半导体晶圆扩晶装置的设计及应用

介绍了一种半导体晶圆扩晶机装置的设计方案，并阐述了扩晶机构、切刀机构、圆台机构和视觉系统的设计。测试结果表明，该装置可以满足半导体晶圆扩晶的工艺要求，目前已经在MiniLED芯片封装测试企业成功使用。