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微等离子体氧化法TiO2、TiO2(W)薄膜的制备及性能
引用本文:高玉周,张世锋,王亮,严立.微等离子体氧化法TiO2、TiO2(W)薄膜的制备及性能[J].功能材料,2004,35(Z1).
作者姓名:高玉周  张世锋  王亮  严立
摘    要:利用微等离子体氧化方法,在纯Ti金属表面制备TiO2、TiO2(W)薄膜,并用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)初步研究了薄膜的组织结构和表面形貌.在不同的条件下,得到3种不同类型结构组成的薄膜:单一TiO2的锐钛型结构、单一TiO2金红石结构及TiO2(W)薄膜;同时对薄膜的催化特性进行了初步的研究.

关 键 词:锐钛型  金红石  微等离子体氧化  薄膜

Fabrication and structural characteristics of TiO2,TiO2(W) films by micro-plasma oxidation
GAO Yu-zhou,ZHANG Shi-feng,WANG Liang,YAN Li.Fabrication and structural characteristics of TiO2,TiO2(W) films by micro-plasma oxidation[J].Journal of Functional Materials,2004,35(Z1).
Authors:GAO Yu-zhou  ZHANG Shi-feng  WANG Liang  YAN Li
Abstract:
Keywords:
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