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现场试验时,由于弹体的初始偏航以及侵彻靶体面的倾斜,使得破坏过程和侵彻深度等参数与垂直侵彻有很大的区别。为了测试斜侵彻过程的参数,抗高冲击单轴加速度传感器已经不能满足测试要求。本文基于CPLD器件XCR3064为核心处理芯片;结#ADC、铁电存储控制器、电源管理模块,设计了三维加速度测试系统,不仅可以记录弹体发射、飞行时的加速度,还可测得着靶侵彻过程中各个轴向的加速度值。实测到的减加速度,为分析侵彻速度、侵深和数值模拟提供可靠,有价值的数据。 相似文献
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《微纳电子技术》2019,(10):822-827
设计了一种基于绝缘衬底上硅(SOI)片的面内振动压阻式加速度传感器,并针对其交叉灵敏度性能进行了研究,分析得出传感器的灵敏度与压阻微梁的轴向应力呈正比关系,并通过仿真说明该结构形式的加速度传感器具有非常低的交叉灵敏度,对检测方向的输出干扰非常小。进行了工艺加工和实验测试,实验结果表明,该面内振动的压阻式加速度传感器在20℃下,工作方向上的灵敏度为0.67 mV/g,而另外两个非工作方向(x轴和z轴)上的交叉灵敏度分别为7.3×10-4%和6.6×10-4%,对工作方向的加速度检测影响非常小,此结构的设计方法对于高性能的加速度传感器的研究具有重要的参考意义。 相似文献
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讨论了硅的压阻效应 ,利用简化的力学模型设计了高 g值压阻加速度传感器的结构参数、工艺流程和版图 ,并制备出样品 ,测试结果表明本传感器加速度可大于 80 0 0 g。 相似文献
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介绍了一种压阻式高灵敏加速度传感器微弱信号提取电路。该信号提取电路采用两级信号放大设计,两级之间设计有二阶巴特沃兹低通滤波器。本设计电路通过电路仿真软件进行仿真和外接加速度计测试。测试结果表明,该微弱信号检测提取电路可以很好地对高灵敏MEMS加速度计输出的信号进行放大,具体表现为可将传感器输出信号从毫伏级放大到伏级。采用这种电路设计的MEMS高灵敏加速度计输出信号具有良好的低频特性,可以满足高灵敏传感器宽频带测试的需要。 相似文献