多晶硅生产废气处理工艺

针对多晶硅生产废气难以处理的问题，采用全新工艺回收生产废气中的氯硅烷，同时以氯化钙晶体的形式回收废气中的氯元素，降低外排废水中氯离子含量，创造环保和经济双重效益。