一种提高陶瓷湿敏元件稳定性的表面修饰技术

介绍了化学沉淀法制备TiO2粉体的方法，通过掺入高价金属离子变成半导体陶瓷，制成湿敏元件．运用表面修饰技术，对元件进行改性，提高湿敏元件的稳定性．     

气敏（载体催化）元件性能的改进与提高

通过对补偿元件进行金化处理，使其表面形成性检测元件相同的导电层和黑度，省略关在补偿元件上的电阻，大大改善了元件的互换性，提高了配对合格率，并减少了测量工作点的时间。     

表面覆膜法氢敏元件的研制及其选择性的研究

本文介绍了采用表面修饰技术，利用气敏元件表面覆盖生长的ＳｉＯ２分子膜的滤过作用，得到高选择性ＳｎＯ２半导体Ｈ２敏感元件的方法，并对元件的特性及机理进行了分析。     

微型传感器

本文发明描述了一个微型传感器，其具有一个传感器元件和一个集成的转换电器，它包括一个带有集成的电路的半导体，其中该传感器元件被安置在该半导体之一主表面上并在该半导体和传感元件之间构造一个低共熔特点.     

环境温度对SnO2元件气敏特性的影响

研究了环境温度变化对各种ＳｎＯ２元件气敏特性产生的影响，突出地表现为随着环境温度的降低，气敏元件在空气中的阻值Ｒ０明显增大。用有机硅化物处理元件的表面可减小元件Ｒ０的这种漂移。     

DR系列燃气传感器及其表面修饰技术

ＤＲ系列燃气保安器是一种具有指示灯报警、语音报警、蜂鸣器报警、排风控制和关断气源控制等功能的新型保安器。本文介绍了ＤＲ系列燃气传感器的原理、结构以及元件的表面修饰技术，改善了气体元件的稳定性、选择性，实现了气敏元件的互换性。     

浮动元件剪应力传感器

本开发研制的浮动元件剪应力传感器，其元件表面经微机械加工，适于在气流或风洞中使用，特别适用于湍流边界层中壁剪应力的平均分量和脉动分量的测量。     

浮动元件剪应力传感器

本开发研制的浮动元件剪应力传感器，其元件表面经微机械加工，适于在气流或风制中使用，特别适用于湍流边界层中壁剪应力的平均分量和脉动分量的测量。     

表面涂层对掺杂α—Fe2O3烧结型气敏元件敏感特性的影响

本文对掺杂α－Ｆｅ２Ｏ３烧结型气敏元件的表面涂上混合α－Ａｌ２Ｏ３和Ｍｎ２ｏ３的浆料，干燥烧结而成新型半导体气敏元件，测试了该气敏元件对甲烷，丁烷，乙酵气体的敏感顺序，阻温特性和长期稳定性。     

三甲胺气敏元件的研制

本文用ＭＯＣＶＤ技术在小瓷管表面沉积ＳｎＯ２薄膜，通过氢气退火处理，制备了可用于鱼品鲜度检测的三甲胺气敏元件，该元件对三甲胺有较高的灵敏度，响应时间快，工作温度低；对ＮＨ３却不敏感，具有一定的选择性，另外，元件的长期稳定性也较好。     

Mg2+离子表面修饰ZnO传感器阵列的乙醚敏感机理研究

为研究金属离子对金属氧化物半导体的表面敏化作用,以均匀沉淀法制备了ZnO纳米颗粒,并通过金属离子表面微滴注以及二次退火的方法制备出金属离子表面修饰的平面型ZnO气体传感器阵列。并以乙醚蒸汽为目标气体,进行气敏性能测试。发现大部分传感器对乙醚响应性很好,并且经过表面修饰,ZnO的乙醚敏感性能大多得到提升。特别地,Mg2+表面修饰的ZnO膜层展现了最优的气敏性能。X射线光电子能谱和光致发光谱证实,经过Mg2+表面修饰之后,氧空位缺陷浓度明显增加,并且表面羟基基团的数量显著减少,二者的协同作用构成了Mg2+表面修饰ZnO的敏化机制。     

甩统计理论对半导体陶瓷气敏机理的研究

本文试图对半导体陶瓷气敏元件的敏感机理提出理论模型。假定吸附表面态由吸附的氧离子构成,则在吸附还原气体时,将伴随着向体内发射自由电子。运用统计热力学的一般方法给出电导率随气体浓度、加热温度以及材料参数变化的解析表达式,从而得到灵敏度与加热温度、气体浓度和材料参数的定量关系,所得结果与实验结果基本符合。     

基于表面介孔SnO2改性层的高选择性MOS氢气传感器

采用溶胶凝胶法制备了介孔SnO2粉体,通过丝网印刷技术将其印刷在市售SnO2气体传感器表面作为改性层,研究了改性层厚度对氢气选择性的影响。通过对乙醇、丙酮、苯和H2的测试,当介孔SnO2改性层厚度为15μm时,传感器在300℃下对H2的选择系数最大为5.7。同时讨论了改性层提高气体传感器氢气选择性的机理。     

SnO2气敏元件的阻温特性及其机理讨论

根据氧表面吸附模式、载流子穿越势垒理论和陶瓷的显微结构理论,重点讨论了SnO_2气敏元件的阻温特性.由此得出各温区中影响元件固有电阻值的主要因素,为改善SnO_2半导瓷气敏元件的性能提供了一些参考理论.     

气体传感器的集成化研究状况

集成技术在未来传感器的发展中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的气体传感器的研究状况,包括半导体场效应型、晶体管型、薄膜型、微量热计型和声表面波(SAW)型气体传感器。     

纳米技术在半导体陶瓷气体传感器中的应用

纳米技术可获得高活性的气敏陶瓷材料,利用纳米技术的二大效应即表面效应和量子尺寸效应,可使气体传感器的灵敏度和选择性提高,着重地介绍气敏材料纳米化的机理基础,制备方法及工艺控制。     

Measurement system for quartz crystal microbalance sensors

Human olfactory is studied for a long time and in many ways, and many of them are based on gas chromatography technology. They have used gas sensors made of metal-oxide semiconductors. The semiconductor sensors can detect gases as difference in electric resistance by oxidation or reduction of surface on the sensor. Human olfactory is organized by about 2,000 receptors of smell, and many electric sensors are used to emulate the receptors. We consider applying multi-channel QCM for these sensors. However, QCM sensors in a chamber (small box) interfere with each other, and we should examine measures of a design method for anti-interference. In this paper, we propose a design method and build an evaluation system.     

基于纳米材料的气体传感器的研究进展

简要地概括了气体传感器的工作原理和主要特性,并着重介绍了纳米金属氧化物气体传感器、纳米金属颗粒气体传感器、有机高分子气体传感器和碳纳米管气体传感器这4种气体传感器的工作原理、研究进展以及发展动向。简要地揭示了纳米气体传感器的不足之处,并阐释了这几种纳米气体传感器的未来发展趋势。     

平面直热式气敏元件及其表面修饰

采用液相掺Sb的共沉淀方法制备低阻SnO2 纳米微粉 ,以其为敏感材料掺入Pt2wt%及Au5 .4at %的催化剂 ,在Si衬底上制作了平面直热式气敏元件。利用 2 %的Co(NO3 ) 3 溶液作为修饰液对元件进行表面修饰 ,可制得对NH3 具有较高灵敏度及选择性的敏感材料。     

Electrical response of electrospun PEDOT-PSSA nanofibers to organic and inorganic gases

Electrospun isolated nanofibers of poly(3,4-ethylenedioxythiophene) doped with (poly styrene sulfonic acid)-PEDOT-PSSA were used to sense vapors of several aliphatic alcohols. Due to the large surface to volume ratio and small quantity of active material used in their fabrication, these sensors have a similar or faster response time when compared to alcohol sensors based on PEDOT. Increasing the size of the alcohol molecule leads to longer response times, which is attributed to slower diffusion of the larger molecule into the polymer. The sensors were annealed in air at 70 °C and used to sense NH₃, HCl and NO₂ gas. The response time for NH₃ was faster than HCl, and the sensors showed a large initial response to NO₂ at room temperature which is very desirable, as some NO₂ gas sensors only operate at elevated temperatures. Electrospinning is a simple and inexpensive method of preparing PEDOT-PSSA nanofibers making it an attractive technique to fabricate polymer based low cost, rapid response and reusable gas sensors.