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| 原子力显微镜-扫描电子显微镜共定位表征系统的研发与应用 | |
| 引用本文： | 蔡蕊,万鹏,徐强,吕天明,孙智广.原子力显微镜-扫描电子显微镜共定位表征系统的研发与应用[J].分析测试技术与仪器,2024(1):53-57. |
| 作者姓名： | 蔡蕊 万鹏 徐强 吕天明 孙智广 |
| 作者单位： | 大连理工大学分析测试中心 |
| 摘 要： | 微纳加工过程中，常有样品需要进行聚焦离子束（FIB）溅射、切割，扫描电子显微镜（SEM）以及原子力显微镜（AFM）表征，而这三类仪器都需要将样品固定在样品台上才可测试，固定不佳会影响表征结果.但固定好的样品在不同仪器之间转移、拆卸、再固定的过程中极易受到破坏.基于以上问题，设计了AFM-SEM-FIB样品共定位系统，可实现样品在此三种仪器之间的无损转移及共定位，避免珍贵样品破坏及目标丢失，以及解决AFM扫描无法控制方向、迅速调整位点等问题.在微纳表征中有优异的表现，系统已被开发成产品并量产销售. |
| 关 键 词： | 共定位系统 原子力显微镜 扫描电子显微镜 聚焦离子束 微纳表征 |
