工程陶瓷精密研磨技术

研究外圆柱表面和平面的新型研磨方法，并分析加工效率和表面粗糙度的主要影响因素，当初削参数最佳时，表面粗糙度值大约为Ｒａ０．０１６－０．０２１μｍ。     

针阀体座面形位误差及表面粗糙度的精密测量

研制了针阀体座面（内圆锥面）形位误差及表面粗糙度的专用测量系统，该系统由直角弯头测杆，柱面全息衍射光栅位移传感器及所浮式精密回转工作台等构成，传感器的分辨率为０．００５μｍ；整个测量系统的精度用标准半球进行校验，测得圆度误差仅为０．１６３μｍ。     

光干涉法测量磨损量的研究

提出了一种高精度、非接触式测量磨损量的新方法——磨痕光测法。通过采集磨痕的光干涉图象，并用计算机进行图象处理，从而得到磨损量的大小。其水平分辨率达２．７μｍ，垂直分辨率达０．８３ｎｍ，可用于宽度小于５ｍｍ，深度梯度小于０．０８３，表面粗糙度小于０．１２５μｍ的磨痕测量。对客观性、精确性和方便性进行了分析。将该方法用于环块试验机试件磨痕的测量中，并以此为依据对滑动条件下有润滑磨损的粘—弹性模型的进行了验证。     

金刚石车削单晶锗平面表面粗糙度扇形分布…

建立了金刚石削单晶锗切削力的分布模型，研究了车削单晶锗平面时表面粗糙度呈现扇形区分布特征的成因机制，并进行实验验证，采用飞切方法加工单晶锗时，可以制得表面粗糙度Ｒａ值为０．００７～０．００９μｍ的匀质光滑表面。     

基于隧道效应的nm级三维轮廓仪的研究

介绍两种不同结构形式的基于电子隧道效应的ｎｍ级三维轮廓仪．其纵向分辨率可达００２ｎｍ，横向分辨率可达０２ｎｍ，扫描范围分别达到４０μｍ×４０μｍ和１４０μｍ×１４０μｍ．可直接对φ５０ｍｍ和φ１３０ｍｍ的大尺寸样品表面进行ｎｍ级的超微观形貌检测与分析．还给出了高定向石墨表现原子图像及一些超精密表面的超微观形貌测量的结果     

动态光散射实验研究

建立一套频谱仪线路的动态光散射实验系统，讨论建立过程中若干关键实验技术问题，该系统可用于测量微小粒子及大分子的尺寸，测量范围为０．０１￣２．００μｍ。     

超精加工分析用宽范围原子力显微镜的研究

介绍了一种用于超精加工分析用的宽范围原子力显微镜．其垂直方向和水平方向的分辨率可达ｎｍ级，测量范围可达１４０μｍ×１４０μｍ．采用了探头扫描方法和双扫描工作模式，扩大了这种测量方法的工程应用范围．给出了金刚石刀具钝圆半径与精密玻璃光栅和超精密抛光陶瓷的轮廓形貌的测量结果．     

2.1μm Co∶MgF_2脉冲激光器

报导了２１μｍＣｏ∶ＭｇＦ２激光器在室温下的实验结果,得到了０２７９Ｊ的２１μｍ激光,器件效率为１４５％测定了Ｃｏ浓度为３％（ｗｔ）的ＭｇＦ２晶体对１３４１４μｍ线的偏振吸收系数,测量结果表明,对该谱线π偏振和σ偏振的吸收系数分别为０８０４ｃｍ－１和０５１６ｃｍ－１．激光实验结果计算得到该晶体２１μｍ线的激光跃迁截面为２６１×１０－２１ｃｍ２．     

电容测微仪动态特性的改进及标定方法

目的 对一种高精度、高频响的电容测微仪系统进行改进。方法 以８阶Ｂｕｔｔｅｒｗｏｒｔｈ滤波器ＭＡＸ２９１为核心元件,设计了该系统的动态测量电路,提出了电容测微仪系统动态特性的测试与标定方法。结果与结论 改进后的电容测微仪在±１０μｍ的量程内非线性误差最大不超过０．８０％,重复性精度优于０．１５％,测量精度优于０．１０μｍ,频响范围达４．２ｋＨｚ。     

散斑法测量表面粗糙度R_q的研究

围绕光学测量表面粗糙度Ｒ＿ｑ的精度提高问题，应用Ｌｅｇｅｒ理论，侧重讨论了投射到测量表面的两束激光相干光束之间的夹角δｘ的变化对测量结果的影响，指出了一条提高测量精度和扩大测量范围的有效途径。