丝网印刷导电碳浆法制备埋置电阻——电阻层厚度控制的研究(1)

主要介绍了如何控制丝网印刷法制备的嵌入式电阻的厚度。文章重点讨论了压力、速度、以及固化温度和时间等四个因素,并利用优化试验设计法找出影响薄膜电阻层厚度的主要因素。通过实验了解各因素对薄膜电阻层厚度影响的主次关系:并确定各因素的最佳参数。     

多层印制电路板网印内埋电阻技术研究

利用网印导电碳浆的方法制作电阻,通过层压工艺实现电阻在多层印制电路板中的内埋.研究了导电碳浆的固化温度及固化时间与电阻值的关系,分析了导电碳浆固化程度及棕化后烘板对层压工艺可靠性的影响,测试了高温高湿与冷热冲击对内埋电阻阻值稳定性的影响.结果表明:导电碳浆固化条件选择固化温度170℃,固化时间4h,以及棕化后105℃烘...     

SPRITE探测器的电阻问题

ＳＰＲＩＴＥ探测器的电阻是一个重要的器件参数。研究了Ｈｇ１－ｘＣｄｘＴｅ材料组分和电阻率、芯片厚度和表面电导等因素对该电阻的影响，并就实验数据进行了比较结果表明：ＳＰＲＩＴＥ器件的室温电阻主要是受Ｈｇ１－ｘＣｄｘＴｅ材料组份和芯片厚度的影响。而其液氮温度电阻则主要是受芯片表面电导的影响。     

30 V UMOS中影响导通电阻平坦度的因素分析

功率MOSFET作为开关器件时,导通电阻的平坦度是衡量其性能的重要参数。研究影响导通电阻平坦度的因素,并对其进行优化,有助于改善器件的性能。低压UMOS中,沟道电阻是导通电阻的主要部分。文章以沟道电阻为分析对象,利用公式分析影响因素,通过Sentaurus TCAD仿真验证了导通电阻平坦度的变化趋势。通过改变P型基区离子注入剂量和栅氧层厚度进行仿真。仿真结果表明,通过减小栅氧层厚度和减少P型基区注入剂量,可获得较好的导通电阻平坦度。     

固化工艺参数对导电胶导电性的影响

用四点探针法的原理设计了一种测试导电胶电阻的新方法。研究了固化温度、时间及导电胶层厚度对导电胶固化后导电性的影响。结果表明:夹具经预热导电胶,在80~140℃固化较好;未预热时在110~150℃固化较好,但固化时间较长;随着导电胶层厚度增加,固化时间和固化后的最低电阻都有一定的增大;最佳的固化效果是固化到电阻变化很微小时停止固化。     

薄层电阻标样及Mapping在IC制造中的应用研究

提出对集成电路在线监控中使用相关薄层电阻标样的必要性和重要性。着重介绍了薄层电阻标样和 Mapping技术在验证仪器各档测量薄层电阻误差 ,对外延生长工艺监控 ,判断离子注入退火后薄层电阻均匀性差的原因 ,监视扩散炉内部温度与气流对扩散影响和监控溅射铝层厚度质量等应用。     

膜厚对不锈钢基厚膜电阻电性能的影响

为提高不锈钢基厚膜电阻浆料的重烧稳定性,采用丝网印刷、高温烧成等厚膜工艺制备了不锈钢基厚膜电阻,研究和分析了烧成膜厚度对方阻、电阻温度系数和重烧稳定性的影响规律和机理。结果表明,随着膜厚的增加,厚膜的方阻减小,电阻温度系数略有增大;当烧成Ag-Pd膜厚约为12μm时,厚膜电阻的重烧稳定性最佳,其方阻重烧变化率小于3%。     

组装工艺对ACF互连性能的影响

总结了异向导电胶膜(ACF)的组装工艺对ACF导电性能的影响.文献表明在ACF组装过程中,组装的温度、压头的压力和加热时间对ACF的固化程度有直接影响,进而影响到ACF互连的力学性能、电学性能和可靠性.合适的组装温度在180～200 ℃;不同的组装形式均有其最佳的组装压力;ACF胶的互连电阻在87%固化程度时最小;固化程度小于50%,出现短路的概率较大,达到25%;随着偏移程度的增加,ACF的互连电阻增加,导电粒子的形状对偏移产生的绝缘电阻影响更大.     

薄层电阻标样及Mapping在IC制造中的应用研究

提出对集成电路在线监控中使用相关薄层电阻标样的必要性和重要性。着重介绍了薄层电阻标样和Ｍａｐｐｉｎｇ技术在验证仪器各档测量薄层电阻误差，对外延生长工艺验控，判断离子注入退火后薄层电阻均匀性差的原因，监视扩散炉内部温度与气流对扩散影响和监控溅吕层厚度质量等应用。     

烧结温度对厚膜电阻的影响研究

以钌系R-2200厚膜电阻浆料作为研究对象,探讨了烧结温度、保温时间和升温速率工艺因素对其阻值及电阻温度系数(TCR)的影响。利用导电机理模型和液相烧结模型,说明了烧结工艺对钌系厚膜电阻性能的影响。实验数据与SEM表明:厚膜浆料烧结温度在875℃时,结构均匀且致密性好;烧结温度过低时,结构不稳定,功能相没有形成导电网络;而烧结温度过高时,RuO2晶粒异常长大,导电链断裂,势垒升高。