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| 激光预处理硬质合金衬底沉积金刚石薄膜研究 | |
| 作者姓名： | 李成明 吕反修 |
| 作者单位： | [1]太原工业大学 [2]北京科技大学 |
| 摘 要： | 研究了准分子激光辐照对ＷＣ－６ｗｔ％Ｃｏ硬质合金工具衬底沉积金刚石膜的影响。证实准分子激光辐照可产生钴选择性蒸发和表面粗糙化；从而有效地降低表面钴含量，消除钴对金刚石膜沉积的有害影响。 |
| 关 键 词： | 硬质合金 激光预处理 金刚石薄膜 CVD |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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