真空电子技术

TB71,046 99010087真空漏孔的校准方法/孟扬,李旺奎(兰州物理所)11真空科学与技术学报一1 998,15(2)一135一242文中在检漏工作中,要定量地确定被检漏孔的漏率,需要将漏率的量值从气体微流量标准或漏率标准正确地传递到质谱检漏仪.在这个传递过程中,对参考漏孔的校准是一个很重要的环节.以国内外有关的标准和文献为基础,对真空漏孔的常用校准方法一一定容变压法、恒压变容法、变容变压法和比较法分别给予分析和介绍.图7表1参1s(许)化和气体吸附等干扰效应,分析了标准装置的不确定度(1 a).该标准的校准范围为1。”一10“Pa,校准电容薄膜规和…     

电子元器件微型漏泄的堵塞与恢复

在电子元器件密封性实验中,正确认识微型漏泄的堵塞与恢复具有十分重要的意义。弄清漏孔的堵塞机理,可以解释检漏中遇到的许多“难以解释”的现象。也不会因为某些特殊情况下检漏结果缺乏重复性而怀疑检漏本身的正确性。更重要的是,掌握了漏孔恢复条件后,才可以因势利导,选择有效的检漏程序,在检漏之前,设法恢复堵塞的漏孔,从而提高筛选可靠性。     

有关检漏的两个问题

一、对氦质谱检漏仪灵敏度的要求和使用监视漏孔(标准漏孔)。从制管出发要求检漏达到这样一个水平:凡部件和整管有漏,要求检漏一定能检出来。凡经检漏的管子能存放几年而真空度不变。为了达到这个要求,一方面要求检漏仪有足够的灵敏度,另一方面仪器使用时要求处于对氦气灵敏的工作状态。     

组装检漏器和无油泵

本文报导一种既作检漏器又作无油泵的两用液态氮冷冻分子筛装置,在注意到某些工作特性的同时,还指出了其工作本领与可能性。这种装置实际上是将LN_2冷冻蒸汽阱(T)串联到LN_2冷冻吸附单元(A)上。在T和A之間,以及在T和相連装置(P)之間設有气閥。其工作特性如下: 1) 保护A中吸附剂不受蒸汽污染; 2) 用作检漏器时能快速冷冻; 3) 利用标准装置P能探测出漏孔。特性 1)使排气(或氮)后的再激活能在     

加压充氮检漏的物理分析

用通过漏孔的气体分子的粘滞流动模型,分析了半导体器件加压充氮检漏的物理过程。理论分析的结果表明,利用此种方法能够检测的漏率范围较宽。以B型封装为例,在文中给定的条件下,漏率的检测范围可达5×10~(-3)～5×10~(-9)大气压厘米~3/秒。按着封装结构的具体情况,适当选择试验条件,检测范围可以加宽;并可根据需要检测漏率,确定试验条件。文中结出几种测试半导体器件漏气速率的方法。     

氦质检漏系统的改进

对氦质检漏系统的探测部分进行改进,可使其检漏灵敏度提高数十倍。数个检出漏率在1×10~(-15)atmccHe/s的超灵敏检漏系统已作为常规检漏装置,较好地应用于对红外或像传感器的杜瓦瓶的质量控制以及对测试样件在超高真空(UHV)工作性能的分析。而对氦质检漏系统的其它部分进行改进,就可以实现对元器件粗漏和微漏的一次性检测,大至0.25cc容积器件上0.015in直径的漏洞,小到1×10~(-12)atmccHe/s的漏率,因而可减少检测元器件密闭性能的费用。本文介绍了其设计原理、工作模式、标定方法及测试结果。     

JLH-1型氦质谱检漏仪

由于当代高真空技术的迅速发展,特别要求在金属真空容器内保持极低的压强,因此必须对真空系统设备的连接、各种真空容器和管道等进行密封试验,以消除一切可能存在的漏隙。因此在很多场合下普遍需要一种灵敏度较高的检漏仪器,来探知真空系统上极其微小的漏孔。福州无线电厂已试制成功一种 JLH-1(仿ПТИ-4А)型的氦质谱检漏仪,它是一可移式的、用氦气作探测气体的小型磁偏转质谱仪,可用于寻找金属真空系统任何部分的微漏,是一种重要的仪器。     

氟碳加压检漏法用于光电器件的一些问题及探讨

氟碳加压检漏法,灵敏度高,可靠性好,已被列为机电部元器件密封性检测的标准方法。但在用于半导体光电器件时却出现漏孔严重堵塞、光学窗口炸裂、指示液易污染等问题。本文根据长期观察、实践,对上述破坏性现象进行了分析、验证,并在如何避免其发生及妥善处理方面作了有益的探讨。     

粗检漏试验标准问题的研究及建议

有些外形较小或内腔腔体体积较小并且检漏合格的电子产品,进行水汽含量测定时有时会出现样品水汽含量超标现象。为证明现行国家标准中粗检漏试验方法(高温氟油加压检漏法)会对产品出现误判的问题,通过一系列试验和研究,证明了外形较小或内腔腔体体积较小存在漏孔的电子产品,严格按照现行的粗检漏试验方法中规定的样品在空气中干燥有效时间(2±1)min内进行试验,试验得到了多种结果,进而对产品形成误判,为此对标准中的该试验方法提出了一些新的建议。     

电真空器件检漏中的几个实际问题

前言本文是一篇实用检漏技术的经验总结。叙述了在电真空器件的检漏工作中碰到的几个实际问题:即(一)漏孔的定位问题;(二)管体镀层的漏气问题;(三)较为详细地介绍了密封的冷阴极真空触发管检漏的问题,给出了几组实验得出的特性曲线和确定了最佳工艺规范。     

石油和天然气红外成像检漏

石油和天然气泄漏后容易引起火灾、爆炸事故,发展快速、有效的石油和天然气红外成像检漏技术具有重要意义。通过对石油和天然气泄漏成分及其红外吸收特性的分析,将成像检漏系统的光谱响应波段选取为3.2~3.5 μm。针对气体目标的运动、扩散特点,研究了基于背景动态范围压缩的方法和基于气体边缘迁移的方法,对成像检漏演示系统的输出图像进行实时增强处理,实验表明两种增强算法提高了气体成像检漏的能力。     

电子元器件粗检漏方法的物理分析与实验

本文分析了电子元器件粗检漏气泡法的物理过程。分析结果表明,气泡法的灵敏度与试验条件、试验液体的性质、漏孔结构等有关。根据分析的结果,利用各种方法,不同试验液体,测定了一批器件的漏率。测试结果表明,各种方法,不同试验液体实际达到的灵敏度与理论结果是一致的。     

一种新型的检漏系统

本文研究一种新型的光纤检漏系统，通过对待测件内气体状态分析，确定采用比较法充压检漏技术和先进的光纤技术，研制成既具有高检测灵敏度又稳定可靠的检漏系统，该系统已成功地用于工业生产中，对水库大坝仪器实现了在线充压检漏，确保产品质量。     

检测电冰箱泄漏的六种方法

一、电子卤素检漏仪检漏电子卤素检漏仪主要用于精密检漏,应先用其它检漏方法找出明显的泄漏处后,再用电子卤素检漏仪检测不明显的泄漏点。检漏时,应使探头与补测点之间保持3-5mm距离,并掌握好探头移动速度,一般不超过50mm/s,根据检漏仪仪表读数及蜂呜器发出的声音,就能知道泄漏点和泄漏量。电子卤素检漏仪在使用过程中,应防止大量的制冷剂吸入检漏仪,还应注意环境通风良好,无卤素气体和其它雾气干扰,应在空气新鲜的场所进行检测。     

DOP检测中存在的超标情况分析

用DOP检测方法对高效过滤器进行检漏,由于送风口箱体的结构形式不合理、测试操作方法不严谨等等,都会造成实际检测中粒子超标的现象。以冷发装置为例通过对上述几个方面进行深入分析,究其原因,并找出解决方法。     

集中式红外SF6气体检测装置及其测量模型

本文提出了一种集中式红外SF6气体检测装置,该装置采用定时循环轮流选通的方式实现2路以上的变电站现场监测点气体采样检测,并采用了单光源双波长光路结构的红外SF6气体采样检测气室。因此有效地降低了制造、安装、调试、维护成本。通过求取每路红外探测信号在光源周期性开关两种状态下的差值和求取这两个差值的比值,降低了温度信号、背景光信号、光源波动等因素的影响。然后在朗伯-比尔定律的基础上,用求取的比值推导求得该检测装置的线性测量模型,最后采用最小二乘法对测量模型进行了标定,从而提高了SF6气体浓度测量的准确性和稳定性。     

热像仪探测泄漏气体的信噪比建模与测试

建立了能够定量预测热像仪探测泄漏气体能力的信噪比（SNR）与气体浓度（C）模型SNR-C,利用该模型对制冷热像仪GasFindIRTM在SNR=1时对应的甲烷气体浓度进行预测,预测数据与实际测试数据吻合。搭建了SNR-C室内测试装置,测试了非制冷热像仪Photon320在以298、303、308、313和318 K面源黑体为背景时探测乙烯气体的SNR-C曲线。数据分析发现,Photon 320在SNR5时,实测与预测乙烯浓度在各黑体背景温度下均比较接近。在SNR=5时,模型预测的乙烯气体浓度分别为3146、987、570、394和298 ppm,该变化规律与实际测量结果一致。建立的SNR-C模型能预测热像仪探测气体的能力,而搭建的测试装置能定量测量热像仪探测泄漏气体时信噪比与气体浓度之间的变化关系,可用于热像仪探测泄漏气体的室内性能测试。     

英国推出发光二极管气体传感器

英国AMG公司研制出一种安全可靠的基于发光二极管的气体传感器，用于探测和测量易燃性的碳氢化合物气体。该项技术应用了与英国防务研究局（DRA）共同研制的，使用了最先进半导体技术的一种红外二极管。这种基于发光二极管的光学技术提供了一个低功耗的固体辐射源，它不仅完全安全，而且还发出与目标气体吸收光谱相匹配的辐射波长，其首要用途是探测易燃性碳氢化合物。它在一个双束传感器构造中，气体探测技术使用了一个窄带滤波器和分光镜，两束光光强的比率给出了样品气体的组分。此装置消除了相关气体吸收的影响并允许对用于光线流俄…     

一种适用于微电子器件的密封漏气分析方法

关于微电子器件密封失效的分析方法多种多样,并且各有优缺点。对大漏孔的器件,通过氟油粗检可判断出漏气的具体位置。而对于漏孔较小的微漏器件,确定漏孔位置是非常困难的。根据气体分子机理和氦泄漏原理模型,提出了一种氦泄漏通道局部测试法来确定漏点的位置,从而解决了微漏器件漏点分析难题。通过大量试验数据对比分析,验证了该方法的有效性与准确性。     

用于激光气体同位素探测的多通池温度控制系统研制

采用激光吸收光谱法可实现气体同位素丰度的探测,由于待测气体吸收线的吸收系数会受待测气体温度的影响,将直接影响气体同位素检测系统的精准度和稳定度,文中设计并研制了一种高精度的多通池温度控制系统。硬件方面,采用高精度PT1000铂电阻温度采集电路与聚酰亚胺电热膜加热装置,构成了一个完整的闭环温度控制结构。软件方面,采用Ziegier-Nichols工程整定方法对比例、积分、微分三个系数完成整定。针对被控对象结构复杂响应较慢引起超调量大问题,采用积分分离比例-积分-微分控制算法,使温度控制快速且无超调。利用该系统进行温度控制实验,实验表明:温度控制范围为18~42℃,温度控制精度达到0.08℃,稳定时间位15 s,该系统具有精度高、响应快速、无超调的优点,为激光气体同位素探测提供了可靠保障。