰击基材，使基材在不改变几何尺寸的前提下，在近表层形成一种新的合金，以达到表面改性的“原子水平”表面处理技术。此技术常用来增强零件的耐磨性或耐蚀性，经离子注入表面改性后的零件，比以往任何工艺所形成的表...     

钛、氮离子注入改善人造金刚石性能的试验研究

金刚石固有的缺陷，如裂纹和磁性包裹体的存在降低了其力学性能和热稳定性，也使金刚石工具的使用性能降低。本文利用离子束注入技术，对金刚石表面同时注入钛、氮离子来改善人造金刚石的性能进行了试验研究。测量了经离子注入处理的金刚石的抗压强度和热稳定性，以及孕镶金刚石复合材料的抗弯强度和磨耗比。试验结果表明：钛、氮离子注入后，填补了金刚石晶体表面的缺陷，从而提高了金刚石的抗压强度和热稳定性，其抗压强度提高了6～34％，热失重率降低了20％。此外，和离子注入前相比，用离子注入后的金刚石烧结的复合材料的抗弯强度和磨耗比也有了较大幅度的提高。     

高能束金属材料表面处理技术的物理机制及应用

综述了高能束材料表面处理技术的类型、物理机制及其应用;并通过强脉冲离子束技术与激光束、电子束及传统离子注入的比较,表明强流脉冲离子束技术在金属材料表面处理方面的优势。     

冷场致弧光等离子体技术在表面工程中的应用

随着科学技术的发展，国防技术的现代化和人民生活水平的提高，对材料科学提出了更高的要求．各种材料表面改质改性的新技术不断出现。涉及利用等离子体能量的技术更是层出不穷．离子镀、磁控溅射，离子注入，离子束辅助沉积、等离子体喷涂、离子渗氮、离子渗硫、离子渗金属等技术发展很快，并得到了，不同程度的应用．在这些等离子体技术中利用冷场致弧光放电所产生的高密度金属等离子体技术，多弧离子镀，多弧离子渗金属则是属于更新的金属等离子体材料表面改质改性技术。     

离子注入表面改性技术

离子注入表面改性技术离子注入是一种“原子水平”的表面改性技术，能改良基材的近表层结构，使之在不变更零件尺寸的前；提下形成一种新合金。它是通过选定的高能离子束流轰击基材表面以达到表面改性，其注入深度可达到１＃μｍ以上。离子注入的浓度——熔深曲线，取决于...     

CG─60离子注入机及应用

离子束表面改性技术在工业上具有广阔的应用前景。CG─60离子注入机充分考虑了工业应用的要求，离子源束斑大、均匀性好，带电子枪加热镀膜装置的多功能靶室容积大、功能全，多自由度靶盘及卡盘适应范围广，并带有水冷装置。机器功能完善，可进行离子注入、镀膜、反冲注入和离子束辅助沉积等多种工作。利用该设备为六十多个单位的刀具、模具、精密零件等进行了离子束表面强化和改性处理，取得了明显效果，大量实例表明被处理件的耐磨、抗蚀、耐热等性能显著提高，使用寿命提高了1～10倍。