TiC中间过渡层对硬质合金表面沉积(类)金刚石的影响 |
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引用本文: | 刘锦云,刘颖.TiC中间过渡层对硬质合金表面沉积(类)金刚石的影响[J].金属热处理学报,1996,17(A00):38-41. |
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作者姓名: | 刘锦云 刘颖 |
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摘 要: | 采用CH4-H2-O2微波等离子体化学相沉积法在硬质合金表面沉积金刚石薄膜,研究了TiC中间过渡层对金刚石沉积效果的作用及粘结机理,结果表明在相同沉积条件下TiC中间过渡层可以显著提高硬质合金表面沉积金刚石薄膜的生长速率,而且还可提高金刚石薄膜与基体的结合力。
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关 键 词: | 硬质合金 化学气相沉积 金刚石 碳化钛 |
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