密封性检测方法的研讨

提出了空气换气时间常数τ、氦气换气时间常数τ He;给出了空气等效标准漏 率 L、测量漏率 R1与τ、τ He的关系式;对示踪气体氦细检的固定方法、“灵活”方法进行了 计算分析,并分析了检测中大漏产品的细检误接收、质谱仪检测本底、多次细检等问题;肯 定了附加密封剂的使用;提出了修改有关密封性指标和试验方法标准的建议。     

去除吸附氦试验及相关标准分析

介绍了两种典型的密封样品的去除吸附氦试验,吸附氦漏率的测试是在Inticon公司Pemicka700H型积累氮质谱粗漏细漏组合检漏仪上进行的。给出了试验数据、拟合模式和结果,进而分析了最新的美国军用标准MIL-STD-750—1／883J氯质谱检漏方法在降低被检件吸附氦漏率方面的不可检测性．并综合分析了这两项标准的其他问题,提出了全面改进的方案。     

密封性检测方法的研讨

提出了空气换气时间常数τ、氦气换气时间常数τＨｅ;给出了空气等效标准漏率Ｌ、测量漏率Ｒ１、与τ、τＨｅ的关系式;对示踪气体氦细检的固定方法、“灵活”方法进行了计算分析,并分析了检测中大漏产品的细检误接收、质谱仪检测本底、多次细检等问题;了附加密封剂的使用;提出了修改有关密封性指标和试验方法标准的建议。     

多次压氦法和预充氦压氦法质谱细检漏方法研究

密封电子元器件在长时间存放后,会存在无法检测的现象.当超过密封件细漏检测的最长候检时间时,应再次压氦,然后进行细检漏.按现行的各种规范的规定,压氦法和预充氦法再压氦的条件、程序和判据一般均与首次压氦相同,但分析表明,这样可能会使测量漏率判据出现成倍或更大的偏差,有时会出现大漏的漏检和细漏的错判.推演出多次压氦法和预充氦压氦法的测量漏率判据公式,给出了相应的压氦条件和细检漏的最长候检时间,从而更为便捷准确地解决了长候检时间下的密封性检测问题.     

平行缝焊微电子器件的光学检漏

光学检漏为非接触式封装漏率测量方法,且单次测试可同时完成粗检及细检,是一种快速的封装检漏技术。对光学检漏与氦质谱检漏的漏率计算公式进行了详细分析和对比。设计了多组实验探究如工装翘曲度、封装内空腔体积等因素对光学检漏检测结果的影响,分析了光学检漏的“充压”问题并给出解决方案,对比了光学检漏与氦质谱检漏的检测漏率。分析了光学检漏技术的优缺点,并通过实验验证了光学检漏的可行性及可靠性,为微电子器件的光学检漏应用提供参考。     

物理形变法——提高检漏效率的一种途径

1 概述 气密性检测是气密封装IC可靠性试验中必不可少的一个重要环节。目前通常采用细检、粗检相结合的方法进行检漏,即先用氦质谱细检,合格品再作氟碳化合物粗检。众所周知,细检的每一次循环不能检测太多的器件,譬如,某次检测(假设有n只器件)中发现有漏率超标,如果无法预知漏气比例,需逐一检测,这样总的检测次数就是n+1,甚至比一开始就逐个检测还要多出一次循环,显然效率不高。本文提出一种物理形变法,适用于较大尺寸平行缝焊IC器件的检测,可减少或避免检测过程中漏气器件的重复检测次数,从而提高检漏效率。     

氦质检漏系统的改进

对氦质检漏系统的探测部分进行改进,可使其检漏灵敏度提高数十倍。数个检出漏率在1×10~(-15)atmccHe/s的超灵敏检漏系统已作为常规检漏装置,较好地应用于对红外或像传感器的杜瓦瓶的质量控制以及对测试样件在超高真空(UHV)工作性能的分析。而对氦质检漏系统的其它部分进行改进,就可以实现对元器件粗漏和微漏的一次性检测,大至0.25cc容积器件上0.015in直径的漏洞,小到1×10~(-12)atmccHe/s的漏率,因而可减少检测元器件密闭性能的费用。本文介绍了其设计原理、工作模式、标定方法及测试结果。     

粗检漏试验标准问题的研究及建议

有些外形较小或内腔腔体体积较小并且检漏合格的电子产品,进行水汽含量测定时有时会出现样品水汽含量超标现象。为证明现行国家标准中粗检漏试验方法(高温氟油加压检漏法)会对产品出现误判的问题,通过一系列试验和研究,证明了外形较小或内腔腔体体积较小存在漏孔的电子产品,严格按照现行的粗检漏试验方法中规定的样品在空气中干燥有效时间(2±1)min内进行试验,试验得到了多种结果,进而对产品形成误判,为此对标准中的该试验方法提出了一些新的建议。     

一种实用的PECVD腔体检漏工具设计方法

在TFT-LCD行业,PECVD设备主要用于Array TFT基板工艺中的气相沉积;产生的非金属膜层,为金属电路提供保护、开关作用;在PECVD工艺制程中,腔体设计复杂,反应条件苛刻,产生的制程物会造成产品不良,故需要定期进行PM(pre maintenance预防性维护)。本文以PECVD PM作业为背景,针对设备PM耗时长的问题,制定了改善方法,并着重介绍了腔体检漏工具的设计过程。设计制作了一台国产化检漏工具,成功运用于量产。通过测试,检漏工具3min内达到10mT(1mT=0.133Pa),漏率为0.45mT/min,基本符合设备Spec.(标准)要求。     

关于吸附性器件检漏问题的探讨

当我们按一般充压法程序,用质谱仪测量器件的漏率时,由于管壳材料的表面或内部缺陷俘获或窝藏的氦气进入探漏仪的分析室中,使得输出表给出的器件指示漏率R不可靠(误差有时可达几个数量级)。其结果,常使我们误将某些密封性良好的器件判为不合格而错误地加以淘汰。对于管壳具有较大缺陷的器件,(如绝缘子内部的非贯穿性气泡或裂纹等(参看图1)即使能侥幸通过细检这一程序,但当用“气泡     

最新密封检测手段——氦质谱检漏技术简介

随着科学技术不断进步 ,许多有密封要求的工业产品其密封性能指标要求越来越高。原有的密封检测手段已不能满足要求 ,需要寻找更精密的检漏方法 ,另外 ,过去一些传统的检漏方法只能在一定的检测范围内 ,检测被检件漏还是不漏。而现在产品检漏的概念是任何产品都会有漏 ,也允许有漏 ,根据其使用条件 ,工作寿命不一样 ,对不同产品有不同的漏量指标要求。比如 :对自行内胎、电冰箱机组 ,显然其漏量指标不会一样 ,因为自行车打足气能行驶十天半月就可。而对电冰箱则不然 ,我们要求它寿命为十五年 ,假如它的漏量要求与自行车内胎一样 ,那末 ,水箱…     

海洋平台多级过滤式地漏的发明与应用

海洋平台原地漏口没有本发明的多级地漏滤网,很容易堵塞,不能满足降雨量大和清洗甲板时的甲板水流入,造成甲板积水,如拿开地漏盖板则容易造成开排环网堵塞,许多平台在投产几年后就存在开排环网堵塞的情况,只能采取更换开排管线的手段来暂时解决,耗费大量的人力、物力同时,还无法杜绝堵塞情况的发生。本发明的有益效果:由于采用多级过滤的结构形式,并增设了集沙槽,格栅板为一级过滤,对尺寸大的物品起到过滤和阻挡的作用,另外,格栅板有一定的强度,人可以踩上去,完全能承受人体的重量;粗滤网为二级过滤,经粗滤网海水中的细沙进入圆形集沙槽中,较大的垃圾被阻隔,细滤网为三级过滤,再经细滤网过滤后,细沙被阻隔,故多级过滤式地漏不仅能接收大排量的甲板水流入地漏,而且还能接收随甲板水流入的垃圾,非常适合在海洋平台上使用;由于粗滤网上设有杆状提手,从而方便了将粗滤网提起进行垃圾清理。     

二极管峰值保持电路的分析

正 一 当被测量的物理量正比于某一非周期三角形脉冲的峰值时,为了读取被测量值,通常采用二极管峰值保持电路。非周期的三角形电压脉冲,记为u1(t),如图1所示。Um是脉冲的幅值,t1和t2分别是脉冲的前沿和后沿宽度,1和2是脉冲前沿和后沿的斜率,那么 1=Um/t1,2=Um/t2。 常用的二极管峰值保持电路,如图2所示,图中BG1是射极跟随器,D是开关二极管,C是存储电容器,BG2是源极跟随器。为了便于分析,用R0表示前级的输出阻抗     

知识介绍

微波加热物体能量关系式的推导利用微波能对介质进行加热已得到广泛的应用。这里就人们常用的能量关系式作一推导,以帮助人们正确的应用它。对于非完纯介质中可能存在的损耗用其导磁率和介质常数来表示: μ=μ′-iμ″,(1) ε=ε′-iε″,(2)一般介质情况下可以忽略μ″。假若介质中还存在欧姆损耗,则损耗电流密度为 =σ (3)σ是介质的电导率。时谐场的平面电磁波可写作 = e~(((iω)-r()) (4)其中_0和_0是起始时电场幅值,γ是传播常数γ=(iωμ(σ iωε))~(1/2) (5)令γ=α iβ,并考虑(1)、(2)及(3)可得α=ω((μe′)~(1/2))/2 ((1 ((σ (ωε)″)/(ωe)′)~2-1)~(1/2))~(1/2) (6) β=ω((μe′)~(1/2))/2 ((1 ((σ (ωε)″)/(ωe)′)~2 1)~(1/2))~(1/2) (7)α,β值可用来确定有损耗介绍中电磁波的渗透和衰减。另外,波印亭能流密度矢量为 =× (8)对于通过封闭面S的总能流为∮_s··ds (9)式中是表面的单位法矢量。利用奥高定理∮_s·ds=∫_F▽·dV及▽·(×)=·▽×-▽×,并考虑▽×=-()/(t),▽×=J ()/(t),=μ及=ε则可以推得     

数字信号调频无线收发电路

本文介绍的调频无线数据收发电路,具有廉价、易制等特点,可供电子爱好者制作无线遥控产品、报警器时作为参考。1.发射电路调频发射电路如图1所示。UM3758-108A具有编码(IC1)和译码(IC2)双重功能,T/R=1时作编码器,T/R=0时作译码器。A1-A10为三态编码地址位,由S1~S10(或S19-S28)选择1、0"开路",只有编、译码地址完全相同时才能进行译码,一般地址不需经常变动时,可用跳线取代地址编码开关。D1~D8是8位并行数据输入(编码时)、输出(译码时)端,S11~S18断开时被内部电阻上拉为1,闭合时被置0。工作时钟频率fosc=1/0.5R1·C1(或1/0.5R10·C21),这里取fosc=160kHz。编码数据流由TX/RX端串行输出,发送编码脉冲频率为fosc/16,发送编码     

激光雷达的二元接收方法研究

成像激光雷达系统一般采用单元探测器,每次只探测一个像素.扫描光学系统(扫描器)将发射脉冲指向目标,回波强度反映目标的反射率特性.扫描器按照一定的扫描图样将光束指向目标上的不同位置,这样,就可以通过接收系统得到目标的强度图像和距离图像. 经理论分析可以得出目标的距离R与成像的像元素m和帧频数n的关系为:2Rmn=c(1) 式中c为光速.可见像元素、帧频数与成像距离三者的乘积为常数.当成像距离一定时,成像激光雷达存在着高成像速率和高分辨率(高像素数)的矛盾,即不可能使成像分辨率达到很高的同时,还使成像速率也达到很高.如果像元素与帧频数一定,则非模糊的最大距离间隔受到限制. 为了解决像元素、帧频数与成像距离的矛盾,我们把脉冲激光分为偏振方向垂直的两束光,以一定的夹角同时发射,打到目标的不同位置.回波信号采用偏振分束片分束,由两支探测器分别接收不同偏振方向的回波信号,我们称之为二元接收,则(1)式变为:Rmn=c(2) 可见当成像距离一定时,像元素与帧频数的乘积可提高一倍;而当像元素与帧频数的乘积一定时,非模糊的成像距离则提高一倍.因此采用二元接收方式可以提高成像激光雷达的性能.(PG5)     

电桥式电子锁

本文介绍一种电桥式电子锁,该锁以一只立体声插头作为钥匙,插座作为锁孔。只有当内接特定阻值电阻的插头插入插座时,锁才能打开。工作原理:该电子锁电路如图1所示。当插头CT插入插座CZ时,电路便如图中虚线连接:即电源接通,同时电阻RX被接入电源正端和RP之间。R1、R2和RP、RX组成直流电桥。当RX为设定值时,即RX/RP=R1/R2时,电桥处于平衡状态,a、b点间无电位差,光电耦合器IC1、IC2均截止,V1截止,V2饱和导通,继电器J吸合,其常闭触点J一1a断开,报警电路不工作,同时其常开触点J～1b闭合,锁电磁铁DT得电吸合,锁被打开。若RX偏离设定值,或锁孔被乱捅使电源接通,则a、b点间产生电位差,4N25(IC1、IC2)中必有一只发光二极管导通发光,对应的光敏三极管导通,V1因基极正偏而     

避雷针对卫星接收天线保护范围计算

卫星接收天线是全金属结构 ,由于专业卫星接收天线的口径较大 ,特别是在受地面空间制约而把接收天线安装在楼顶的情况下 ,就更容易遭受雷击 ,造成停播及经济损失。在天线安装处适当位置加装避雷针 ,单独配置避雷地线 ,就可避免直击雷对卫星接收天线的雷击 ,确保安全播出。避雷针的安装位置、高度及保护范围可通过下列计算得知 ,如图 1所示。避雷针在地面上的保护半径ｒ=1.5ｈ(ｍ) ,ｈ为避雷针高度 (ｍ)。设被保护物卫星天线高度为ｈｂ,则水平面上的保护半径按下式计算 :图 1　单支避雷针的保护范围当ｈｂ≥ ｈ2 或ｈｂｈ≥ 0 .5时ｒｂ =(ｈ …     

跟踪选频式红外自动开关

11 反射式红外自动开关电路介绍 选频式红外遥控电路在工业控制、家用电器和防盗报警等场合中使用非常广泛,通常选频式红外遥控电路尽管多种多样,但原理相差不多,见图1。由于振荡电路和选频电路之间没有反馈,当振荡电路或者选频网络的频率发生偏移时,遥控电路的灵敏度会急剧下降甚至无法正常工作,故可靠性较差。 由LM567构成的频率自动跟踪式红外遥控电路则可以克服这一缺陷,因而可靠性极高,且与前者 成本相当。 LM567(NE567,NJM567)是一种TTL集成音频锁相环电路,主要由相位比较器、压控振荡器、正交相位检波器、逻辑输出放大器等几部分构成。它能构成频率解调、频率调制、低频振荡、和频率选择等多种功能电路,运用相当广泛。 LM567第⑤脚和⑥脚外接定时电阻和电容决定锁相环内部压控振荡器的中心频率,其频率为:f0=1/(1.1RC),振荡器产生的方波信号由⑤脚输出。③脚为信号输入端,要求输入信号的幅度大于25 mV,最佳值为200 mV左右。 当输入信号的频率落在LM567内部压控振荡器中心频率f0附近时,逻辑输出端⑧脚输出低电平。如果没有信号输入或输入信号频率不在f0附近,则⑧脚输出高电平。由于⑧脚为集电极开路输出,故实际应用时,其⑧脚应接一上接电阻至电源正极VDD。 LM567主要参数如下:电源电压4.75～9 V,静态工作电流8 mA,最高工作频率500 kHz,⑧脚最大吸收电流100 mA。 2 工作过程 如图2所示,LM567内部压控振荡器产生频率为f0=1/1.1R12C7=50 kHz的方波信号经C1,R1构成的微分电路微分后由运放U1A(LM358)进行放大,驱动红外二极管VD1(SE303A)发出红外光,R4用于调节红外二极管的发射功率,LED为发射指示。运用微分电路的目的是为了减少发射红外脉冲的宽度,提高红外信号的峰值,从而提高电路的灵敏度,同时也提高了电源的的效率。D1的作用是抑制微分电路产生的负极性脉冲。 当VD1发出的红外信号被其它物体反射到接收二极管VD2(HPT605C)时,VD2的反向漏电电流发生变化,在R5上产生频率为50 kHz的交变电压,经U1B放大后,输入U2:LM567的③脚,因为③脚输入信号的频率就是LM567内部压控振荡器的振荡频率,因此,⑧脚变为低电平,R13,LED2和光电耦合集成电路U3(MOC3041)内的发光二极管有电流流过,使U3内光敏双向可控硅导通,负载RL得电工作。当反射的红外信号消失后,U2的③脚没有信号输入,其⑧脚变为高电平,负载被关断。MOC3041可以带动功率100 W以内的负载,如果需要带动更大的负载,应外接更大电流的双向可控硅。R15和D4,D5构成限幅电路,使U2的输入不大于0.7 V。LED2为负载工作指示。 如果VD2接收到其它频率的干扰信号,由于它的频率与U2的振荡频率不同,⑧脚仍然输出高电平,不会造成误动作。此外,如果U2内部振荡器的频率发生变化,VD1产生的红外信号的频率也同步变化,从而实现发射和接收频率自动跟踪。 直射式的红外自动开关的电路与反射式的电路除执行部分不同外,其它部分都相同,它是当VD1照射至VD2的红外信号被其它物体阻挡时,U3使电源接通,负载工作。如果没有被阻挡,电源不会接通。     

波长与功率密度对激光烧蚀制备纳米粒子的影响

用TEA CO2 激光烧蚀方法制备了NiSO4 /Ni (Ac) 2 纳米粒子,其化学成分与靶材原料 十分相似,其中含少量Ni2O3。当采用被靶材物质直接吸收的激光谱线9P (18) 、9R (18)时,纳米粒子的保成分性较好,得到粒径10～20nm、分散性良好的圆形粒子,其功率密度阈值为1. 6×108w / cm2 ,其反应机理主要是共振吸收以及激光支持爆轰波的作用;当采用不被靶材物质直接吸收的激光谱线10P (18)时,得到粒径为20～25nm、分散性良好的方形粒子,其功率密度阈值为1. 9 ×108w / cm2 ,其反应机理主要是自聚焦和内爆轰的作用。当其它条件相同时,功率密度较大则粒子的粒度更细。