关于低温泵抽氢问题的探讨

一、引言 众所周知,迄今国内外所使用的各种真空泵,对于不同的气体都存在着选择性抽气作用。也就是说,直到目前为止,还找不到一种能够对所有气体(包括蒸气)都有相同的抽气效果的泵。只是各种不同的真空泵对各种不同的气体。其抽气原理不同。就具有不同的选择性罢了。因此为了在一个真空系统中获得好的抽气效果和极限真空度。一般却采用几种不同原理的泵联合抽气。尽管如此,效果总还不是最佳,从各种金属真空系统中残余气体的分析得知。H_2气在残余气体分压中均占有相当大的比例。因此从极限压强的角度来说,H_2上极限压强的重要限制因素,特别是高真空和极高真空范围就更是如此     

WC—0.5型微型真空泵的研制

WC-0.5型微型真空泵是基于变容原理工作的往复式真空泵.本文介绍了该泵的工作原理和抽气特性.文中还给出了测试结果.     

分子泵真空系统与扩散泵真空系统

引言涡轮分子泵是一种利用高速旋转的涡轮叶片把动量传递给气体分子,使气体分子连续不断地从入口排出到出口的高真空泵。由涡轮叶片组件、电机、外壳和中频电源四部分组成。近十几年来,随着分子泵的生产技术(精密加工技术、动平衡调整技术、长寿命陶瓷轴承和磁悬浮轴承、固体中频电源)的发展,以及其应用技术的深入研究,大大提高了分子泵运行的可靠性,使之大规模走向工业生产应用领域。分子泵的应用领域遍及     

备用钛泵及电源自动投入装置

备用钛泵及电源自动投入装置是一台实用型装置,它用在原子核加速器中作为处于高电压高气压条件下的钛球真空泵供电的电源,能保证高真空系统不间断地可靠运行。众所周知,钛球真空泵是利用钛球加热到足够高温度使钛升华,钛膜沉积泵壁吸附气体分子以达到抽气目的。高温工作下的钛球有一定寿命,但是又不能随时打开加速器更换钛球,故必须设置备用。     

气体分析和分压强测量

在许多情况下,需要从真空的“量”和“质”两方面来评价真空环境。一般地讲,前者是指总压强测量,后者是指气体分析或分压强测量。在高和超高真空范围的抽气过程中,气体组分往往在变化。引起真空系统内部气氛变化的因素很多,例如系统原来充入的气体成分,真空泵抽气的选择性,各种材料的电极和容器壁的吸、放气影响,气体在各种表面上产生的物理和化学反应等等。当用某些真空规(其指示值与气体种类有关)测量总压强时,如果不清楚气体的组成,则所测的结果(等效氮压强)与真实压强可能有较大差别。在一些研究领域,工艺过程和器件内部,仅知道总压强是不够的,而了解气体组成及其分压强将更有实际意义。     

钛泵——新型的真空获得工具

没有油的真空泵在高真空获得方面,过去经常使用扩散泵.扩散泵的优点是:工作效率高、没有转动部分、不需要特殊的电源和控制台、使用简便可靠,而且价格比较低廉.但是它也有一些明显的缺点.首先是在超高真空范围内抽气速率跌落得十分显著,甚至完全不能工作;其次是扩散泵内工作液体的蒸汽将逆流入真空容器而使严重沾污.这两个缺点虽然在近年来已经用油挡板、串联冷阱(或者金属片阱和氧化铝阱)、可烘烤接头及无脂阀门等方法逐步加以克服,但在操作上无疑还有很多不方便之处.第三个缺点则是扩散泵体积虽然相对于抽气速率来说不能算大,但毕竟不容易移动.特别在电子管工业方面,它不能和电子器件组成一个封闭系统进行连续抽气.由于以上的缺点,就迫使人们对新的获得真空(特别是超高真空)的方法进行探索,结果就出现了“钛泵”.     

蒸发式玻璃钛泵在小型磁控管上的应用

小型蒸发式玻璃钛泵(以下简称小钛泵)是一种最简单的、极限真空度比较高的、而又无油蒸汽污染的真空泵。它适合于作为某些电真空器件的辅助抽气手段,或者用于完成某些小型电真空器件的部分排气过程。几年来,我们在研制生产信标磁控管、电压调谐磁控管等工作中,利用小钛泵的这些优点,作为在这些管子排气过程中的一种抽气手段,收到了较大的     

节能低污染的抽气方法

真空技术已在科学研究和制造工艺等方面占有重要作用,各类真空泵及系统是获得良好真空环境的设备。在不同情况下,对真空获得设备都提出抽速、极限真空、污染及耗能等指标的不同要求。当前,我国能源供给紧张的情况,使我们对减少真空系统的能耗和降低污染产生兴趣。为此,我们对目前使用面最广,节能潜力较大的扩散泵抽气系统进行了节能低污染抽气方法的实验研究,尽管该技术在很早以前就曾得到使用。但由于需要对系统增添诸如     

供激光器用的真空泵

在小型激光器系统中，是用油封机械泵给循环的工作气体连续抽气，使其在冷却和纯化之后回到激光器。对于较大的激光器，是用罗茨泵来维持总气流，但油封机械泵仍然需要，用以提供预备真空并连续抽掉辅助气体流，以便除去不要的气体分子，使纯化后的气体以任意必要的组分返回激光器。     

BS350扫描电镜的真空系统及其维护

BS350超高真空扫描电镜的真空系统属无油真空,具有清洁,安全,可靠、抽速高,无噪音及操作方便等优点。图1为这套真空系统的结构图。预真空室的真空是通过低温吸附泵获得的;枪室和样品室的真空是通过静电离子泵和磁离子泵二级抽气达到的。第一级吸附泵利用分子筛的低温吸附作用进行抽气,使预真空室的真空达到10~(-10)pa。每次使用以前都要对它进行烘烤,在300℃～350℃温度下保持3～4小时的驱除吸附的水汽,得以再生。但多次使用以后,分子筛的吸附作用有所降低,再生不理想时就必须更换泵中的分子筛。第二级静电离子泵的稳流电源提供0～60mA的可调电流加热灯丝使其发射出具有一定切向动量的电子注入电子运动轨道。电子受阳极     

螺杆式干泵SCREWLINE系列

SREWLINE系列螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用设计的干式泵，用于太阳能光伏产业、大面积镀膜、工业炉等工业领域，用于解决苛刻的真空问题，如粉尘、焦油等。SCREWLINE系列有SP250及SP630两种规格，设计抽速为250～630m。／h，极限真空度可达到0．01mbar。SCREWLINE是无油真空泵，由于真空腔内没有油润滑，因此粉尘不会存留在泵腔内，而是随着气体从排气口排出泵外，无需处理废油，非常环保。     

激光器

0007436原子能院自由电子激光器真空系统[刊]/陈文奎//真空科学与技术学报.—1999,19(增刊).—4～7(C)介绍中国原子能科学研究院自由电子激光器真空系统。激光器由 L 波段行波电子直线加速器、束流输运系统和包含1.5m 摇摆器的光学谐振腔组成,10台钛溅射离子泵分布在各段以获得并保持超高真空。     

TECNAI 10透射电镜真空系统的故障分析和检修

本文讨论了ＴＥＣＮＡＩ 10透射电镜真空系统的结构和工作程序 ,对所发生的故障进行了分析。ＴＥＣＮＡＩ 10透射电镜的真空系统采用了前置真空泵 (Ｐｒｅｖａｃｕｕｍｐｕｍｐ简称ＰＶＰ)、油扩散泵 (Ｏｉｌｄｉｆｆｕｓｉｏｎｐｕｍｐ简称ＯＤＰ)和离子泵 (Ｉｏｎｇｅｔｔｅｒｐｕｍｐ简称ＩＧＰ)三级真空。电子光学系统从下到上被分隔为储气桶 (Ｂｕｆｆｅｒｔａｎｋ)、照相室 (Ｃａｍｅｒａ ,包括投影镜和观察室 )和电子枪 镜筒 (Ｇｕｎ Ｃｏｌ)几个主要部分 ,相互间由阀门隔离 ;分别由Ｐｉｒ1、Ｐｅｎ3和ＩＧＰ1对其进行真空监测。照…     

分子束外延实验装置中的前级抽气系统

本文介绍一种用于分子束外延实验装置中取代吸附泵的前级抽气系统。该系统由机械泵、扩散泵及分子筛吸附阱组合而成。文中讨论了设计、组装这种系统的背景及有关技术细节,并根据用四极质谱仪得到的资料及分子束外延实验装置的运行情况对该前级抽气系统作出了初步评价,为用有油机组作前级抽气系统以便获得基本无油的超高真空环境提供了有益的经验。     

CD-J50型超高真空阀门

前言随着电子工业的迅速发展,对清洁超高真空等基础工艺提出了新的更高的要求。自一九七三年以来,我厂研制了一些长寿命、高可靠、低噪声的电子管。因而逐步对原有的油扩散泵抽气系统进行了技术改造。用冷阴极钛溅射离子泵和钛球升华离子泵抽气系统更换了油扩散泵抽气系统。经过几年来的生产实践和不断改进,已能适应和满足生产的工艺要求,收     

气动激光窗口真空密封原理及其分子互扩散方程

本文阐述了节流抽气式气动激光窗口(TEALW)的真空密封原理,推导出了分子互扩散方程。依据此方程对CO_2激光器工作气体He、N_2、CO_2、O_2的互扩散速率进行了计算,所得曲线与实验数据能很好地吻合。     

试谈低温泵的应用

借助于低温抽气技术以获得真空的方法,从1908年低温技术开始发展起,就为人们所熟知。实际上,早在一百多年前的1874年人们就已利用木炭作为吸附剂来吸附气体获得真空,二十年后此法已被用来获得真空以保持液氢杜瓦并的真空绝热。扩散泵发明之后,为了阻止水银和泵油这些工作液蒸     

现代低温泵的设计计算及工艺要求

制冷机低温泵,又称现代低温泵,它是利用低温表面对气体分子的低温冷凝、低温吸附和低温捕集等物理现象,来获得并保持高真空和超高真空的装置.随着小型制冷机的日臻完善,制冷机低温泵得到迅速发展,在近代科学技术领域获得越来越广泛的应用.本文根据低温抽气的基本原理,从真空和低温技术两个方面要求来选择低温泵的结构,和计算泵口直径.依据泵的抽速和极限真空两个主要参量,设计泵的一、二级冷阵结构和选择温度,据此计算出一、二级冷阵的热负载.根据以上计算结果选用合适的制冷机,文中还对低温泵的启动时间及再生时间进行了计算.     

日达到10~(10)帕斯卡的极高真空

最近,日本通产省工业技术院电子技术综合研究所宣称,该研究所在极高真空范围内,已成功地达到101~(-10)帕斯卡(101~(-12)托)以下的压力。据说,现在要获得极高真空范围的真空是非常困难的。在技术上,要把从真空室内壁上放出的全部气体排出,决定于真空泵的排气能力。这次极高真空的实现是专心对待日本科学技     

无油真空泵

在核聚变或巨大加速器中,真空技术非常重要。最近,日本原子能研究所和三菱重工业共同研制成一种称为“梦幻真空泵”的无油真空泵。这种真空泵是能够获得高真空的“陶瓷涡轮真空泵”。该真空泵的内部无任何油或润滑油,但能达到每分钟280升的抽气速率,达到10~(-5)托以