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一种3~5μm的红外焦平面凝视热象仪已研制成功。它采用32×64元PtSi肖特基势垒红外CCD焦平面探测器,数字化视频处理器进行固定图形噪声消除和响应率非均匀校正,输出与电视兼容的实时红外热图。本文详细描述了样机的设计原理,分析了系统的主要性能指标。结果表明这种凝视热成象系统具有较好的性能,结构简单,可靠性高和成本低。 相似文献
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本文介绍了128×128热释电红外焦平面阵列的联调及成像实验系统。虚拟仪器技术的应用,为非制冷红外焦平面成像器件的研制和开发提供了一种成本低、方便灵活的实验验证手段和方法。实验获取了清楚的红外热像,为热释电红外焦平面阵列的进一步研制和改进奠定了良好基础。 相似文献
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本文描述在3~5μm光谱范围内工作的凝视红外成象系统用的单片128×128元锑化铟阵列。制作阵列只需4次光刻,与先前的设计相比,其响应率提高5倍,在同样大小晶片的产量可增加14个。这种较高的灵敏度表明能大大改进热成象。 相似文献
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高性能128×128元PtSi肖特基势垒红外焦平面列阵 总被引:3,自引:0,他引:3
设计并研制成功128×128元 PtSi 肖特基势垒红外 CCD(PtSi-SBIRCCD)焦平面列阵。介绍了该器件的工作原理。阐述了器件结构和设计思想,并就器件的性能参数进行了研究。 相似文献
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本文叙述了国内外PtSi凝视红外焦平面列阵(FPA)的研究发展状况。详细介绍了提高PtSi肖特基势垒探测器(SBD)灵敏度的研究工作。这些SBD工作温度约为80K,应用于中红外波段(3~5μm)。象素数达512×512,1024×1024的凝视列阵已见报道。PtSiSBDFPA能在300K实现热成象,其噪声等效温差(NEar)达到0.03K。文中还介绍了我国研制的128×128元,256×256元PtSi凝视红外焦平面,并讨论了凝视FPA的设计选择,最后对其特性进行了简要总结。 相似文献
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首次在国内报道了128×128面阵短波/中波(SW/MW)双色碲镉汞(HgCdTe)红外焦平面探测器(infrared focal plane arrays, IRFPAs)的研究成果.基于由采用分子束外延(MBE)和原位掺杂技术生长的ppPN型碲镉汞(Hg1-xCdxTe)多层异质结材料,通过B+注入、台面腐蚀、台面侧向钝化和爬坡金属化,以及双色探测芯片与读出电路(Readout Integrated Circuit,ROIC)混成互连等工艺,得到了128×128面阵双色焦平面探测器.通过湿化学腐蚀方法的优化,将光敏元尺寸为(50×50)μm2的双色微台面探测器的占空比提高了一倍.该面阵双色红外焦平面探测器具有较好的均匀性和正常的光电特性.在液氮温度下,二个波段的光电二极管截止波长λc分别为2.7μm和4.9μm,对应的峰值探测率D*λp分别为1.42×1011cmHz1/2/W和2.15×1011 cmHz1/2/W. 相似文献
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9μm Cutoff 128×128 AlGaAs/GaAs Quantum Well Infrared Photodetector Focal Plane Arrays 总被引:3,自引:0,他引:3
Li Xianjie Liu Yingbin Feng Zhen Guo Fan Zhao Yonglin Zhao Run Zhou Rui Lou Chen Zhang Shizu 《半导体学报》2006,27(8):1355-1359
报道了128×128 AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列的设计和制作. 采用金属有机化学气相淀积外延技术生长外延材料,并在GaAs集成电路工艺线上完成工艺制作. 为得到器件参数,设计制作了台面尺寸为300μm×300μm的大面积测试器件;77K下2V偏压时暗电流密度为1.5E-3A/cm2; 80K工作温度下,器件峰值响应波长为8.4μm,截止波长为9μm,黑体探测率DB为3.95E8 (cm·Hz1/2) /W. 将128×128元 AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列芯片与相关CMOS读出电路芯片倒装焊互连,在80K工作温度下实现了室温环境目标的红外热成像,盲元率小于1%. 相似文献
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第三讲目标信号谱及其应用(上)图1红外系统部件图除目前正在发展的焦平面凝视热象仪外,红外系统大多是光机扫描系统,一般有如图1所示部件,通常空间滤波器面与象面是重合的。这一讲要解决的问题是目标象斑经红外系统扫描后所产生的信号波形及其频谱的计算问题。1红... 相似文献
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噪声等效温差(NETD)测试方法分析 总被引:5,自引:2,他引:3
讨论了扫描热象仪及红外焦平面凝视热象仪NETD的计算公式,其中最关键的是噪声等效带宽的计算,作者建议,除了要标定噪声等效温差,还应标定噪声等发射率差及噪声等效反射率差。 相似文献
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第一代红外热象仪采用光机扫描结构,探测元件基本上是200元以下的线列。美国的组件是60元,120元,180元。这些组件已成功地应用在军事热象观察仪器中,这种系统采取并联扫描,提供8~12μm光谱范围内实时红外成象,组件通常冷却到77K,峰值探测率D_(λP)受限于入射背景光子通量的起伏,范围一般在2×10~(10)cmHz~(1/2)W~(-1)到8×10~(10)cmHz~(1/2)W~(-1)以内。此外这些组件亦用于AN/AAD—5机载红外侦察设备,红外幼畜(Maverick)导弹寻的器(使用16元HgCdTe)和串扫实时热象系统。第二代热象仪则是要实现所谓凝视成象。这种热象仪不要机械扫描结构,探测元件采用镶嵌焦面列阵,读出部分采用硅电荷偶合器件或硅MOS开关二极管列阵。英国人在线列元件和焦面列阵元件之间,还发展了一种过渡形式的红外元件——SPRITE。七十年代初期随CCD的问世,开始了红外—CCD焦面列阵的研究。而使用SPRITE。这种红外元件制造热象仪,以及用硅MOS开关二极管列阵作信号处理部分制造热象仪,则是于1981年才见到公开报道~[1,2]。下面就以近几年见到的报道,综述一下HgCdTe多元探测器的发展情况,并提出关于对策的意见。仅供参考。 相似文献
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洛克威尔国际公司导弹系统分部已研制成一个外场便携式红外成象器,能够以60Hz速率获得128×128和256×256图象。系统已成功地对各种地面目标和机载战术目标进行了演示。所用的凝视列阵是工作在4.4~4.85μm范围的中波红外碲镉汞混合器件。多路开关是采用硅,并且是一个CMOS FET转换FET器件,列阵封装在实验室用的杜瓦瓶内,在80K下工作,而相应噪声等效温差(NETD)为0.03K。列阵在室温和80K之间已进行了热循环40次以上。系统的光学部分是由一个f/数=2和通光孔径为20.32cm的透镜组成,对128×128瞬时视场为0.29mrad,而256×256瞬时视场为0.2mrad,成象器积分时间从最小1.626ms变到3.352ms。 相似文献
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文中讨论了红外成像寻的器用红外焦平面探测器的工作波段、阵列结构、规模、相对孔径等问题,提出双色凝视红外焦平面探测器设计的基本要求: (1)波长组合以相邻波段为宜;(2)双色FPA以叠层结构的凝视型为宜; ( 3)通过限制红外成像传感器的视场,将双色凝视FPA的规模控制在320 ×256以下为宜; (4)在探测元尺寸50μm ×50μm时,中波/长波双色凝视FPA的F数以1~2. 44为宜。 相似文献