（110）晶向衬底提高pMOS性能

Intel和另一家顶级器件制造商正在研究使用（110）晶向的硅片衬底来提高pMOS的迁移率。在2008年的国际电子器件会议（IEDM）上,Intel的32nm器件经理PaulPackan表示：Intel在（110）晶向衬底上制造的45nm晶体管,得到了与预想一致的结果,pMOS驱动电流达到了1．2mA／pm,同时,nMOS驱动电流并未退化很多。     

局部化混合晶向应变硅CMOS结构及其制备方法

描述了混合晶向技术原理以及各种硅衬底晶向的反型层中载流子迁移率特性,分析了应变硅技术对载流子迁移率的增强机理,介绍了DSL这种应变硅技术的工艺实现方法。提出了将混合晶向技术和应变硅技术两者有机结合以提高载流子迁移率的局部化混合晶向应变硅基本思路,分析了基于该基本思路的局部化混合晶向应变硅CMOS结构及其电学性能。最后详细描述了局部化混合晶向应变硅CMOS结构工艺流程,为开发高性能、低功耗CMOS集成电路提供了一个科学合理的工艺制备方法。     

偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计

利用硅单晶的特殊结构可以设计出不同角度的闪耀光栅，再使用MEMS的紫外光刻、各向异性腐蚀等常规工艺就可以完成硅闪耀光栅的制作。设计了一种利用偏转晶向(111)硅片制作小角度闪耀光栅的方法，避免了利用其它晶向的硅片制作闪耀光栅的缺点。利用这种方法制作了线宽为4μm的硅闪耀光栅，使用原子力显微镜(AFM)进行了光栅表面形貌测试，得到平均表面粗糙度为110．94nm，试验结果表明制作的硅光栅样片具有良好光学特性的反射表面和光栅槽形。     

<100>沟道方向对高迁移率双轴应变硅p-MOSFET的作用

双轴应变技术被证实是一种能同时提高电子和空穴迁移率的颇有前景的方法;<100>沟道方向能有效地提升空穴迁移率.研究了在双轴应变和<100>沟道方向的共同作用下的空穴迁移率.双轴应变通过外延生长弛豫SiGe缓冲层来引入,其中,弛豫SiGe缓冲层作为外延底板,对淀积在其上的硅帽层形成拉伸应力.沟道方向的改变通过在版图上45°旋转器件来实现.这种旋转使得沟道方向在(001)表面硅片上从<110>晶向变成了<100>晶向.对比同是<110>沟道的应变硅pMOS和体硅pMOS,迁移率增益达到了130%;此外,在相同的应变硅pMOS中,沟道方向从<110>到(100)的改变使空穴迁移率最大值提升了30%.讨论和分析了这种双轴应变和沟道方向改变的共同作用下迁移率增强的机理.     

〈100〉沟道方向对高迁移率双轴应变硅p-MOSFET的作用

双轴应变技术被证实是一种能同时提高电子和空穴迁移率的颇有前景的方法;〈100〉沟道方向能有效地提升空穴迁移率. 研究了在双轴应变和〈100〉沟道方向的共同作用下的空穴迁移率. 双轴应变通过外延生长弛豫SiGe缓冲层来引入,其中,弛豫SiGe缓冲层作为外延底板,对淀积在其上的硅帽层形成拉伸应力. 沟道方向的改变通过在版图上45°旋转器件来实现,这种旋转使得沟道方向在(001)表面硅片上从〈110〉晶向变成了〈100〉晶向. 对比同是〈110〉沟道的应变硅pMOS和体硅pMOS,迁移率增益达到了130%;此外,在相同的应变硅pMOS中,沟道方向从〈110〉到〈100〉的改变使空穴迁移率最大值提升了30%. 讨论和分析了这种双轴应变和沟道方向改变的共同作用下迁移率增强的机理.     

交叉深沟槽硅外延的生长研究北大核心

随着先进半导体器件需求的不断提升,深沟槽硅外延已逐渐代替传统离子注入工艺成为器件开发的新方向,由于受晶向的影响,硅外延生长质量存在极大差异。通过<100>和<110>两种晶向硅片在交叉深沟槽中的外延生长,采用SEM和TEM分析了硅外延生长形貌和质量,运用TCAD模拟验证该结构下的外延生长机理,同时采用暗场扫描(DFI)和表面刻蚀方法检测硅片表面缺陷。结果表明硅晶向对交叉深沟槽外延的生长质量有重要影响,<100>硅片在交叉区域外延形成的{110}面和{111}面多,容易产生位错缺陷,而<110>硅片相比<100>硅片转向了45°,外延中形成的{110}面和{111}面减少了一半,从而外延质量改善明显。     

硅基不同晶面上的空穴迁移率研究

近年来,金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)的特征尺寸减小并进入纳米尺度,为了改善器件的短沟道效应,器件由原来的平面结构改为立体结构。而在立体结构器件中,沟道由不同于传统Si(100)晶面的Si晶面所组成。因此,为了了解不同Si晶面上器件反型层空穴迁移率的变化情况,在不同晶面Si衬底上分别制作了pMOSFET,并研究了器件的空穴迁移率。采用Split C-V方法测试了Si(100),(110),(111)和(112)晶面上器件的空穴迁移率。结果表明,Si(110)晶面上的空穴迁移率最大,Si(112)晶面上<111>沟道方向空穴迁移率比(110)晶面上空穴迁移率小,而略大于(100)和(111)晶面上的空穴迁移率,(100)晶面上的空穴迁移率最小。     

[110]/(001)单轴应力对硅价带结构及空穴有效质量的影响

采用K.P微扰法研究了当硅在[110]/(001)方向受一单轴应力作用时, 应力对硅价带结构及有效质量的影响。结果表明：硅在压应力作用下的价带分裂能要大于同样大小的张应力作用下的价带分裂能;在常见的几种晶向中,有效质量沿[110]晶向是最小的。从抑制带间散射,减小有效质量增强迁移率的角度考虑,沿应力方向的[110]晶向最适宜作为载流子的输运方向。所获得的结论可为单轴应变硅器件应力及导电沟道方向的选择设计提供理论参考。     

MOSFET迁移率增强技术

随着MOSFET特征尺寸的缩小,载流子的迁移率降低已成为器件性能衰退的主要因素之一,迁移率增强技术因此获得了广泛的研究和应用。衬底诱生应力、工艺诱生应力和采用不同的衬底晶向等三类方法都可以显著提高载流子的迁移率。文章综述了常见的几种迁移率增强技术。     

电子从不同晶向Si隧穿快速热氮化SiO2膜的电流增强及模型解释

用卤素钨灯作辐射热源快速热氮化（RTN）10nmSiO2膜,制备了＜100＞和＜111＞晶向Si衬底上的Si-SiOxNy－Al电容结构,研究了电子从＜100＞和＜111＞不同晶向N型硅积累层到RTN后SiO2膜（或原始SiO2膜）的漏电流和高场F－N隧穿电流。研究结果表明：经RTN SiO2膜化原始SiO2膜从低场到隧穿电场范围都明显地看到电导增强现象,比较RTN后两种不同晶向样品,低场漏电流没有多大的差别而在高场从＜100＞晶向比从＜111＞晶向Si隧穿SiOxNy膜的F－N电流却明显增加,借用一种基于横向晶格动量守恒的理论模型解释了这种现象。     

Theory of orientation textures due to surface energy anisotropies

The effect of surface free energy on the orientation of nuclei on a substrate is examined. In general, the orientation of the nuclei is not determined by minimizing the nucleus-substrate interfacial free energy alone: all interfacial anisotropies must be considered. That orientation preferences should result from anisotropies in the substrate-nucleus interfacial free energies is obvious, but we find that strong orientation effects are present even if this energy is assumed to be independent of the nucleus orientation, provided that the nutrient-nucleus interfacial free energies are anisotropic. Furthermore, varying the magnitude of even an isotropic nucleus-substrate energy will change the orientation of the nuclei. The theory points to some simple rules for prediction of nucleation orientations.     

基于随机机会约束模型的时差定位最优布站算法

针对无源定位站点部署研究存在的局限,从误差准则、截获准则和协同准则出发,建立了无源定位系统布站优化的随机机会约束模型。对三站定位问题进行了仿真,利用混合智能算法得到了不同情况下的最优布站策略。     

一种基于方向链的指纹分类算法

提出一种基于方向场分析的指纹分类方法.以poincare方法定位指纹中心点,以其为起点,在两个相反的方向上对指纹的纹理方向进行追踪,形成两条方向矢量链,简称为方向链.不同类别指纹具有不同形状的方向链,以方向链总角度差和分支角度差作为分类依据,实现指纹的分类.该方法对指纹的平移和旋转具有无关性,计算量小,易于实现.在NIST-4数据库的50幅图像上测试取得了96%的正确率,在FVC2000的DB1和DB2、FVC2002的DB1和DB2 4个库的800×4幅图像上测试分别取得了89.1%、92.8%、92.3%和89.8%的正确率.     

Automated standardization of images of Drosophila embryos

Modeling expression patterns of Drosophila, in space and time, plays a critical role to understand the development of multicellular organisms. In confocal microscopy, to produce precise quantitative data it is frequently necessary to process and analyze large amounts of digital images. Automatic preprocessing is a crucial step in this scenario, essential to standardize significant features such as orientation, size, position, direction, lighting condition and texture of embryo images. Even though a lot of efforts have been made, a robust embryo standardization strategy is still needed. In this paper, we propose the method Embrystandar. It is designed to remove background artifacts and standardize the direction and orientation of a Drosophila embryo through a sequence of automatic operations. To test its potential for large-scale image processing, Embrystandar was applied in different databases. It showed to be robust and precise, reaching more than 90% success rate.     

中文文本情感倾向性五元模型研究

目前,情感倾向性判断正成为文本信息服务技术研究的热点和难点之一,而＂中文文本情感倾向性观点＂表示模型是文本情感倾向性判断的基础。情感倾向性五元模型从情感倾向性观点的持有者、倾向性的来源、倾向性的指向、倾向性的立场和倾向性的种类五个方面刻画中文文本情感倾向性的概念,丰富了情感倾向性的表示方法,提高了文本情感倾向性判断的精度,并以此为基础给出了句子级文本情感倾向性判断的定义和过程。     

对象技术在参数化绘图程序开发中的应用

介绍新一代基于AutoCAD的二次开发工具ObjectARX,比较具体的说明其面向对象的程序设计方法,并给出应用实例。     

Words semantic orientation classification based on HowNet

Based on the text orientation classification, a new measurement approach to semantic orientation of words was proposed. According to the integrated and detailed definition of words in HowNet, seed sets including the words with intense orientations were built up. The orientation similarity between the seed words and the given word was then calculated using the sentiment weight priority to recognize the semantic orientation of common words. Finally, the words' semantic orientation and the context were combined to recognize the given words' orientation. The experiments show that the measurement approach achieves better results for common words' orientation classification and contributes particularly to the text orientation classification of large granularities.     

利用EBSD技术分析低应变量形变显微组织

电子背散射衍射(EBSD)技术能够定量分析晶体材料形变显微组织.本文比较了EBSD数据的不同处理方法在分析形变显微组织中的应用效果,讨论了用局部取向梯度和取向离均差研究形变组织的微观分析方法.尝试用Matlab软件对EBSD的原始数据进行处理,重构出单个晶粒的相对全Euler角图,能很好研究单个晶粒内的形变显微组织.     

晶体晶向的喇曼微探针测量方法

介绍了利用喇曼微探针测量晶体晶向的原理,对该方法作了详细描述;阐述了利用喇曼微探针测量晶体晶向较其他一些测量方法的优越性。     

CDMA移动台GPS接收机测试系统

本文阐述了CDMA移动台GPS接收机测试系统相对位置定位和绝对位置定位的精确度进行校准,能够完成移动台GPS接收机灵敏度的认定工作。