电容式微超声传感器的电极参数优化设计

建立了电容式微超声传感器(cMUT)的有限元模型,通过对模型进行静电-结构耦合仿真分析,研究了金属电极的结构参数包括电极面积、电极厚度、电极材料以及电极相对与薄膜的位置等参数的变化对传感器性能的影响.分析了电极参数与传感器吸合电压,静态电容,机电转换比以及机电耦合系数的关系,最后得到了优化的电极结构参数,即金属电极面积为传感器振动薄膜面积的一半时,传感器具有较低的吸合电压和较大带宽值及机电耦合系数.     

用于多参数生化检测微系统的葡萄糖传感器的研究

基于生物酶催化的电化学电流检测原理对人体血液生化参数进行测试.利用MEMS技术将电极、酶、反应室以及微型流路等单片集成,研制单一生物芯片的多电极酶传感器目的是同时测定人体血液的多个生化参数.本文主要介绍传感器芯片的工作原理、结构设计、加工技术及初步实验结果,其中葡萄糖在磷酸盐缓冲盐水(PBS)中的测试范围为1～30 m*mol/L,可以满足临床血糖检测的要求.     

基于PLD法制备的MgZnO薄膜紫外传感器的研究

用KrF准分子脉冲激光沉积(PLD)法,以石英为衬底,在300 ℃～600℃制备了MgZnO薄膜.由拉曼光谱仪、AFM、UV/vis分光光度计对薄膜进行表征,结果表明,在600 ℃制备薄膜有最大的禁带宽度3.78 eV,以及最好的结晶质量.在此薄膜上镀上Al电极制备紫外传感器,测量了传感器的的I-V曲线、光谱响应特性,...     

一次性葡萄糖传感器中水溶性高分子材料的选择

对多种水溶性高分子材料稳定性、水溶性、成膜性及制备酶电极的电流响应性能等方面进行了系统的研究.实验表明使用1%的羧甲基纤维素钠(CMC)作为一次性葡萄糖传感器的包酶载体,固定化酶膜效果好,制得的葡萄糖传感器电流响应呈线性,灵敏度为111 nA/(mmol/L).     

MEMS薄膜热流传感器研制

基于微加工技术设计制备了一种微机电系统(MEMS)薄膜热流传感器。采用COMSOL软件,对不同结构参数MEMS薄膜热流计进行仿真模拟,通过对仿真结果对比和分析,优化热流传感器的设计参数。根据优化的设计参数利用MEMS工艺制备薄膜热流计。搭建了标定系统,对所制备的MEMS薄膜热流计进行性能测试和标定。实验结果表明:薄膜热流计的电压输出响应曲线的变化趋势和仿真结果一致,此外,薄膜热流计的输出电压和热流密度呈良好的线性关系。     

纳米TiO2薄膜传感器及其在纳米氧化物紫外屏蔽性能评估中的应用研究

该文通过溶胶凝胶法制备了纳米TiO2薄膜电极,并将其用于评估纳米氧化物材料紫外屏蔽性能.修饰纳米TiO2后,导电玻璃光电流明显变大,在较宽窗口内对紫外光强度表现出灵敏、快速响应.工作中利用该传感器作为紫外光响应元件,首次采用电化学方法,比较了多种纳米氧化物材料对紫外光的屏蔽能力,为纳米材料紫外屏蔽方法学的研究提供了新的思路和评估方法.     

中国微米纳米-微纳结构对电容式柔性压力传感器性能影响的研究

设计制备出三明治结构的电容式柔性压力传感器,并对其性能进行研究.该传感器以银纳米线为电极材料,聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性衬底,同时采用毛面玻璃和光面玻璃分别作为柔性衬底的制备模板,制备出微纳结构和平面结构的PDMS薄膜.然后采用喷涂法制备AgNWs/PDMS复合电极,以另外一层PDMS为介电层,将两电极面对面封装,得到电容式柔性压力传感器,最后系统研究了传感器的电极微纳结构对器件性能的影响.本文研究表明,具有微纳结构的AgNWs/PDMS复合薄膜传感器的灵敏度为1.0 kPa-1,而平面结构的AgNWs/PDMS复合薄膜传感器的灵敏度为0.6 kPa-1,由此可知具有微纳结构的柔性衬底能够显著提高器件的灵敏度.     

基于环形微热板的ZnO微气体传感器设计

提出一种新型的设有环形结构微热板的硅基ZnO微气体传感器。利用ANSYS软件,将环形电极结构与传统的蛇形结构进行温度分布的模拟仿真,发现该结构能供给传感器更高的温度且中心温度分布均匀,进而解决了现有传感器功耗大的缺点。通过对RF磁控溅射ZnO薄膜的工艺摸索,得出了适宜作气敏薄膜的制备参数。该传感器在250℃下对（200-1000）×10-6CH4气体有很好的响应。     

地磁传感器在弹载测试系统中的应用

介绍了地磁传感器的工作原理、结构及其在弹载测试系统中的应用,针对弹载测试的特殊性,设计了一种基于薄膜线圈式地磁传感器的弹载测试系统,该系统具有误差不随时间积累、可靠性高、响应速度快等优点,简述了弹载测试系统的工作原理、系统硬件结构及薄膜线圈式地磁传感器的信号调理电路,经过实弹测试验证,该地磁式弹载测试系统能准确测量弹丸的加速度和转速的实际飞行参数。     

离子选择电极在生物医学分析中的应用

Ⅵ、生物化学方面的应用在第Ⅳ节中已经介绍了某些对生化制剂有响应的传感器。借助于游离酶、细菌或组织生物催化层把基质分解成可测量的产物,这是制造电极的依据,也就是说一种敏感器的实用形式就是制成某一种基本电极。在这一节将要介绍几种直接对生化制剂敏感的电极。这些敏感电极的作用与敏化电极的基本原理不同。事实上,这些电极可以认为就是第Ⅲ节所谈到的某种基本型的敏感电