微小卫星技术的发展现状及趋势

本文首先分析了微小卫星技术的发展现状，其中主要介绍了关于NS-1的一些基本信息，并重点探讨了MEMS技术与MEMS卫星的概念理论与发展情况，明确提出应用MEMS技术是微小卫星技术发展的必然趋势。     

MEMS技术现状与发展前景

介绍了微电子机械系统（MEMS）技术的发展现状、加工工艺及产品市场。结合MEMS材料与加工技术,讨论了MEMS产品的封装技术及存在的问题,展望了MEMS技术的发展前景。     

MEMS光开关技术进展

介绍了MEMS光开关的特点，分析了MEMS光开关的需求背景和应用范围，详细介绍了国内外MEMS光开关及其相关技术发展状况，提出了我国发展MEMS光开亲技术的紧迫性和重要意义。     

微电子机械系统（MEMS）及其在军事领域的应用

微电子机械系统(MEMS)技术是继微电子技术后又一项重要的新兴技术。介绍了MEMS的基本概念和特点、MEMS的技术基础和制造技术及典型的MEMS产品,并在此基础上重点论述了MEMS在军事领域尤其是在军事电子信息系统中的应用和发展前景。     

MEMS 技术用于红外器件制作

MEMS 技术是一项新兴的微细加工技术,已开始在各领域有了广泛应用。它可将信息获取、处理和执行等功能集成为一体化的微电子机械系统(MEMS) 或微光电子机械系统 (MOEMS) ,具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等特点,因此也开始被红外技术领域所采用,为该领域研究提供了一条新途径。文中简要介绍了MEMS 技术的主要特点和工艺,并对MEMS 技术在红外器件研制方面的应用作了详细叙述。     

MEMS技术研究及应用

首先阐述了微电子机械系统 (MEMS)技术的基本概念、特点及概况 ;其次 ,介绍了MEMS技术的分类及在各领域的应用产品 ;最后 ,重点介绍了RFMEMS技术 ,包括某些RFMEMS器件的典型结构及性能指标     

MEMS器件及其设备

MEMS(Microelectro mechanical system)器件是一种微型机电一体化的SOC。2008年MEMS器件市场为72.97亿美元,2011年将达到108亿美元,2006～2011年年复合平均增长率为13%。2011年MEMS系统级市场将达720亿美元。MEMS器件中发展最快的器件是传感器MEMS、光MEMS和RFMEMS。MEMS器件的应用已从汽车电子转向消费类电子领域。MEMS器件用于Wii无线游戏机与iphone是2007年MEMS器件应用的最大亮点。MEMS器件的制造类同IC制造,光刻、刻蚀、CVD和CMP设备都可兼用。     

MEMS器件及其设备

MEMS(Microelectro mechanical system)器件是一种微型机电一体化的SOC.2008年MEMS器件市场为72.97亿美元,2011年将达到108亿美元,2006-2011年年复合平均增长率为13%.2011年MEMS系统级市场将达720亿美元.MEMS器件中发展最快的器件是传感器MEMS、光MEMS和REMEMS.MEMS器件的应用已从汽车电子转向消费类电子领域.MEMS器件用于Wil无线游戏机与iphone是2007年MEMS器件应用的最大亮点.MEMS器件的制造类同IC制造,光刻、刻蚀、CVD和CMP设备都可兼用.     

MEMS传感器技术及其在海洋观测中的应用

MEMS技术是在微电子和半导体技术及超精密机械加工技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。基于MEMS技术制造的传感器具有高集成度、高灵敏度、高分辨率、智能化、低功耗、低成本等优点,为海洋观测技术的智能化、网络化、小型化提供了技术支持和发展方向。从MEMS传感器的基本原理出发,介绍了MEMS传感器技术及其在海洋观测中的应用。     

微电子机械系统的研究进展

本文从微电子机械系统（MEMS）的基本加工技术和MEMS器件等方面介绍了MEMS的发展过程;综述了国内外MEMS加工技术,特别是新型MEMS器件与系统方面的最新研究进展,介绍了欧美日等发达国家和我国为MEMS的发展所作的努力,提出了“只有产业界及时介入才是中国MEMS研究的唯一出路”。     

应用于全光网络的光开关技术研究

随着信息技术、光通信技术的发展,全光网络（AON）成为信息时代的主流,OXC光交叉连接）、OADM（光分插复用）是全光网络的核心,而光开关是实现OADM、OXC的关键器件,因此研制应用于全光网络的光开关具有重大意义。重点对光开关在OADM、OXC中的应用及光开关可能采取的方案进行研究,认为在未来的光纤通信集成电路（IC）的芯片之争中,微机电系统（MEMS）光开关技术举足轻重。     

全光网络中的波长选择器件

随着光通信技术的发展,特别是光波分复用（WDM）技术的广泛应用,光交叉连接技术（OXC）和光分插复用技术（OADM）受到了越来越多的关注。波长选择器件因具有对不同波长自由选取的功能而在以上两种技术中起到了十分重要的作用。本文介绍了目前研究的几种典型的波长选择器件,对它们的特点进行了分析和比较。     

微系统技术发展和应用

作为军事装备自主可控和信息化武器系统微型化、集成化、智能化发展的重要支撑,微系统技术在军事竞争中具有重要的战略意义,受到国外军事强国的高度重视,被美国国防先期研究计划局列为战略发展重点,并设立专门办公室加强技术研究和应用开发,不断加快微系统的发展,推进在武器装备系统中的应用。文中从微系统研究项目、元器件技术、集成技术、算法与架构、热管理技术等方面介绍了国外微系统发展现状,描述了微系统在雷达、通信、电子战等领域的应用情况,分析了微系统技术发展方向和研究重点,提出了我国发展微系统技术的建议。     

下一代光网络浅析

随着IP、MPEG、3G等新业务对传输带宽的急剧增长，传输网的特点正在发生变化。本从功能特点、网络结构方面对下一代光网络进行了分析，同时对其关键技术OXC进行描述。     

基于微流控技术新型光开关器件设计

首先介绍了较为常用的几种光开关的工作原理、特点和应用。描述了MEMS、MOEMS、微流控技术。以MOEMS及微流控技术相接合,提出一种新的微流控光开关阵列结构,通过电控方法改变微流控芯片波导结构,实现光路变化。该光开关具有体积小,结构简单,功率损耗低,有利于光开关阵列集成化、微型化及制作。以电控方式控制光开关,在开关速度上比温控更快、更稳定,且控制电路简单等特点易构成大容量交换矩阵。     

一种微电磁驱动的MEMS可调光衰减器

介绍了一种电磁驱动型MEMS可调光衰减器,该器件通过调节微挡光片在光路中的位置控制衰减量.以铜作为牺牲层,由电镀铁镍作为结构层的非硅表面微加工微技术被应用于挡光片的制作上,此项技术与硅的体加工技术相结合有望降低器件的加工成本.此外,还分析了该可调光衰减器的衰减机理,理论计算结果与实验数据基本吻合.实验测得样机性能为,插入损耗低于3 dB,动态范围大于40 dB,回波损耗大于40 dB.     

智能传感器技术发展综述

从智能传感器的概念和架构出发,研究了MEMS、CMOS、光谱学等主流技术智能传感器的基本发展情况。探讨了智能传感器的实现途径。列举了军用智能传感器的重点应用领域和技术。结合国内实际情况,提出关于智能传感器的发展建议。     

Micro Fabry Perot light modulator for flat panel display

A new type of Fabry Perot light modulator for displays based on micro-electro-mechanical system technology is proposed. Multiple beam interference theory is used to design the modulator and analyze its characteristics. If Fabry Perot cavity length is one-quarter of the incident wavelength, the transmitted light is blocked by the modulator, and the modulator, which is illuminated from its backside, appears black. If the Fabry Perot cavity length is 0 or one-half of the incident wavelength, light may transmit the Fabry Perot modulator from its backside, and the modulator appears bright. Hence, the modulator may be used for flat panel displays. In this paper one Fabry Perot light modulator based on surface microma-chining technology is introduced. The designed modulator has a contrast ratio of 150 and can theoretically be driven by a voltage of 2.4 V.     

MEMS光开关

采用 MEMS体硅工艺 ,制作了三种结构的微机械光开关 :水平驱动 2 D(二维 )光开关、垂直驱动 2 D光开关和扭摆驱动 2 D、3D(三维 )光开关 .水平驱动光开关采用单层体硅结构 ,另外两种光开关都采用了硅 -玻璃的键合结构 .它们的工作原理都基于硅数字微镜技术 .这三种光开关均采用了静电力驱动 ,具有较低的驱动电压 ,其中扭摆式光开关的驱动电压小于 15 V.对于 2 D开关阵列 ,在硅基上制作了光纤自对准耦合槽 .对后两种光开关的开关特性进行了计算机模拟与分析 ,结果表明这两种光开关具有小于 1ms的开关时间     

微光开关研究与发展现状

光开关是光通信的关键部件，是近年来通信领域的研究热点．文章介绍了微电子机械系统(MEMS)光开关的特点，从光开关的实现方式等方面分析了基于MEMS的光开关的研究与生产现状，重点介绍了国外MEMS光开关的研究与制作方法、应用水平，对发展我国的MEMS光开关提出了建议．