基于析取图的集束型设备建模与调度方法

针对处理腔带有缓冲且能处理不同种类晶圆产品的单臂集束型设备调度问题,提出了基于析取图模型的分枝搜索调度方法.首先将问题转换为单机调度问题,建立析取图模型,采用分枝的方法获得可行解空间.然后在此基础上,提出以最小完工时间的机械手最优动作序列为目标的分枝搜索算法.最后对调度算法进行了仿真实验分析.结果表明,该算法有效可行,同时说明了处理腔带输入、输出缓冲的集束型设备对于满足不同种类晶圆的生产、提高生产能力均具有较好的效果.     

带重入约束的双集束型晶圆制造设备调度算法

为了有效解决集束型晶圆制造设备群加工过程中存在的重入调度问题,构建了带重入约束的双集束型晶圆制造设备调度算法.首先分析了双集束型晶圆制造设备中重入约束特征.在此基础上,建立调度问题域,并以系统加工周期最小为目标,建立调度模型.采用分解策略,将双集束型晶圆制造设备调度问题分解成单个设备调度问题,并提出了一种全新的机械手调度顺序搜索的启发式算法.最后对调度算法进行仿真实验分析,结果表明该算法是有效的.     

基于事件驱动的集束型晶圆制造设备调度算法

为了有效利用集束型晶圆制造设备,并使其满足动态到达晶圆调度要求,在描述调度问题域及引入时间约束集概念的基础上建立了调度问题的数学模型,根据模型提出了一种基于事件驱动的调度算法,调度目标是使到达晶圆在最短时间内完成加工.对调度算法进行了仿真实验分析.结果表明,该算法有效且实用.     

考虑多晶圆流的集束型设备群调度方法

为有效解决集束型设备群多品种晶圆调度问题,构建考虑多晶圆流集束型设备群调度算法.统筹考虑多晶圆流、驻留和资源约束等特征,并以系统Makespan最小为目标,建立数学模型.集束型设备群调度分解为外层晶圆序列决策和内层机械手调度两个阶段,采用蚁群寻觅结合双向搜索策略,将蚁群算法融合到晶圆时间约束集搜索算法迭代过程中.在此基础上,提出了ASTC(ant systems and time constraints)调度算法.对该调度算法进行仿真实验分析,结果表明该算法的有效性.     

带驻留约束及双臂机械手的集束型设备群调度算法

根据集束型设备群的特点,对调度问题域进行描述,并提出了带驻留约束的双臂集束型设备群调度算法.该算法利用分解方法将集束型设备群分解为多个单集束型设备,并在此基础上提出一种基于机械手无冲突约束的搜索调度算法,调度目标是使到达晶圆在最短基本周期内完成加工.仿真实验分析结果表明,用所提出的算法进行集束型设备群的晶圆处理是有效的.     

含驻留约束和重入的双臂集束型设备调度方法

为了有效解决双臂集束型设备调度过程中的驻留约束和重入问题,采用虚拟化方法将双臂机械手转化为一个单臂机械手和一个虚拟缓冲模块,定义了晶圆投放策略,建立了调度问题的非线性规划模型.在此基础上,结合所建数学模型提出了一种基于搜索的启发式算法,并对其进行仿真分析.结果表明,所提出的算法是可行且有效的.     

带驻留约束的多机械手制造单元的调度算法

为了有效地解决多机械手制造单元适应带驻留约束的多品种调度问题,提出了基于瓶颈的推拉式算法.首先,进行了调度问题域的描述,以最小Makespan为目标,建立了数学模型.在此基础上,提出了一种以瓶颈工作站为界,通过逐级回溯和递推来优化机械手动作组合,同时降低产品在机器上的驻留时间的启发式调度算法;该算法结合时间缓冲概念,有效地解决了共享工作站的机械手冲突问题,防止了死锁现象的发生.最后,通过仿真实验对提出的基于瓶颈的推拉式算法进行验证并与拉式算法进行比较,结果表明,该算法能够有效地实现多品种、带驻留约束的多机械手制造单元的调度,且性能优于拉式算法.     

半导体制造中多组合设备的Petri网建模及死锁分析

在半导体晶圆加工中必须保证组合设备运行时不存在死锁,为此,建立了多组合设备的模型并研究了无死锁运行问题.首先介绍了多组合设备的结构特征,用面向资源Petri网对它的结构建模;然后,在模型中引入了着色令牌和受控变迁,能很好地描述多组合设备加工晶圆的过程.此模型结构紧凑简洁,能分析加工过程中的稳态、初始暂态和趋停暂态阶段;同时分析了初始暂态阶段如何过渡到稳态阶段.最后,分析了模型的活性等动态行为,提出了避免死锁的控制策略.结果表明如果应用控制策略,多组合设备系统能无死锁运行,有助于对多组合设备进行调度.     

基于分解多目标进化算法的光刻区调度方法

针对晶圆制造系统光刻区调度问题,考虑设备专用性约束、掩膜版数量约束及设备加工能力约束,以最小化总完工时间和光刻成本、最大化晶圆准时交付率和设备利用率为目标,提出了基于分解多目标进化算法的光刻区调度方法.针对非支配前沿点分布不均的问题,设计了基于聚类分析的参考点生成方法;综合考虑非支配解的分布均匀性、收敛性及计算资源的合...     

一种求解最大二等分问题的分散搜索算法

最大二等分问题是图论中的一个NP困难问题.本研究提出一种基于分散搜索框架的启发式算法求解最大二等分问题.该分散搜索算法采用Kernighan-Lin算法作为局部搜索算法,利用解的质量和解之间的距离构造参考集,通过两个可行解构造新的可行解.利用一些标准测试例子测试算法,实验结果与现存算法所得结果比较,表明该算法是有效的.     

半导体制造AMHS中悬挂式小车多因素调度方法

为提高半导体制造系统的整体性能,提出了一种考虑多因素的悬挂式小车（overhead hoist transporter,OHT）调度方法. 从工作站、晶圆批、搬运系统三方面分析了搬运距离、晶圆批优先级、工作站特性、OHT利用率、等待时间5个关键因素. 以成本最小作为调度目标,基于这5个因素构造了混合多因素调度模型,同时引用二分图匹配方法构建了调度模型的求解算法. 最后进行了仿真实验设计和分析,结果表明该方法是有效、可行的.      

基于系统随机变动的时间缓冲设置方法

为了最大化瓶颈工站的利用率,在获得较高系统产能（TH）的同时得到一个合理的制造周期（CT）,构建了一种确定半导体晶圆制造系统中瓶颈工站前合适的时间缓冲的启发式算法.首先,根据排队理论及系统随机变动特性,提出了G/G/m排队网络模型.其次,根据瓶颈工站多重入特性,对时间缓冲进行分解.在此基础上,提出了一种确定合适时间缓冲的启发式算法.最后,根据时间缓冲,提出投料策略,并对算法进行仿真实验.结果表明,所提出的算法是有效可行的.     

死锁检测与恢复的实现

7610机操作系统是一个多道程序管理系统,在它的工作过程中,可能由于对资源无限制的竞争,从而导致死锁现象,我们应用了图论的知识在该系统中实现了死锁的检测和系统的恢复,从而提高了系统的可靠性和使用效率。 本文介绍了7610机系统的死锁检测和恢复的理论根据、算法及其程序框图。     

基于谓词冲突图的死锁检测

在分布式多数据库环境下,局部站点数据库自治性使其只能对本地站点上事务进行并发控制而无法防止全局事务间的冲突和死锁发生,故采用谓词冲突检测技术来判断全局事务间的直接和间接冲突,为此,提出了多粒度的谓词冲突图构建方法,从而使并发控制粒度达到谓词级,分析了冲突的全局事务在谓词冲突图中形成死锁的各种情况并通过检测图中是否形成环来避免全局事务在执行中可能产生的死锁,不仅减小死锁冲突检测粒度,而且还提高了全局事务执行的并发度.     

基于定时限保护整定计算的实用断点计算方法

结合电力系统定时限保护整定计算的特点,提出了一种新的实用断点计算方法.定义了配合环网和死锁环网的概念,并通过预整定形成死锁环网;在所得死锁环网基础上,将依赖函数扩充分为主依赖函数和后备依赖函数,根据主/后备依赖函数中元素的特点判断死锁环网中是否存在特殊网络结构并进行相应的处理,同时动态地将主依赖函数或后备依赖函数为空的保护从待选断点保护中删除,以保证每一步的断点计算都是针对环网进行.算例表明:本方法能较好地满足国内电力系统定时限保护逐级配合整定计算的要求.     

一种基于并行技术的死锁检测算法

在介绍基于资源分配图的、传统的死锁检测算法基础上，提出一种新的基于并行技术的死锁检测算法，并用1个实例说明该算法的执行过程。新的死锁检测算法是基于矩阵表示方法，在最坏情况下，运行时间复杂度是O(min(m，n))，其中m和n分别是进程和资源的数量。新的死锁检测算法与传统的算法相比，执行时间大大减少，需要内存也比较小，系统能够很好地检测死锁的发生，并且释放占有资源。     

片上网络中基于拓扑排序的死锁检测与恢复方法

提出了一种将拓扑排序应用于片上网络的死锁检测与恢复的方法.利用片上网络线资源丰富的特点,使用专用线路采集并分析网络中各通道之间的依赖关系,快速确定处于死锁环路中的通道位置,并对死锁环路进行解锁.结果表明,所提出的方法简单有效,可以支持各种路由算法,与广泛应用的死锁避免策略相比,其网络资源的利用率和网络性能有所提高,并具有一定的容错能力.
     

基于优先级动态分配的分布式死锁探测方法

本文采用动态优先级分配策略,提出分布式事务死锁探测的有效方法。该方法所使用的优先级分配策略改进了传统的分配方法,它能更为准确地反映事务的运行特性,以较少的通讯开销来探测分布式死锁,且具有更短的死锁探测时延。