SSCNET在半导体及光电产业设备中的应用

0前言 一般讨论运动控制的文章都比较偏重于工具机的范畴，它牵涉到比较多的运动轨迹规划及控制理论，但由于近年来半导体产业及光电产业的蓬勃发展，生产设备的需求也日趋增加。传统的生产设备大多归类在工厂自动化（FA）的范围，大多使用PLC控制器来控制生产的流程，然而这些应用多半不符合现今要求高产能且高复杂度的半导体设备及光电产业设备，因为轴数的增加以及控制方式日益复杂化，设备所要求的动作不再是简单的开关控制或是过程控制，通常用到数据库、网络连结以及影像检测系统，而且每次的动作都是根据外在变量来规划，     

无线局域网中非法设备检测方案的设计与实现

无线局域网技术迅猛发展，但由于无线网络是基于无线的通信技术，非法设备问题成为网络管理中重要问题。描述了非法设备的危害和现有的非法设备的检测方法，提出了一种基于现有网络布局的经济的非法设备检测系统的设计方案，并对其实现方法进行了描述，最后通过实验证明了该方案的可行性。     

半导体制造刻蚀设备调度算法的研究

半导体生产线是目前世界上公认的最复杂的制造系统,刻蚀设备是半导体晶圆制造过程中最复杂的系统,刻蚀设备的调度算法是系统生产管理控制的核心功能。目前国内大多数的研究都是针对于fab级别的任务调度,而针对单独的刻蚀设备的优化算法的研究很少。在此,笔者提出了一种基于规则的实时晶圆调度算法,力求实现生产周期缩短、提高设备产能的目标。     

某型捷联航姿系统自动测试设备设计与实现

为了在地面准确地检测和测试某新型航姿系统各项性能是否满足飞行要求，介绍了一种航姿系统自动测试设备设计方法，该设备的核心是集成了422卡、429卡、D／A卡和A／D卡功能的工业控制计算机以及自动测试软件。提出了该设备的设计要求，从自动测试设备的硬件设计和软件设计等方面，分别给出了具体的实现方法。实验证明，该设备在工厂生产过程中能对航姿系统进行高速、高效的功能测试；装备部队以后，使得部队地勤维护人员能快速准确地检测出航姿系统故障信息，提高了部队快速机动以及装备维修保障能力。     

总线式电容型设备绝缘在线检测系统

变电站电容型高压设备繁多，分布分散，适合应用现场总线技术组建总线式的电容型设备绝缘在线检测系统。阐述了基于分压电容的信号采集原理，提出了多下位机同步采样控制方法。基于这些原理方法，开发了一套容型设备介损在线检测系统并应用于实际工程，实践验证了该方法和设计方案的可行性。     

无线局域网中非法设备检测方案的设计与实现

无线局域网技术迅猛发展,但由于无线网络是基于无线的通信技术,非法设备问题成为网络管理中重要问题。描述了非法设备的危害和现有的非法设备的检测方法,提出了一种基于现有网络布局的经济的非法设备检测系统的设计方案,并对其实现方法进行了描述,最后通过实验证明了该方案的可行性。     

多智能体协作方法及其应用研究

将复杂系统分解成由多个智能体构成的合作多智能体系统，建立了多智能体系统的决策模型，能动态实时地计算每一时刻智能体的决策局势，适应环境的动态变化．采用多智能体方法对半导体生产进行调度，提高了半导体生产线设备的利用率，缩短了单位工件的加工时间．     

基于四维一体的调度系统研究及在选矿厂的应用

结合我国流程工业中选矿生产行业的实际，针对选矿生产过程控制与管理的复杂性，采用在线生产调度及物料、生产成本、设备、产品质量的实时监控管理技术，实现生产与管理信息的有效集成．提出了基于知识库、数据库、模型库和人机协调的四维一体的动态生产调度系统，对数据、模型、知识进行集成，解决了复杂、动态大系统应用的有效性问题．该系统成功地应用于某选矿厂，提高了生产效率。     

基于系统调用的入侵检测系统设计与实现

介绍了一个基于系统调用的灵活加载的入侵检测系统。该系统改进了常用的数据采集方法，采用虚拟设备驱动来获取系统调用。这种数据采集方法对系统影响小，可以灵活装卸，并提供标准的接口。数据分析融合了异常检测和误用检测两种方法，提出了相应的检测模型，并引入了滤噪函数。     

工业设备微机状态维修管理

本文根据工业设备的故障特点，钭故障检测与容错技术相结合，提出利用故障信息对设备运行状态进行预测维修的管理方法，并对其具体实现问题进行了分析和讨论。     

A new strategy for defect inspection by the virtual inspection in semiconductor wafer fabrication

The defect of process equipments is a major factor that impairs the yields in the mass production of semiconductor wafer fabrication and it is a main supervision means to use high-resolution defect inspection tools to detect and monitor the defect damage. Due to the high investment costs of these inspection tools and the resulting decrease in the throughput, how to improve the sampling rate is an important issue for the associated inspection strategy. This paper proposes a new concept and implementation of virtual inspection (VI) to enhance the detection and monitoring of defect in semiconductor production process. The underlying theory of the VI concept is that the state variables identifications (SVIDs) of process equipments can reflect the process quality effectively and loyally. The approach of VI is to combine the application of the fault detection and classification (FDC), and the defect library and the re-engineering of inspection procedure to reach the full-scope of strategic objective. VI enables the defect monitoring to enter a new era by promoting the monitoring level of defect inspection from the previous lot-sampling basis to the wafer-sampling level, and hence upgrades the sampling strategy from random-sampling to full and right-sampling. In this study, various typical defect cases are utilized to illustrate how to create VI models and verify the reliability of the proposed approach. Furthermore, a feasible architecture of the VI implementation for mass production in semiconductor factory is presented in the paper.     

半导体生产后工序设备的自动化改造方案

针对国内半导体生产后工序设备中的焊机一人一机手动的现状,提出对手动焊机改造的方案,重点分析图像识别系统可以利用的两种方法,即硬件型图像处理系统和软件型图像处理系统,并结合实际情况选择采用后一种方法。同时具体设计了自动焊机的硬件系统和软件系统。该方案可以实现在原有设备基础上,用少量的资金,将原有的设备改造成自动设备,大大提高了人均生产率和产品的合格率。     

基于VC的直升机操纵台故障检测软件的开发

为了满足直升机机载设备的高可靠性要求,利用VC设计了机载设备的检测软件,对机载设备各功能模块进行检测,并将检测得到的数据保存到数据库中进行管理,最终提高了直升机操纵台设备工作的可靠性;通过采用MSComm控件实现检测软件和操纵台之间的串口通信,并介绍了如何通过ADO来实现VC下访问数据库的方法,实现检测数据的管理,同时介绍了通过使用NI公司提供的CWGraph控件将采集到的检测数据进行实时曲线显示的方法;最终将该软件和机载设备进行联调,联调的结果证明了该设计的有效性。     

一种基于仿真模式的生产调度管理方法

针对半导体制造行业，提出了一种仿真调度方法来辅助调度员进行生产作业计划的编制，系统的实用性占据首要地位。方法采用了人机交互策略，使得调度员能够实时地监控车间设备的生产情况，方便对各台设备进行任务分配，并能形象地仿真调度结果。     

自动金丝球引线键合机图像识别系统

自动金丝球焊机是半导体制造后端工序的关键设备之一,图像识别系统是其核心技术.通过直方图均衡、种值滤波实现图像的增强、去噪,采用MPSA算法减少计算量,同时结合计算机并行处理技术,利用MMX指令对图像处理部分进行代码优化.该图像识别系统已成功应用于手动金丝球焊机中,将其改造为自动金丝球焊机.     

车身焊装生产线上多台工业机器人应用技术的研究

本文讨论利用系统集成技术和计算机仿真技术的方法，根据用户提出的工艺要求和操作要求 进行工业机器人、焊接设备以及周边设备的选择，工业机器人焊接工位的设计与安装，自动 控制系统（PLC）的程序编制和机器人程序编制以及对若干关键技术的研究．     

The use of semantic networks to support concurrent engineering in semiconductor product development

The design of semiconductor devices is an extremely complex and costly process. Numerous design and test iterations are typically necessary to finally complete a successful device. Competition in the industry has forced semiconductor manufacturers to reduce design cycle times and costs. One method now being used to accomplish these objectives is concurrent engineering. This paper will review how concurrent engineering is being integrated into semiconductor device development and how artificial intelligence-based models will support concurrent engineering implementation. Major changes are needed in design simulation, methods of knowledge sharing, and incorporating best practices. A semantic network is proposed that retains the knowledge of a product in a central repository as various engineers contribute to the product's development. The knowledge contained in this central repository can be referenced for applicability by engineers during product design, development, and production.     

全自动上芯机的晶片检测系统

全自动上芯机是用于芯片生产后工序的关键设备之一,IC检测系统是其核心技术。晶片检测系统主要构件包括光源,CCD,图像采集卡等硬件设施,以及专用的芯片处理检测算法。文章详细介绍了基于图像处理的晶片专用检测系统的搭建,分析了图像检测要求,提出了相应的检测算法。系统地完成图像采集、图像预处理、芯片定位、芯片检测等多个功能。     

基于点检模型的煤矿生产设备管理信息平台的研究

文章简要说明了设备点检的作用及意义,介绍了基于点检模型的煤矿生产设备管理信息平台的体系结构,详细阐述了实现该平台所采用的主要技术及其各功能模块的设计。     

循环平稳特性检测频域设计及信噪比估计研究

针对现有的循环平稳特征检测时域设计法计算周期较长、系统比较复杂且实时性不高等不足,根据离散傅里叶变换的特性提出了一种循环平稳特征检测频域设计方法。此方法检测性能和时域设计方法相当,但却有效地降低了计算量,提高了系统的实时性,还能够节省存储单元。同时分别在能量检测和循环平稳特性检测中利用多次独立检测所得的方差与信噪比之间的近似线性关系,通过最小二乘法对所得数据进行分析,对未知信噪比进行了有效的估计,从而可以根据信噪比选择合适的信号检测方法。