电子元器件微型漏泄的堵塞与恢复 |
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引用本文: | 刘明远.电子元器件微型漏泄的堵塞与恢复[J].微电子学,1977(4). |
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作者姓名: | 刘明远 |
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作者单位: | 701组 |
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摘 要: | 在电子元器件密封性实验中,正确认识微型漏泄的堵塞与恢复具有十分重要的意义。弄清漏孔的堵塞机理,可以解释检漏中遇到的许多“难以解释”的现象。也不会因为某些特殊情况下检漏结果缺乏重复性而怀疑检漏本身的正确性。更重要的是,掌握了漏孔恢复条件后,才可以因势利导,选择有效的检漏程序,在检漏之前,设法恢复堵塞的漏孔,从而提高筛选可靠性。
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