半导体设备业有望“十一五”翻身

起步早、门类全可以说是对我国半导体设备业发展历史的概括。但是，目前，与国外先进水平相比，国内设备的加工线宽相差几个技术档次，我国半导体设备产业已成为半导体和集成电路产业链中最薄弱的环节之一。我国半导体设备产业的发展前景究竟如何，我国半导体设备行业的春天离我们还有多远？专家认为，“十一五”将有可能成为我国半导体设备业的重要转折期。     

BOC EDWARDS推出用于半导体工艺尾气处理的解决方案HELLOS 6^TM

马萨诸塞州成明顿（2007年5月29日），全球半导体OEM和FAB代工厂家主要真空、尾气处理、化学管理设备和服务的供应商BOC EDWARDS宣布推出HELIOS 6^TM尾气处理设备。作为HELIOS^TM尾气处理设备产品线中的最新产品，该装置可用于高流量氢工艺，如硅和锗硅外延、LPCVD钨和化合物半导体MOCVD。     

中国半导体设备业的近况

随着半导体设备市场的快速发展、我国从事半导体设备开发和生产的企业正在迅速增加，2003年从2002年的40个发展为接近60个(包括兼作)，其中主要单位20家左右。大部分单位从事序和后工序设备研制，材料制备设备、净化设备、半导体专用工模具、检测设备、试验设备和半导体设备零部件也各有一些单位在研究和生产。一些企业已开始在中国设厂，为行业的发展注入了活力。     

φ300mm半导体设备需求持续增长

日本厂商最近的行动显示，2004年是全球半导体制造设备工艺技术从φ200nm向φ300mm转变的转折点。全球半导体制造设备采用φ300mm工艺技术的起步较慢，这种转变开始于上世纪90年代中期。     

摩尔定律与半导体设备(续前)

<正> 2.3纳米半导体工艺及其设备 影响摩尔定律的寿命和芯片特征尺寸能否进一步缩小的焦点是100nm的尺寸,正好是纳米技术的范畴。所谓纳米技术是以十亿分之一米单位为对象的超精密技术,又通常指0.1-100nm范围内加工或操作单个原子的技术。20世纪80年代中叶至90年代初期,日本掌握了微米技术(1.2-0.8μm),在     

行业与市场动态

今年我国半导体设备市场将增长 4 0 %以上　　进入新世纪以来 ,我国半导体设备加快了新产品研制和产业化的进程 ,不少半导体设备在大生产线中得到了推广应用 ,逐步扭转了我国半导体设备市场常年低迷的局面。 2 0 0 1年我国半导体设备销售额比 2 0 0 0年增长了 38 7%。今年又在我国半导体行业发展的推动下 ,我国半导体设备销售将继续增长 ,预计今年我国半导体设备市场将比去年增长4 0 %以上 ,销售额将达到 3亿元左右 (不含净化设备 )。其中 15 0ｍｍ(6英寸 )及以下的半导体材料加工设备和后封装生产线设备是主要增长点。2 0 0 2年中国国际电…     

韩国半导体设备业发展策略研究

设备业是半导体产业发展的基础和支撑。近年来韩国半导体设备在政府、大型半导体企业的共同扶持下取得的长足的进步,分析介绍了韩国半导体设备业的发展状况和发展策略,希望对国内设备产业发展提供有益借鉴。     

世界半导体设备的“十大”发展趋势

讨论了世界半导体设备的“十大”发展趋势,如设备与工艺互动化、设备加工晶圆大尺寸化、加工晶圆单片化、组合化、高精度化、全自动化、制造商垄断化、高价格化、研制联合化和用户化。     

中国半导体设备业近况

1 2003年国内半导体设备业基本情况 随着半导体设备市场的快速发展，我国从事半导体设备开发和生产的企业正在迅速增加，2003年已从2002年的40个发展为接近60个(包括兼作单位)，其中主要单位20家左右。大部分单位从事前工序和后工序设备研制，材料制备设备、净化设备、半导体专用工模具、检测设备、试验设备和半导体设备零部件也各有一些单位在研究和生产。一些国外企业已开始在中国设厂，为行业的发展注入了新的活力。     

新芯ATE世界 谁主沉浮

ATE是自动化测试设备的英文缩写，是一种通过计算机控制进行器件、电路板和子系统等测试的设备。通过计算机编程取代人工劳动，自动化的完成测试序列。ATE在60年代早期始于快捷半导体（Fairchild）经过多年的发展，已是全球半导体设备产业之中的重要组成部分．     

锗的制备及其应用概述

半导体技术的发展是对锗进行研究和生产而开始的，我国对锗的研究已有四十年的历史，在此期间对锗的科学研究十分重视，为我国的半导体工业奠定了基础。本文对锗材料、锗器件的研究，应用作一回顾及论述。     

摩尔定律与半导体设备

介绍了摩尔定律及其寿命和争议。同时介绍了ITRS2 0 0 1及其对缩小芯片特征尺寸的争议。讨论了影响摩尔定律寿命的半导体工艺及设备 ,如光刻工艺及设备、互连工艺及设备和纳米半导体工艺及设备。并对发展我国半导体设备提出了建议     

常用元器件的识别与使用（五）用途广泛的晶体二极管

晶体二极管简称二极管，它和晶体三极管一样都是由半导体材料制成的。所谓半导体，是指导电性能介于导体和绝缘体之间的一类物质，常用的半导体材料有硅和锗。我们常听说的美国硅谷，就是因为起先那里有很多家半导体厂商。     

半导体超晶格物理与器件（16）

半导体超晶格物理与器件（１６）彭英才（河北大学电子与信息工程系０７１００２）三、纳米半导体结构的光学性质所谓纳米半导体结构一般是指结构尺寸为几～几＋ｎｍ的低维量子体系。目前研究最活跃的有采用选择外延生长技术制备的量子线与量子点微结构，采用低压成膜技术...     

中国半导体工业现状及未来：来自国外的评论

中国半导体产业现状如何？未来又将如何？我们根据国外资料报道，以日本电子机械工业会、电子器件调查统计委员会的BIAJ调查团、美国新亚顾问公司（NEO）、美国Dataquest公司集成电路市场及发展战略研究咨讯委员会等有关专家的调查报告为上，综合介绍国外对我国半导体工业的现状和未来发展的看法。其中，有些数据、单位名称以及对某些问题的看法和观点，我们直意提供，仅供参考。一、中国半导体工业的发展概况中国半导体工业的发展历史悠久，是世界上最早从事研制半导体器件的国家之一。中国于50年代中期开始起步发展半导体技术。1956年…     

SEMI：2006年第二季度全球半导体设备出货95．9亿美元

SEMI近期公布数据，2006年第二季度全球半导体制造设备出货达到95．9亿美元，相比上一季度增长0．2％，相比去年同期增长27％。SEMI同时表示，2006年第二季度全球半导体设备订单达到115．3亿美元，相比上一季度增长23％，相比去年同期增长60％。     

中国半导体设备行业发展前景看好

正国内外市场需求为国产半导体设备业提供了光明前景。目前一批极大规模集成电路制造设备、集成电路先进封装工艺制造设备、高亮度发光二极管制造设备开发成功,国产设备实现从无到有、从低端设备到高端设备的突破,在以美、欧、日为主导的半导体领域形成突破。面对快速发展的半导体工业和各层次半导体及集成电路产品的大量需求,按照"战略性、前瞻性、宏观性"和可持续发展的宏观思路以及"有所为,有所不为"的原则,根据我国的具体现状,我     

宽禁带半导体关键设备技术及发展

宽禁带半导体设备技术是宽禁带半导体器件的支撑和重要基础。简要介绍了宽禁带半导体器件发展面临的设备问题,重点介绍了碳化硅晶体生长炉、碳化硅外延生长炉、碳化硅离子注入机和氮化镓MOCVD四种制约我国宽禁带半导体器件技术发展的关键设备,指出了宽禁带半导体设备技术的未来发展趋势。     

我国半导体设备发展现状及前景展望

本文扼要介绍了我国半导体设备发展现状，对“九五”期间的发展进行了预测。同时，通过对日本发展微电子技术和设备的分析，为发展我国半导体设备提出了建设性意见。     

美日韩的半导体设备竞争

美日半导体设备竞争由来已久，起始于７０年代，到８０年代末、９０年代初，又增加韩国的竞争。本文论述了美日韩间的半导体设备竞争，以及竞争的主要内容即投资竞争、市场竞争、厂商竞争和品种竞争等。